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1、本文格式为Word版，下载可任意编辑光伏电池的技术员试题1 PECVD考试试题 一、单项选择 1、当膜厚由薄逐步变厚时，膜的颜色变化过程（ ） A、红色深蓝蓝色 B、深蓝淡蓝蓝色 C、淡蓝蓝色深蓝 2、当折射率较大时，工艺调整时需（ ） A、增大硅烷通量 B、减小氨气通量 C、减小硅烷通量 3、工艺运行过程中，当左侧膜厚偏小，右侧膜厚偏大时（ ） A、增大左侧微波源功率，减小右侧微波源功率 B、减小左侧微波源功率，增大右侧微波源功率 C、减小左侧微波源功率，同时减小右侧微波源功率 4、以下回响方程式，正确的是（ ） A、SiH4+NH3SixNy+H2 B、SiH4+NH3SiN+H2 C、S
2、iH4+NH3Si3N4+H2 5、哪种气体不是PECVD所需特气（ ） A、硅烷 B、氨气 C、甲烷 二、多项选择 1PECVD沉积减反射膜的优点是：（ ） A衬底温度低 B淀积速率高 C衬底温度高 D淀积速率低 2PECVD的能量源有（ ） A高频电源 B微波 C直流电源 D加热器 3.以下哪些参数可以调整膜厚（ ） A工艺压力 B沉积时间 C加热温度 D带速 4.常用的氮化硅沉积设备有哪些（ ） A板式 B管式 C丝网印刷 D清洗机 5.管式PECVD的设备组件有（ ） A石墨舟 B石英炉管 C石墨框 D真空泵 三、判断 1、工艺压力与沉积速率无关（ ） 2、板式PECVD增加带速能增加
3、膜厚（ ） 3、管式PECVD的载片设备为石墨舟（ ） 4、管式PECVD设备报警退舟后，能通过补镀来完成完整的氮化硅膜沉积（5、氮化硅膜减反射原理为陷光原理（ ） 四、填空 ） 1.板式PECVD概括操作时，上完片应轻轻的敲击一下 的边缘，防止 在 掉落. 2.当传输新工艺时要 后面可大量生产. 3.对于石墨框固定位置产生色差的处理方式: . 4.氮化硅膜厚超出范围，偏小时应 石墨框传输速度；偏大时应 石墨框传输速度。一般处境下，1cm/min对应 nm,概括视调整后的第一框膜厚为基准. 5.氮化硅膜的作用主要是 和 . 五、简答题 1、简述PECVD的原理及目的. 2、简述更换石英管流程及
4、留神事项. 3、为什么后清洗出来的片子在PECVD前搁置时间过长需要举行酸洗？ 六、计算 156电池片的功率为4W，那么其转换效率是多少？ 七、案例分析 管式PECVD镀膜过程中发生高频报警，请概括说出高频报警的引起理由，并说出解决方案。 答案： 一、 ACBAC 二、 AB AB ABCD AB ABD 三、 四、 石墨框 硅片 工艺腔 验证电性能 开腔取出掉片 减小 增大 1nm 减反射 钝化 五、 1、原理：氨气硅烷回响生成氮化硅膜。目的：减反射，钝化 2、降温、开腔体卸石英管、卫生清理、通气孔（留神通透）、换上新石英管（铜管要直，密封圈无变形，胶带上无气泡，铝帽无划痕，关仓（擦明净密封圈）、抽真空。 3、由于长期暴露空气中硅片外观一方面被氧化，另一方面外观会被杂质污染 六、 S=0.1560.156=0.024336m2 P=4W 效率=P/1000S=16.44% 七、 理由： 1、 电池片没插好，接触到另一电极，导致短路。 2、 电池片有隐裂，在周内破碎，接触到另一电极，导致短路。 3、 炉内碎片接触到石墨舟的两个电极导致短路。 4、 高频电源故障，发生警报。 5、 高频电源冷却水流量缺乏，电源工作奇怪，发生警报。 处理措施： 判定故障理由，退舟冷却后，补镀剩余时间。 4
