浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目 环境影响报告书浙江环科（沸石转轮）

项目代码：项目代码：2019-330802-26-03-806008 浙江博瑞电子科技有限公司浙江博瑞电子科技有限公司 集成电路制造用膜先体系列产品项目集成电路制造用膜先体系列产品项目 环境影响报告书环境影响报告书（公（公 示示 稿）稿）浙浙 江江 省省 环环 境境 科科 技技 有有 限限 公公 司司 Zhejiang Environment Technology Co.,Ltd.国环评证：甲字第国环评证：甲字第 2003 号号 二二 O 二二 O 年一月年一月浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书 浙江省环境科技有限公司 I 杭州市余杭区联创街 199 号 目目 录录 1 前言前言.11.1 项目由来.11.2 项目特点.21.3 环境影响评价的工作过程.21.4 分析判定情况简述.21.5 关注的主要环境问题.51.6 主要环评结论.62 总则总则.72.1 编制依据.72.2 评价因子及评价标准.102.3 评价工作等级及评价重点.182.4 评价范围及环境保护目标.222.5 相关规划及规划环评符合性.273 现有项目污染源状况现有项目污染源状况.373.1 现有项目环评审批及验收情况.373.2 已建项目污染源调查.383.3 在建项目污染源调查.383.4 未建项目污染源调查.383.5 公司现有项目污染源强汇总.383.6 淘汰项目情况.383.7 现有项目环评批复落实情况.383.8 现有存在问题及整改措施.404 建设项目工程分析建设项目工程分析.415 环境现状调查与评价环境现状调查与评价.425.1 自然环境概况.425.2 区域主要基础设施概况.465.3 周围污染源调查.515.4 环境质量现状调查与评价.526 环境影响预测与评价环境影响预测与评价.71浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书 浙江省环境科技有限公司 II 杭州市余杭区联创街 199 号 6.1 大气环境影响预测.716.2 声环境影响分析.826.3 地表水环境影响分析.856.4 地下水环境影响预测评价.866.5 固体废物影响分析.966.6 土壤环境影响分析.1026.7 环境风险影响评价.1086.8 生态环境影响分析.1386.9 施工期环境影响分析.1397 污染防治措施及其可行性分析污染防治措施及其可行性分析.1447.1 废水污染防治措施.1447.2 废气污染防治措施.1467.3 固废污染防治对策.1527.4 地下水污染防控措施.1577.5 噪声防治措施.1607.6 事故风险防范措施.1607.7 环保投资.1637.8 污染防治措施汇总.1648 环境影响经济损益分析环境影响经济损益分析.1658.1 项目实施后环境影响预测与环境质量现状比较.1658.2 环境影响效益分析.1658.3 经济效益分析.1658.4 社会效益分析.1669 环境管理、监理和监测计划环境管理、监理和监测计划.1679.1 环境管理.1679.2 环境评价制度.1699.3 环境监测制度.1709.4 项目污染物排放清单.17110 结论与建议结论与建议.17510.1 基本结论.175浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书 浙江省环境科技有限公司 III 杭州市余杭区联创街 199 号 10.2 审批原则符合性分析.17910.3 建议.18610.4 综合结论.186 附 件 附件 1 项目备案（赋码）信息表 附件 2 营业执照 附件 3 土地资料 附件 4 现有项目环评批文和验收意见 附件 5 排污许可证、主要污染物排污权转让协议书、VOCS总量平衡方案 附件 6 专家意见及签到单 附件 7 修改清单 附 表 附表 1 大气环境影响评价自查表 附表 2 地表水环境影响评价自查表 附表 3 环境风险评价自查表 附表 4 土壤环境影响评价自查表 附表 5 审批基础信息表 浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书 浙江省环境科技有限公司 1 杭州市余杭区联创街 199 号 1 前言前言 1.1 项目由来项目由来 浙江博瑞电子科技有限公司（以下简称“博瑞电子”或“公司”）是浙江巨化股份有限公司为转型升级、融入信息产业而投建的中巨芯科技有限公司的全资子公司。