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1、1234567891011121314151617181目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。本文详细说明了如何使用ZYGO干 涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。2范围本文件涉及用ZYGO干涉仪检测平面元件的一般方法。3录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*Tif）,在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。3.2测试数据（保存文件名为*Dat）,测试完成后点击SAVE DATE保存。4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（applied tion）应用是ZYGO干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*app”的文件。 不同的应用用于不同项目的测量。
2、比较常用的是GIPapp用于一般的平面和球 面的测量，GPI-Cylindeapp用于柱面面形的测量，Angleapp用于平行角度的 测试。4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是 透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。19202122232425262728293031324.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干 涉产生的干涉图形。包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息 来源。4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。4.5 Align/Vie
3、w 模式按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一。align模式可以看到一个 黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较 大。View模式是按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一，可以看到 干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。一般在align界面对准后在view作业文件文件编号ZYGO干涉仪使用说明版本/修订页码2/8界面观察条纹。4.6 标准镜干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准333435363738394041424344454647484950514.7长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈
4、光度不同，同样大小的干涉图 所代表的零件大小可能有很大的差异。设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图 形中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。4.8 掩膜（mask）表明干涉图中有效区域的工具。可以根据需要设定有效区域的形状、大小、 位置，也可以从有效区域中挖去一部分不需要的。5职责主要包括以下几个方面：5.1 zygo干涉仪使用和维护部门为品管部。品管部经理负责保证过程实施所需的培训及资源。5.2按照校准计划对设备定期检定。5.3指定的仪器使用者需保证使用过程按按照操作规程操作仪器。5.4定期对设备进行保养。6操作主要内容.6.1开机依次开启ZYGO显示器电源，机箱控制
5、面板上电源按钮：MASTER、MONITOR、AUX1、AUX2，以及干涉仪主机箱右侧下方POWER。6. 2运行程序52535455565758596061626364656667进入Windows后，双击桌面上的Metroproexe (如图一)操作软件，运行 程序，进入ZYG0测试操作桌面。启动完成后会自动进入GPIapp,如果没有， 关闭当前的窗口，待其缩小为按钮后，在应用选择窗口中点击相应的应用。图一6.3平行度测试作业文件文件编号ZYG0干涉仪使用说明版本/修订页码3/8主要测试步骤如下:6.3.1按监视器遥控器上的显示切换键(ALIGN/VIEW)，使监视器处于排列状 态。扭动参
6、考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最 亮光斑与十字分划线交点重合。完成后，按遥控器上的显示切换键 (ALIGN/VIEW)，使监视器处于浏览状态。双击ZYG0测试操作桌面中angleapp 按钮进入平行测试操作界面。6.3.2调整好后将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使 晶体垂直于测试光(监视器中晶体边缘清晰可见。)686970717273747576777879808182836.3.3点击操作界面左下角 Measure Controls对话框中的Refractiveindex,录入待测晶体的折射率（选择6328nm时对应晶体的折射率，如图二）,图二6
7、.3.4点击测试界面左上角的Calibrate按钮，在弹出的对话界面中点击 Fringe按钮，对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标 记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。6.3.5点击测试界面中左上角Mask Data按钮（如图三、四所示），在弹出的 有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则 选择square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能 超出晶体。并在动态图像上方无晶体的空间内，选择与待测晶体规格相近的区 域，此区域将作为参考区域。Angles作业文件文件编号Sm Apertu
8、reCalibrateMEASUREMask DataAmZYGO 干+0.14964页码rriMf nvniiirwaveLoad DataResetTTTinFTTMMeasure Ct.rl-0.1425884 图三85 然后，点击下部选项中的BG Inc使该按钮变为BG EXC,锁定选择区，点击Ae ZS9Ointensity MapAWedge Mag16.seclllllllllilllllWedge Ang46.8弟I llllllllflll 111Angle Errsec馳IEW憑舸Trim:086 Define，定义Acq。之后点击Test，选择Unfill，去除最后标定的
9、参考区域，87 图四88 点击Define，定义Test （晶体测试区域）。再点击Ref，选择Fill，添加最89 后标定的参考区域，点击Pick，然后用鼠标点击待测晶体区域边框,选择Unfill，90919293949596979899100101102103104105去除晶体待测区域，点击Define，定义Ref （参考区域）。6.3.6点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。当监视器中 左下角出现Wedge X.X sec （表示被测量器件两表面的夹角为X.X秒）时，记录 下此时X.X即为晶体的平行度。测试完毕后关闭平行度测试操作界面，点击左作业文件文件编号ZYGO干
10、涉仪使用说明版本/修订页码5/8上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。6.4平面度测试6.4.1调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列 状态。移除标准参考反射镜面，将晶体放置到样品支架上，调整晶体方向，使 其反射回的光斑与十字分划线交点重合。完成后，按监视器遥控器上的显示切 换键，使监视器处于浏览状态。点击ZYGO测试操作桌面中GPIapp按钮进入平 面度测试操作界面。6.4.2点击测试界面左上角的Calibrate按钮（如图五所示），在弹出的对话 界面中点击Fringe按钮，对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中 画面。使用鼠标标记晶体通光面宽度
11、，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽 度，按回车键确定。643点击测试界面中左上角Mask Data按钮（如图五所示），在弹出的有动106 态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择107 square）。在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出108 晶体。点击Define，定义待测区域。109 6.4.4点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。当监视器中110 左上角出现PV X.XXX Wave （表示被测样品最高点与最低点之间的距离为111 X.XXX入）时（如图六所示），记录此时X.XXX即为晶体的平面度值。测试完毕4D
12、.00190HEAglfREAtrialyz*vv av eLoad. DaL-a-Q.34S2R8t祥品当前平面度的测试结杲C x总生ChTi1：20 DOOOO112 后关闭测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYG0主测试操作桌面。ValliyAn nLy nt r113 图五图六114 6.5波前畸变测试115 主要测试步骤如下：116 6.5.1调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列117 状态。扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的作业文件文件编号ZYGO干涉仪使用说明版本/修订页码6/811811912012112212
13、3124125126127128129130131132133134最亮光斑与十字分划线交点重合。完成后 ,按监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW）,使监视器处于浏览状态。点击ZYGO测试操作桌面中GPIapp 按钮进入波面测试操作界面。6 5 2将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直 于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见）。6 5 3点击测试界面左上角的 Calibrate 按钮，在弹出的对话界面中点击 Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。使用鼠标标 记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。6.
14、5.4点击测试界面中左上角Mask Data按钮，在弹出的有动态图像的对话 框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。在动 态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。点击 Define，定义待测区域。6.5.5点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。当监视器中 左上角出现PV X.XXX Wave （表示被测样品最高点与最低点之间的距离为 X.XXX入）时，记录此时X.XXX即为晶体的波面数值（如图五所示）。测试完毕 后关闭波面测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。1351361371381391401411421431441451461471481491507细节说明和结语7.1安全要求7.1.1测量过程中，注意对透镜的防护，尤其是表面和边角容易损坏的部 位。7.1.2标准镜使用时要插入到位，螺丝拧紧。不用时要摆放到盒子中避免 意外损坏。7.1.3使用干涉仪测量面形主要
