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1、厦门集顺半导体制造有限公司40T/H超纯水系统作业指导书厂务部制2015年5月25日目 录目录 2一、多介质过滤器 7手动操作说明 7多介质单机图 13二、活性炭过滤器 14手动操作说明 14活性炭单机图 17三、阳塔 18手动操作说明 18阳塔单机图 25四、阴塔 26手动操作说明 26阴塔单机图 32五、RO机组 33手动操作说明 33RO单机图 37六、混床 38手动操作说明 38混床单机图 47七、终端装置 48手动操作说明 48八、常见异常报警及应对措施 52警告：1、本手册仅限于紧急状态使用，非操作员未经允许不得擅自在设备运行正常时操作。2、操作设备前必须先阅读本手册及电话询问老员
2、工，并密切观察各阀门、按钮和电磁阀开关状态，以及各仪表是否处于正常状态。气动阀处于关闭状态气动阀处于打开状态自动运行时，灯亮为电磁阀打开；手动时，阀门开和关，灯都不亮。旋钮开关/启动按钮/关闭按钮一、多介质过滤器运行状态行程表行程TIME阀门ON使用泵要 点采水-V1,V2原水泵A/B中的一套原水箱LL液位以上过滤水箱H液位以下逆洗15minV3,V4反洗水泵设备累计产水时间达到设定值原水箱LL液位以上静置5minN/AN/AN/A正洗10minV1,V5原水泵A/B中的一套原水箱LL液位以上待机Rest timeALL OFFNANA多介质过滤器手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态
3、表中为准。警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作说明1手动采水1. 将控制柜上多介质过滤器旋钮开关旋转到手动状态。2. 打开V1，V2号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应之电磁阀来实现V1，V2号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀。）3. 手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动。注意：多介质过滤器和活性炭
4、过滤器必须一起运行，否则管道憋压。）2手动逆洗1. 按下原水泵停止按钮，泵即停止。，水泵停止工作。2将项次1中的阀门复位，保持控制柜上多介质过滤器旋转开关在手动状态。3.手动操作打开V3,V4号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V3,V4号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4号阀）4.手动操作开启反洗水泵（将反洗水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动。）3静置1. 关闭所有阀门（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应之电磁阀来实现关闭；气源不满足时，则需要用扳手关闭已打开的阀门）4手动正洗1. 保持控制柜上多介质过滤器旋转开关处在手动
5、状态。2.手动操作打开V1,V5号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5号阀）3.手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）5自动产水1.按下原水泵停止按钮，泵即停止。2.将项次14中的阀门复位，将多介质过滤器旋钮开关旋转于自动状态。3.将原水泵、反洗水泵旋钮开关旋转到自动位置。多介质过滤器单体原水泵（地点：水泵房）反洗泵（地点：水泵房）原水泵/反洗泵旋钮开关（地点：水泵房）多介质过滤器单体多介质过滤器单机图二、活性炭过滤器运行状态行程表行程TIME阀门使用泵要件采水
6、-V1,V2原水泵A/B中的一套原水箱LL液位以上过滤水箱H液位以下逆洗15minV3,V4反洗水泵设备累计产水时间达到设定值原水箱LL液位以上静置5minN/AN/AN/A正洗10minV1,V5原水泵A/B中的一套原水箱LL液位以上待机Rest timeALL OFFNANA活性炭过滤器手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋压或串水。3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作
7、说明1手动采水1. 将活性炭过滤器旋钮开关旋转到手动状态。2. 手动操作打开V1，V2号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1，V2号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀）3. 确认多介质过滤器的阀门是在采水状态。4. 手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动，注意：必须和多介质过滤器一起运行，否则管道憋压。）2手动逆洗1.按下原水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次1中的阀门复位，保持控制柜上多介质过滤器旋转开关在手动状态。3.手动操作打开V3,V4号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来
8、实现V3,V4号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4号阀）4.手动操作开启反洗水泵（将反洗水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动。）3静置1.按下反洗水泵停止按钮，泵即停止。，关闭反洗水泵。2.关闭所有阀门（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应之电磁阀来实现关闭；气源不满足时，则需要用扳手关闭已打开的阀门）4手动正洗1. 手动操作打开V1,V5号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1,V5号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1,V5号阀）2. 确认多介质过滤器的阀门是在采水状态。3. 手动操作开启原水送水泵（将原水送水泵
9、旋钮开关置于手动位置，按下按钮，泵即启动，注意：多介质过滤器必须处于产水状态，否则管道憋压。）5自动采水1.按下原水泵停止按钮，泵即停止。2.将项次4中的阀门复位，将活性炭过滤器旋钮开关旋转于自动状态，并将多介质复位。3.将原水泵、反洗水泵旋钮开关旋转到自动位置。活性炭过滤器单体活性炭过滤器单机图三、阳塔运行状态行程表行程TIME阀门使用泵要件采水-V1,V2阳塔送水泵A/B中的一套过滤水箱LL液位以上脱气塔水箱H液位以下逆洗3minV3,V42B3T再生泵A/B中的一套阴塔产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上注酸30minV8,V9,V4,V6,AV012B3T再生泵A/B中的一套阴
10、塔产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上 酸计量桶LL液位以上慢洗40minV8,V4,V6,AV012B3T再生泵A/B中的一套阴塔产水时间或水质达到设定值中间水箱LL液位以上静置10minN/AN/AN/A快冲15minV1,V5阳塔送水泵A/B中的一套阴塔产水时间或水质达到设定值过滤水箱LL液位以上待机Rest timeALL OFFNANA阳塔（阳离子交换器）手动操作说明手动操作时，设备运行时间以运行状态表中为准。警告：1、确保执行阀门的开启之前必须确保气源压力足够，否则阀门未开启而水泵启动，会造成严重后果！ 2、启动泵前，必须检查阀门和电磁阀是否处于正确运行状态，否则容易发生憋
11、压或串水。3、通水时，必须先开阀门再启动泵；断水时，先停止泵再关闭阀门。项次动作操作说明1手动采水1.将阳塔旋钮开关旋转到手动状态。2.手动操作打开V1，V2号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V1，V2号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V1，V2号阀）3.手动操作开启阳塔送水泵（将阳塔送水泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）2手动逆洗1.按下阳塔送水泵停止按钮，泵即停止。2. 将项次1中的阀门复位，保持控制柜上阳塔过滤器旋扭开关在手动状态。3.手动操作打开V3,V4号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V3,V4号阀的
12、开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V3,V4号阀）2.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）3注酸1.按下2B3T再生泵关闭按钮，将水泵关闭。2.将项次2中阀门复位，保持控制柜上阳塔过滤器旋转开关在手动状态。3.手动操作打开V8,V9，V4，V6，AV01号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V8,V9，V4，V6，AV01号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V8,V9，V4，V6，AV01号阀）2.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）4慢洗1. 按下2B3T再生泵关闭按钮，将水泵关闭。2.将项次3中阀门复位，保持控制柜上阳塔过滤器旋转开关在手动状态。3.手动操作打开V8,V4，V6，AV01号阀（气源满足时，可在设备控制箱内通过手动操作对应电磁阀来实现V8,V4，V6，AV01号阀的开启；气源不满足时，则需要用扳手强行拧开V8,V4，V6，AV01号阀）4.手动操作开启2B3T再生泵（将2B3T再生泵旋钮开关置于手动位置，按下启动按钮，泵即启动）5静置1.按下2B3T再生泵关闭按钮
