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1、.激光干涉仪概述SJ6000激光干涉仪产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率 高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性 分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，为机 床误差修正提供依据。.激光干涉仪原理激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光 束射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束则通过分光镜射入第二个 反射镜，这两道光束再反射回到
2、分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测 器监控两道光束之间的干涉（见图。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消 性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两 极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。输入光束测凰光東鑫考光束裁加吒束三.激光干涉仪测量内径千分尺示值误差说明示值误差采用测长机配激光干涉仪进行测量。测量时先在测长机头座和尾座的 测杆上安装不小于8 mm的平面测帽,并将其两测帽的工作面调整平行。被检内径 千分尺直接或借助支撑架安置在仪器工作台上，根据仪器的示值调整测微头的测量 下限至正
3、确位置。每次测量均需调整工作台或支撑架至转折点读数。四激光干涉仪测量内径千分尺示值 误差方法GI安装方法仪安装于测KVI的熔P?外.十片安厲于W!恢机体上于側 曜冷上覺食示童见图:】员空就光東使耳于测长机的;线篁合.将就光十榜仪 的材RfflltHitS均勺貼附m输虫植T分尺h机体之t并尽最找辽澈尢光Rh安豪时应保Q代忡2UI光東附班兀卿!*书代盧倉件檢富不尺寸内軽r介尺时也町以通过&用円淀检将滋比丁涉仪安毂存“K机机体 上，见lfiC.2a*1：尤一注仅安*布賀长縄r体上C. 1安装方法激光十涉仪密装于测氏机的尾座外，十涉僦安装于测长机体匕，反射備安 尾丛上，安装示兀见图C1.冏綽滋光朿使其于测长机的测田袖纽甫合.瘩激
