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1、XX/T XXXXXXXXX6AA附录A（规范性附录）激光椭圆偏振法测量铝箔表面氧化膜厚度方法（参考件）A.1范围本方法适用于软状态高压原箔的表面氧化膜厚度的测定。A.2试验设备激光椭圆测厚仪：测量范围：0nm300nm；精度：1nm；起偏器旋转角度：0180；四分之一波片旋转角度：-90。90。；检偏器旋转角度：-90。90。；激光入射角90。A.3样品尺寸a)矩形样片：长 10mm20mm，宽 10mm20mm；b)圆形样片：直径 10mm20mm。A.4方法原理图图 A.1测量表面氧化膜厚度的方法原理图XX/T XXXXXXXXX71激光器；2.激光器出射光栏；3.起偏器；4.起偏器读数
2、显微镜；5.四分之一波片；6.四分之一波片读数显微镜；7.入射光栏；8.待测样片；9.样品台；10.出射光栏；11.检偏器；12.检偏器读数显微镜；13.检流计光栏；14.光电倍增管及检流计。A.5测量A.5.1测量准备A.5.1.1在测量前调整激光器光轴与检流计光轴准直，以确保出射光被检流计接收。A.5.1.2实验前应获得铝箔材料基体的折射率及光吸收系数。A.5.2根据激光椭圆偏振测量膜层厚度的方法，测量铝箔表面氧化层相应的参数，测量时可选择适当的激光器，以获得特定的波长（如He-Ne激光器），也可根据实验选择适当的光电倍增管和检流计。A.5.3为消除实验误差，采用激光束变角度入射（如50、60、70入射），进行相应测量，获得各个角度下的相应参数。A.5.4将测量所得的参数与已知的铝箔材料的光学折射率、光吸收系数及空气的光折射率一同进行数据处理，确定铝箔表面氧化膜层厚度。_
