《sfj261说明书》由会员分享，可在线阅读，更多相关《sfj261说明书（63页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、SFJ-261型氦质谱检漏仪皖仪科技1-1概述错误!未定义书签二仪器介绍错误!未定义书签。2-1仪器性能参数错误!未定义书签。2-1-1 SFJ-261 性能参数错误!未定义书签。2-2仪器使用环境错误!未定义书签。2-2-1 SFJ-261使用环境错误!未定义书签。2-3仪器结构错误!未定义书签。2-3-1 仪器外观错误!未定义书签。2-3-2内部结构及部件错误!未定义书签。2-3-3 操作面板错误!未定义书签。2-3-3-1 261 面板错误！未定义书签。2-3-3-2 261外部接口 错误！未定义书签。2-3-4电子系统示意图错误!未定义书签。2-4工作流程错误!未定义书签。2-4-1系
2、统小意图错误!未定义书签。2-4-2系统工作流程错误!未定义书签。三使用方法错误!未定义书签。3-1开始使用（以喷吹法为例）错误!未定义书签1 启动 错误!未定义书签。2 参数设定 错误!未定义书签。3 检漏（喷吹法） 错误!未定义书签。4 标漏校准 错误!未定义书签。5 调零（校零） 错误!未定义书签。6 停止 错误！未定义书签。7 运行状态 错误!未定义书签。8 停机断电 错误!未定义书签。3- 2其他检漏方法的操作错误!未定义书签。3-2-1吸入法检漏错误!未定义书签。3- 2-2背压法检漏错误!未定义书签。四 维护 错误!未定义书签。4- 1基本维护项目错误!未定义书签。4-1-1漏率
3、校准错误!未定义书签。4- 1-2机械泵保养错误!未定义书签。4-1-3分子泵维护错误!未定义书签。4- 1-4质谱管及离子源清洗错误!未定义书签。五常见故障和处理 错误!未定义书签。5- 1常见故障和处理错误!未定义书签。5- 2错误代码及其排除错误!未定义书签。六 附录 错误!未定义书签。错误!未定义书签6- 1氦质谱检漏仪的工作原理6- 2氦质谱检漏仪的检漏方式错误!未定义书签。6-3常用单位的换算错误!未定义书签。6-3-1 压强单位的换算错误!未定义书签。6-3-2 漏率单位的换算错误!未定义书签。6-4常用检漏方法错误!未定义书签。6-4-1喷吹法一一确定漏孔位置 错误!未定义书签
4、。6-4-2吸入法一一确定漏孔位置 错误!未定义书签。6-4-3钟罩法一一测总漏率 错误!未定义书签。6-4-4背压法一一测总漏率 错误!未定义书签。6-4-5辅助真空系统 错误!未定义书签。7-1售后服务七售后服务 错误!未定义书签。错误!未定义书签概述1-1 概述SFJ- 261型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检 漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范 围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可 靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用：科学研究航空航天汽车制冷
5、军事工业分析仪器发电厂核工业压力容器精密机械加工医疗仪器/仪表真空炉、镀膜设备等装置或系统高真空和超高真空的工程半导体等行业SFJ- 261型氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案仪器介绍性能参数机型参数值最小可检漏率（s ）SFJ-2615X 10-12响应时间（s）SFJ-2611启动时间（min）SFJ-2613mi n漏率指示范围（s）SFJ-261-3-121X 10 1x 10检漏口允许最大压力（Pa）SFJ-2611000Pa线控器SFJ-261选配双灯丝自动切换SFJ-261有允许质谱管最大压力（Pa）SFJ-26133x 10-检大漏功能SFJ-261基本型号
