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1、FI 清洗机培训教材目 录一、 FSI清洗机简介：二、 FSI构成及构造功能：三、 软件操作简介：四、 程序以及输出功能:五、 流量控制：六、 Chicl Auto fill功能简介:七、 常用故障以及维修措施：一、 FS清洗机简介 FSI用途:FSI用于圆片的表面清洗系统，可以清除颗粒、金属离 子以及剥离部分氧化膜； S设备全称： MRURMP Sufe CoitinDvs System, FSI公司初期的ray smPruct; FSI工作原理:在密封的Chamber中,圆片对称放在urbl 上，在urnable的旋转的同步运用2把Checal形成高雾化或者低雾化喷洒在圆片表面，有两个喷嘴
2、：ray post 和 i-bowl ayt，达到清除颗粒、金属离子以及剥离部分氧化膜的目的，然后用D Waer冲洗圆片表面,最后通过urntb的高速旋转(50 rpm)以及Nure来使圆片的表面干燥。 FI用到的原料:重要有5种hmcal:H2SO4,HCL，HF,NH4OH,H2O2;尚有DWaer(去离子水)、 N2和CDA(压缩空气)。 SI常用工艺菜单:B-LEAN,S*P1，POL-CLN,BP-BCN; 安全措施：设备的每个部分都安装有terlc开关，严禁工艺时打开门、盖子等组件，如果Intelck 开关被打开，则会使设备停机,工艺中断;警告：工艺时严禁对FSI清洗机的任何部分进
3、行任何操作。 设备学习参照资料： FSI清洗机操作规范；6”I清洗机 M操作规范;二、 FSI构成及构造功能 FSI由五部分构成，各单元互相独立：Elecnic onsol；Prcess Conl;CaisterCon;Boostr um；Hello2 D Wt Heater。（其中前两部分放在白区，后三部分放在灰区) 构造及其功能：1. Electronic Consol:监视和控制程序的运营，是系统的核心部分, 内部由7个抽屉构成，可以拉出来,便于查看,重要有:6的单片机以及控制组件，Touchsren(触摸式显示屏）,软盘驱动器，流量控制组件以及N2管路的过滤器和压力调节阀;2. Prc
4、ess Consl:重要由Coer、Proces hmber、or、Turtble、下排管道、以及流量控制的LW PICKUP等,每次作业可以清洗6批圆片，门盖安装了Spra post， 在chaber壁上安装了Side-bowl prayot,这两个Say pos就是工艺时的酸液喷嘴。 3. Canist Cosol:重要用于寄存5种化学液,有两个寄存柜,每个柜中寄存三个nstr，每个Cniter连接四个管道，依次是:酸液输入管道、酸液输出管道、破裂阀连接管道、N2输入管道(通过2号阀实现加压及释放压力）,动力课通过SD供液系统统一供应化学溶液，每次工艺结束,系统发个自动灌酸指令“50”，酸
5、液从动力管道灌到酸桶Cstr中，工艺时再从酸桶中把酸液压到Chambe中。4. Booter Pmp：I ter增压系统，动力提供的DI Wate 压力不能满足F的需求,因此增长了增压泵,由两个增压泵和两个过滤器构成，当系统压力达不到规定期，增压泵开始工作。5. Hells52 D Water Heate ：用于D Watr的加热，由主机和一种监视器构成,监视器放置在letonic Consl的顶部，目的是为了DI Waer加热器的工作状态。三、 件操作简介：S的自动控制是通过2构造的单片机来控制的,由于没有硬盘及OM，只有NVM（非易失存储器),因此程序就保存在软盘上，通过软盘驱动器来读取程
6、序，并且启动时要插入启动软盘，启动结束后再插入程序软盘。至于显示屏用的是Touch scee(触摸式显示屏),这种显示屏可以用手指直接点击,这样就不需要键盘了。软件的构造简介,主界面视图下图所示:Name: Time: XX: XX Temp: XXX Sec: XXXStep: XX Speed: XXX rpmOutputs XX, XX, XX0-Other status 1-Select Process2- Special Functions 3-Clear Alarms0- ther tats：按“0”后可以进入另一界面，在工艺时可以浏览工 艺菜单的每一步内容；1- SltProcs
7、：按“1”后可以进入程序界面,用方向键选用菜单，按“Eter”确认。2- Specal Fntios：按“2”后可以进入特殊功能界面(为了安全起见该功能设有密码),在这里面可以编辑所有的Recpe，可以进入维修模式,可以看到所有报警信息等功能。3- lea Alams：按“3”后可以进入报警界面,输入密码按“nter”确认后就可以消除报警了。四、 程序以及输出功能： FI在生产中常用到的就四个菜单:BCLEAN，SP 5/,POL-BCLN，BPBCLN;程序是由特定数字构成的程序代码,下面举例阐明程序的构造:Step Time Speed Output6 20 500 21,22,437 9
8、0 60 22,31,43,44,45,220,250 程序就由上面某些特定的数字构成，其中：Step表达环节;Time-表达目前环节的工艺时间;Speed 表达Trnabl的转速，最高转速为500 转/分;Outpt-输出功能指令，参照输出功能代码表(如下表达); OUTPUT FUNCTONOutputescitonIcmpatibeOutputs*hemcal21,26，3,38，46,，48,50，91,96,7，989Banke Heate 10hemca aer11Drin#1-N/12,1，14，85，8612Drin 2-N11,13，14,85，63Drain #3-N/C1
9、,12，14，85,814Dra #4-N/C11,1,85,89(Reserved）2Soluton Lne PurgeCials,37,1，1022Canier Presre06Mnio Byashemca,109(ev） 31Lo Aoizer332HghAtomizer3134olChabe inse336Chamb Dry3，913old Lin RneCheicas,2,91,10038Ho ie RinseCeicals,21,91,10039(Reserve) 4ol Di x2S ins Atomize 43Bypsshutoff Hot i Bypass5Penu Rnse
10、46Wfr ryhmas,47,48,91,1047Coldafer RinseChemicas,46，1,10048ot WaferRiseChmicls，4,91,1004（Rerved）5Progrmed AutofillChemcas,1005Uer-Defined 69User-efined1Fil Recc 1 TnFillRerc 1Tan 3Uused7Rcirc Maod On/Off 5Recic 1 Pu O 6circ Loop 7RcicDran Opn78ecirc1 Drin Clo 79Usr-Defnd 81Rei 2 Pumn82Reic 2 L3cir2
11、rain pn84RecircDan Cosd 8Drain #5-N/11,12,13，,88Dain #6-N/C1,12，,14,59User-Defind91w Pesur PurgeChemical,21，36,37,38,46,4,48,09w Flow Rise93Dvert to Plenm ser-Defid 9User-Dfned 96SB PureChemas， 97,89SB Cld afer Rinse9698Bo afer se9600HotDI ix,26，37,8,4,48，10XHLIO 5 Otps102IChemcal Heater Outps 11XXO
12、uput Fntions fr Gneralized nlog Inpus12Xutptunctionsfor Geralied Discre Inputs200Xutput Funcions fo Vriab 010 Vcutputs备注:100-DI WAR 20H2SO4230- CL 20- H240 F 760- NH4H五、 流量控制 系统对流量控制重要通过如下几部分来实现：low ickup、DC、ADC、EP、Manifo Vlve等;流量控制的原理图如下图示: 原理分析:在每种溶液的管道中安装了Fl pckup，对流过的液体进行流量分析并且把流量从物理量转变到模拟电信号,然后通过AD转换器把模拟信号转换为数字信号
