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1、Standard Operating ProcedureSOP No.Group/Plant标准运作程序文件编号 PE-CAM-05集团/工厂GMETitleVersionADept.PE题目 生产菲林制作检查控制管理指示版本号部门Position Title职务Name 姓名Signature 签署Date 日期Prepared By编者高级工程师QA 经理QE 经理ME 经理PE 经理PROD经理PROD经理PROD经理万党平池俊如王斌郑惜金关天衡胡余雄史敬冬陈武Reviewed By审核Approved ByManagement Representative池俊如批准管理者代表Effec
2、tive Date 生效期Version 版本Revised Brief Description修订简述Revised by 修订者A新发布万党平Page 1 of 10F/GQA-DCC-00 5AReference document: QAP-GRP-005TitleSOP No.VersionEffective Date题目生产菲林制作检查文件编号PE-CAM-05版本号A生效期控制管理指示Revised Description List 修订对照表AB新发布Page 2 of 10F/GQA-DCC-00 6AReference document: QAP-GRP-005TitleSO
3、P No.VersionEffective Date题目生产菲林制作检查文件编号PE-CAM-05版本号A生效期控制管理指示Content 目录Page 页码1.0Purpose 目的42.0Scope 范围43.0Reference 参考文件44.0Definition 定义45.0Responsibility and authority 职责权限46.0Flow chart 流程图57.0Procedure 程序5-97.1内层、 CFM 菲林制作检查57.2外层菲林制作检查67.3阻焊曝光、印油菲林制作检查77.4字符、选择性印油菲林制作检查87.5菲林控制97.6菲林中心与 CAM 相
4、关的运作98.0Record 记录109.0Appendix 附件10Page 3 of 10F/GQA-DCC-00 6AReference document: QAP-GRP-005TitleSOP No.VersionEffective Date题目生产菲林制作检查文件编号PE-CAM-05版本号A生效期控制管理指示1.0 目的旨在建立菲林中心生产菲林检查与发放控制的规范，以确保生产菲林的品质符合生产及客户的要求。2.0 范围适用于 PE 菲林中心菲林检查工作，以及菲林工具的查核、收发控制。3.0 参考文件3.1HDI 板制作指引ME-P-083.2工具孔及工具盘制作指示PE-CAM-0
5、33.3工具发放回收管理指示PE-CAM-074.0 定义菲林工具包含各类生产菲林（内层、 CFM 、外层、阻焊曝光、字符、选择性印油等）以及检查用的钻孔菲林、外形菲林及 CFM 检板菲林等。5.0 职责权限5.1PE 负责该指示的制定、修订及具体实施；5.2PROD 负责菲林有关项目的验证及监控。Page 4 of 10F/GQA-DCC-00 6AReference document: QAP-GRP-005TitleSOP No.VersionEffective Date题目生产菲林制作检查文件编号PE-CAM-05版本号A生效期控制管理指示6.0 流程图7.0 程序7.1 内层、 CF
6、M 菲林制作检查7.1.1菲林光绘后进行透光密度检查， 菲林光绘后用光透射密度仪进行检查， 方法是抽测菲林四角和中央黑色位置， 密度必须大于 4.1 个单位，若有异常，必须通知值班或主管进行处理；7.1.2将菲林放置在菲林 AOI 机上进行表观检查，若菲林上缺陷如砂眼、小黑点等数量超出10处，需查看 CAM 设计，若设计问题，待菲林检查完后通知CAM 更改，若设计无问题，则重绘一张；若问题仍存在，则须进行冲机常规清洁保养，之后重新光绘；再次光绘后若问题依旧，务必通知 EM 人员处理， OK 后重绘；7.1.3拷贝留底；7.1.4依照 PT 检查菲林上工具号、图形药膜面；7.1.5内层线路菲林单
7、元 /SET 检查，以原稿菲林负片对生产菲林正片及原稿菲林正片对生产菲林负片比较，检查菲林上修改及异于原稿菲林处是否合乎PT 要求； CFM 菲林检查开窗Page 5 of 10F/GQA-DCC-00 6AReference document: QAP-GRP-005TitleSOP No.VersionEffective Date题目生产菲林制作检查文件编号PE-CAM-05版本号A生效期控制管理指示位置是否与对应的镭射钻孔位置相符，检查开窗大小是否满足PT 及相关工艺标准；7.1.6以此单元 /SET 之正负片检查生产菲林上其他所有单元 /组是否一致；7.1.7以生产菲林对钻孔菲林比较的
8、方法检查生产菲林之单元排列是否相符及对位等情况；7.1.8用 PANEL 外形菲林检查板边标记及图形有无入单元内，单元内图形离边是否足够；7.1.9依照工具孔及工具盘制作指示 规范检查内层、 CFM 菲林工具盘是否正确；7.1.10用 10 倍镜检查并对菲林之光绘缺点，如砂眼、黑点等进行修补；7.1.11在内层、 CFM 菲林检查报告上记录所有检查项目的结果，若结论合格，检查人员在菲林标签上盖 PASS 章。若结论不合格，按检验结论通知CAM ，并根据不合格项目判定是否可以手工修改或要求 CAM 重做直至合格；7.1.12菲林 PE 检查合格后交给 QE 审核， QE 认定有缺陷经 PE 确认
9、后需修改的，通知 CAM 进行修改， OK 后输出重绘。 重绘后由 PE 进行 AOI 表观检查和缺陷问题处检查， OK 后 QE复核；7.1.13贴菲林保护膜；7.1.14用 DR-5500-F二维坐标测量仪测量菲林尺寸。菲林尺寸的设定值（要求值） 与菲林的实际值之间的偏差 1.5mil，视为合格菲林，否则菲林报废重新光绘。重绘菲林尺寸合格后需将合格菲林尺寸的设定值与实际值写在菲林标签上；7.1.15QE 发放合格菲林至生产部；7.1.16生产部在接收菲林 6 小时内须对菲林表观问题（如砂眼、 黑点等）复检， 如有问题则将菲林退回 QE；超过 6 小时而未退还的菲林，则视为合格菲林。退回的菲
10、林经PE和 QE菲林审核员确认为缺陷的，则视为不合格菲林， 必须在生产退修记录表上登记具体的缺陷内容，同时菲林设计者或菲林审核员将生产反馈的缺陷全部修正，直到被生产确认为合格再重新发放生产。7.2外层菲林制作检查7.2.1菲林光绘后进行透光密度检查， 菲林光绘后用光透射密度仪进行检查， 方法是抽测菲林四角和中央黑色位置， 密度必须大于 4.1 个单位，若有异常，必须通知值班或主管进行处理；7.2.2将菲林放置在菲林 AOI 机上进行表观检查，若菲林上缺陷如砂眼、小黑点等数量超出10处，需查看 CAM 设计，若设计问题，待菲林检查完后通知CAM 更改，若设计无问题，则重绘一张；若问题仍存在，则须进行冲机常规清洁保养，之后重新光绘；再次光绘后若问题依旧，务必通知 EM 人员处理， OK 后重绘；7.2.3拷贝留底；7.2.4依照 PT 检查菲林上工具号、图形药膜面；7