6、不具备仪器物理尺寸（W x （D） x （HSFJ-261450 x 480 x 350重量（KGSFJ-26145KG2-1-1 SFJ-261 性能参数2-2 仪器使用环境2-2-1 SFJ-261 使用环境机型环 境 参 数极限条件SFJ-261环境温度（C）050相对湿度80%供电电压单相 220V 10% ,50Hz最大工作电流（A）5A1、使用本产品前请确保仪器已可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用本产品!如果因没有可靠接地而造成的仪器损坏或人员伤亡，本公司不承担任何责任。2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要有良好通风，以防氦气干扰2-3仪器结构2-3-1仪器
7、外观SFJ-2612-3-2内部结构及部件一V.B 一 r WI- 11 _1-MMrlraVIM bvira 吕口 编号部件名称备注1检漏口被检工件与检漏仪的接口，KF-25接口2接收器收集氦离子信号并放大3离子源产生氦离子4质谱室离子飞行的腔体5真空计接口共两只，一只用于测量检漏口真空， 另外一只用于测量分子泵排气口真空值6分子泵可使质谱室达到高真空7组合阀座完成气路切换的工作8磁铁为离子旋转提供磁场9电磁阀实现气路的通或断10电气控制位置电气控制都集中在此（高压危险）11散热风扇12标漏不、同的率参型可能各部件布局略有差异214真空泵图12-1片仅供参的前级请以实物为件时使用15开关电源
8、为电器部分提供电源2-3-3-1 261 面板触摸显示屏调零开始/停止部件名称部件类型备注触摸显示屏显示操作显示设备当前的运行状态，可通过触摸方式更改参数切换显示画面开始/停止按钮开始检漏或停止检漏按钮长按可对检漏口放入空气，以便更换工件调零按钮按下后可自动扣除当前本底，长按取消调零2-3-3-2 261 外部接口 丄 2丄丄丄编号部件类型备注1电源接口电源接口包括：开关/保险丝/电源插孔2DB9接头串行通讯接口3RJ-45 接口485通讯接口4RJ-11 接口吸枪控制接口5DB15 接口输出控制接口6PC快速接口机械泵排气口DB9接口定义编号备注1NC2RXD3TXD4NC5GND6, 7,
9、 8, 9NCDB15接口定义编号备注124V2输出继电器1常开3输出继电器1公共端4输出继电器1常闭5输出继电器2常开6输出继电器2公共端7输出继电器2常闭8输出继电器3常开9输出继电器3公共端10输出继电器3常闭11GND12检漏口真空输出13漏率信号输出14漏率基数电压输出对应15漏率指数电压输出 14V对应于-14，0V对应于02-3-4电子系统示意图RS232/485数传模块电气系统示意图（电源模块隐含）各模块功能如下表所示模块名称功能 简 介CPU整个电子系统的核心，协调所有的操作都显示模块显示漏率，压力等数据控制模块按键输入以便完成相应的操作输入模块采样数据并传送给 CPURS2
10、32数传模块与外部232设备通讯，也可接线控器输出控制模块控制继电器，电磁阀的动作，以实现检漏、停止等操作和气路切换离子源电源模块控制离子源的电源仪器运行时，离子源电源模块所在的“电气部分”有高压，请不要触摸，请不要随 意打开机箱后盖及电气盒盖2-4工作流程2-4-1系统示意图系统示意图部件说明:编号名称备注1分子泵可为质谱室提供高真空，以便离子源可靠的工作2分子泵排气口3真空计测量分子泵排气口的真空值4分子泵进气口 1气流压缩比取大，5电磁阀V4切换气路6电磁阀V3切换气路7电磁阀V1切换气路8机械泵分子泵的前级泵，并为小容量的工件抽真空9电磁阀V2切换气路10电磁阀V6为工件放气11标准漏
11、孔定标时应用的接口12导管加滤网后同大气相连13真空计测量检漏口压力14检漏口与被检工件的接口15分子泵进气口 2抽速比主进气口低，压缩比较大16质谱室17磁铁18接收器接收氦离子信号19分子泵主进气口与质谱室相连压缩比:进气口 1,进气口 2,分子泵排气口的氦气浓度与主进气口处氦气浓度的比值。2-4-2系统工作流程启动流程图:备注：启动过程中只有V1是打开的其余阀都应该是关闭的，如果有阀没有关闭，请检杳，或联系牛产商；如果系三使用方法3-1开始使用（以喷吹法为例）3-1-1准备工作：仪器搬运到检漏现场提供220V+土 10% ,50Hz的交流电源，并且确保有地线 准备好三芯的插座，并且确保插座的容量是 250V*10A 准备好氦气和喷枪及其他配件如：波纹管，快卸法兰等3-1-2基本操作说明1启动将检漏口用专用堵头