公司成立于 2014 年，注册资本金人民币 7.26 亿，致力于电子化学材料的研发、生产和销售，同步实施满足集成电路和平板显示器制造等行业所需的包括高纯气体在内的电子化学材料系列产品规划，并为客户提供专业整体解决方案。集成电路生产技术的发展对化合物半导体材料和电子专用材料提出了更高更新的要求。十多年来，为满足新一代集成电路制造技术的发展需求，在电子材料领域又形成了一个新的分支，即集成电路制造用膜先体材料系列产品。这一系列产品包括用于制造高介电常数膜的前体材料、制造低介电常数膜的前体材料、制造金属膜的前体材料以及制造绝缘膜的前提材料等。此种材料通过 CVD、ALD 等工艺在半导体先进制程中起到特殊的改变芯片和电路电性能结构的重要作用。以制造绝缘膜的前提材料为例，近年来，全球集成电路生产的领军企业开始采用有机硅化合物在硅片上生成氮化硅、二氧化硅以及相关的硅化合物薄膜的技术，采用这种材料制膜的技术工艺新，控制温度低，成膜致密度好，且相比传统的硅材料有工艺温度更低、电性能更稳定特点。目前，国内集成电路产业发展相对国外落后，导致集成电路膜先体材料在国内处于萌芽期，市场也处于成长期，因此浙江博瑞电子科技有限公司为了抢占国内市场先机，获得满足下游客户要求的产品同时具备产业化条件，特聘请海外高层次专家作为顾问咨询团队，采用消化吸收国外先进技术后自主研发的工艺，拟实施集成电路制造用膜先体系列产品项目。该项目分两期建设，建成后形成年产 2.2 吨集成电路制造用膜先体系列产品的生产能力，其中：一期包括 HCDS（六氯乙硅烷）1 t/a、TDMAT（四（二甲胺基）钛）0.2 t/a、CCTBA（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴）0.2 t/a；二期包括 TMA（三甲基铝）0.3 t/a、BDEAS（二（二乙胺基）硅烷）0.2 t/a、PDMAT（五（二甲胺基）钽）0.3 t/a。根据中华人民共和国环境影响评价法、建设项目环境保护管理条例以及建 设项目环境影响评价分类管理名录等相关环保法律法规的要求，本项目建设须编制环浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书 浙江省环境科技有限公司 2 杭州市余杭区联创街 199 号 境影响报告书。受浙江博瑞电子科技有限公司委托，我公司承担该项目的环境影响评价工作。我公司对项目周边环境状况进行了实地踏勘和调查，并对有关资料进行了系统分析。在此基础上，按照省、市、区有关生态环境主管部门和环境影响评价技术导则等技术规范的要求，编制完成了浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书（送审稿），并于 2019 年 12 月 20 日通过了由衢州市环境医院组织召开的技术评审会。会后，根据专家组意见对报告书进行了修改完善，现上报审批。1.2 项目特点项目特点 本项目主要采用消化吸收国外先进技术后自主研发的具有国际先进水平的合成、深度提纯、净化的技术或工艺，引进具有国际领先水平的分析检测等仪器，主要目的在于获得满足下游客户要求的产品同时具备产业化条件，逐步替换国外产品。本项目产生废气、废水、噪声、固废均配备有完善的防治措施，可确保污染物稳定达标排放，对周围环境的影响可接受。1.3 环境影响评价的工作过程环境影响评价的工作过程 环境影响评价工作一般分为三个阶段，即调查分析和工作方案制定阶段，分析论证和预测评价阶段，环境影响报告书编制阶段，具体流程见图 1.3-1。1.4 分析判定情况简述分析判定情况简述 1.4.1 环境功能区划符合性判定环境功能区划符合性判定 根据浙江省衢州市区环境功能区划，本项目位于南片工业发展优化准入区（0801-V-0-2）。本项目“三废”治理设施完善，污染物经处理后可达标排放，重点加强大气、土壤及地下水的污染防治，新增污染物通过区域平衡削减替代，有利于区域环境的改善。同时，本项目拟建地位于公司规划新厂区地块三，属于巨化集团内部存量用地，用地属性为三类工业集聚的工业区，符合所在功能区的管控措施和负面清单要求。因此，本项目的建设符合衢州市环境功能区划要求。浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书 浙江省环境科技有限公司 3 杭州市余杭区联创街 199 号 1.4.2 土地利用规划和城乡总体规划符合性判定土地利用规划和城乡总体规划符合性判定 根据衢州市城市总体规划调整（20062020 年），巨化片区用地功能以化工园区为主，保留原居住功能，结合其西侧的衢州高新技术园区，用地向西、向南发展。本项目拟建地位于公司规划新厂区地块三，属于巨化集团内部存量用地，用地性质为工业用地，因此符合衢州市城市总体规划的发展方向和衢州市土地利用总体规划。图 1.3-1 环境影响评价工作程序图 1.4.3 产业政策符合性判定产业政策符合性判定 根据国家发展和改革委员会第29号令产业结构调整指导目录(2019年本)，本项目属于“第一类鼓励类 十一、石化化工”中“第12条改性型、水基型胶粘剂和新型热熔胶，环保型吸水剂、水处理剂，分子筛固汞、无汞等新型高效、环保催化剂和助剂，纳米材浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书 浙江省环境科技有限公司 4 杭州市余杭区联创街 199 号 料，功能性膜材料，超净高纯试剂、光刻胶、电子气、高性能液晶材料等新型精细化学品的开发与生产”，属于鼓励类项目。对照市场准入负面清单（2018 年版），本项目也不属于该类中的内容。因此，本项目的建设符合国家和地方产业政策的要求。1.4.4“三线一单三线一单”符合性判定符合性判定 1、生态保护红线 根据衢州市区生态保护红线图，本项目拟建地不在生态保护红线范围内。2、环境质量底线 本项目所在区域的环境质量底线为：环境空气质量达到二级标准，地表水环境质量达到类标准，声环境质量达到 3 类标准。2018年衢州市属于环境空气质量达标区，补充监测结果表明，各测点的污染物浓度均符合相应的环境质量标准要求。本项目附近纳污水体乌溪江各监测断面的各项指标均能符合地表水环境质量标准(GB3838-2002)中III类标准。本项目所在区域地下水除总硬度外，其余各项指标均符合地下水质量标准(GB/T14848-2017)中的III类标准。项目各侧厂界昼间、夜间噪声值均能达到声环境质量标准（GB3096-2008）中的3类区声环境质量要求。根据土壤监测报告，各监测点的监测因子均能满足土壤环境质量 建设用地土壤污染风险管控标准（试行）（GB36600-2018）中二类用地筛选值标准。本项目实施过程中要求严格落实各项污染防治措施，实现各类污染物达标排放。项目产生的生产废水经预处理后纳管排放，不外排附近水体；各类固废均得到妥善处置；根据项目所在地环境现状调查和污染物排放影响预测，本项目建成投产后对区域内环境影响可接受，考虑替代削减源情况下，对周围环境空气有所改善；项目拟建地厂界 200m范围内无居民等敏感点，项目噪声经隔声降噪措施后，对周围环境影响可接受，不会造成噪声扰民现象。由上分析，本项目实施不触及环境质量底线。3、资源利用上线 本项目拟建地位于公司规划新厂区地块三，是巨化集团内部存量用地，因此不新增浙江博瑞电子科技有限公司集成电路制造用膜先体系列产品项目环境影响报告书 浙江省环境科技有限公司 5 杭州市余杭区联创街 199 号 工业用地的土地资源。达产情况下使用到的能源包括电、蒸汽和水。目前该产业园区电、水、蒸汽均可实现管道化输送，项目采用行业先进的生产工艺和设备，采取相应的各项节能措施，投入使用后，各项能耗指标均达到了国内同行业先进水平，符合国家和行业节能设计规范、节能监测标准和设备经济