第六章 光外差检测系统,光外差检测与直接检测系统相比，具有如下优点： 测量精度高7-8个数量级； 灵敏度达到量子噪声极限，其NEP值可达10-20 W 可用于光子计数 激光受大气湍流效应影响严重，破坏了激光的相干性，所 以外差检测在大气中应用受限，在外层空间已经达到实用 阶段 外差检测在高频（υ≥1016Hz）光波时不如直接检测有 用而在长波长（近红外和中红外波段），光外差检测技 术就可实现接近量子噪声限的检测直接检测系统中，检测器检测的光功率为平均光功率Pcp：,显然光波直接检测只能测量其振幅值光外差检测原理如图，两束平行的相干光，经分光镜和可变光阑入射到检测器表面进行混频，形成相干光场，经检测器变换后，输出信号包含差频信号，故又称相干检测6.1 光外差检测原理,如图:光源经过稳频的二氧化碳激光器，由分束镜把入射光分成两路：一路经反射作为本振光波，频率为fL，另一路经偏心轮反射，经聚焦到可变光阑上作为信号光束偏心轮转动相当于目标沿光波方向并有一运动速度，光的回波产生多普勒频移，其频率为fs可变光阑用来限制两光束射向光电检测器的空间方向，线栅偏振镜用来使两束光变为偏振方向相同的相干光，然后两束光垂直投射到检测器上。
首先设入射到检测器上的信号光场和本机振荡光场分别为：,那么，入射到检测器上的总光场为：,光检测器的响应与光电场的平方成正比，所以光检测器的光电流为：,,,式中第一、二项为余弦函数平方的平均值，等于1/2第三项为和频项，频率太高，光混频器不响应，可略去，第四项为差频项，频率低得多，当差频信号(ωL-ωs)/2π=ωC/2π低于光检测器的上限截止频率时，检测器就有频率为ωC/2π的光电流输出如果把信号的测量限制在差频的通常范围内，则可以得到通过以ωC为中心频率的带通滤波器的瞬时中频电流为：,中频滤波器输出端，瞬时中频信号电压为：,中频输出有效信号功率就是瞬时中频功率在中频周期内的平均值，即：,当ωL-ωs=0，即信号光频率等于本振光频率时，则瞬时中频电流为：,这是外差探测的一种特殊形式，称为零差探测6.2 光外差检测特性,6.2.1 光外差检测可获得全部信息,外差检测不仅可检测振幅和强度调制的光信号，还可检测频率调制及相位调制的光信号在直接检测系统是不可能的6.2.2 光外差检测转换增益G高,光外差检测中频输出有效信号功率为：,在直接检测中，检测器输出电功率为：,两种方法得到的信号功率比G为：,可知，在微弱光信号下，外差检测更有用。
6.2.4 信噪比损失小,6.2.3 良好的滤波性能,光外差检测中，取信号处理器通频带为Δf=fL-fs，则只有此频带内的杂光可进入系统，对系统造成影响，而其它的杂光噪声被滤掉因此外差检测系统不需滤光片，其效果也远优于直接检测系统例：目标沿光束方向运动速度υ=0-15m/s，对于CO2激光信号， 多普勒频率fs为：,通频带Δf1取为：,而直接检测加光谱滤光片时，设滤光片带宽为1nm，所对应的带宽，即通频带Δf2=3000MHz 可见，外差检测对背景光有强抑制作用 另：速度越快，多普勒频率越大，通频带越宽当不考虑检测器本身噪声影响，只包含输入背景噪声的情况下，外差检测器的输出信噪比等于输入信噪比，输出信噪比没有损失6.2.5 最小可检测功率—内增益型光电检测器件,当本征功率PL足够大时，本征散粒噪声远超过所有其它噪声，则上式变为：,内部增益为M的光外差检测器输出有效信号功率为：,检测系统中检测器本身的散粒噪声和热噪声是影响最大可难以消除的则外差检测输出的散粒噪声和热噪声表示为：,功率信噪比为：,这就是光外差检测系统中所能达到的最大信噪比极限，一般称为光外差检测的量子检测极限或量子噪声限引入最小可检测功率（等效噪声功率）NEP表示，在量子检测极限下，光外差检测的NEP值为：,在光电直接检测系统的量子极限为：,这里面需要说明的是：直接检测量子限是在理想光检测器的理想条件下得到，实际中无法实现量子极限的。
而对于光外差检测，利用足够的本振光是容易实现的 总之，检测灵敏度高是光外差检测的突出优点6.2.5 最小可检测功率—内增益型光电检测器件,为克服由信号光引起的噪声以外的所有其他噪声，从而获得高的转换增益，增大本振光功率是有利的但本振光本身也引起散粒噪声，本振功率越大，噪声也越大，使检测系统信噪比反而降低因此，应合理选择本振光功率，以便得到最佳信噪比和较大的中频转换增益6.2.6 光外差检测系统对检测器性能的要求,外差检测系统对检测器要求一般比直接检测对检测器的要求高得多，主要如下： 响应频带宽主要是因为采用多普勒频移特性进行目标检测时，频移的变化范围宽，要求检测器的响应范围要宽，甚至达上千兆Hz 均匀性好外差检测中检测器即为混频器，在检测器光敏面上信号光束和本振荡光束发生相干产生差频信号，为达到在光敏面不同区域相同的外差效果，要求检测器的光电性能在整光敏面上都是一致特别是跟踪系统的四象限列阵检测器 工作温度高在实验室工作时，工作温度无严格要求如果在室外或空间应用时，要求选工作温度高的检测器如HgCdTe红外检测器件6.3 影响光外差检测灵敏度的因素,在本节内容中，只考虑光外差检测的空间条件和频率条件对灵敏度的影响及改善方法。
其它因素可参阅书籍6.3.1 光外差检测的空间条件（空间调准）,信号光和本振光的波前在光检测器光敏面上保持相同的相位关系，才得式：,设信号光束和本振光束之间夹角为θ，且信号光束的波阵面平行于光敏面时，如图6.3.1 光外差检测的空间条件（空间调准）,设信号光束和本振光束的光场为：,那么本振光束到达光敏面时，在不同点x处有不同的波前，即不同的相位差 相位差等于光程差和波数之积即：,于是本振光波可表示为：,则检测器上x点的响应电流为,则整个光敏面总响应电流为,6.3.1 光外差检测的空间条件（空间调准）,从式中可知，当 时，,即 时，中频电流i最大即可得外差检测的空间相位条件为：,即：,显然：波长愈短或口径愈大，要求相位差角θ愈小，愈难满足外差检测的要求说明红外光比可见光更易实现光外差检测 例：本振光波长为1微米，检测器光敏面长度为1mm，则θ0.32mrad（0.018度） 实验证实，稳频的CO2激光器做外差检测实验，当θ2.6mrad时，才能看到清晰的差频信号这个角度也被称为失配角如图，要形成强的差频信号，必须使信号光束和本振光束在空间准直得很好 背景杂散光来自各个方向，绝大部分的背景光不与本振光准直，即不产生明显的差频信号。
因此外差检测在空间上能很好地抑制背景噪声具有很好的空间滤波性能但是严格的空间条件也使调准两光束比较困难从上面讨论中可以看出，要使信号光波和本振光波在光混频面上有效的空间相干，必须使两束光尽量平行，因为这个要求是比较严格的，所以给光外差的实现带来一定困难，严重妨碍了它的实际应用接近这一问题的方法只有是：爱里斑原理法（用聚焦透镜降低空间准直要求）降低空间相干条件的方法,先来看一下光学透镜天线在接收系统中的作用：,,光学透镜天线,当光波正入射时，由物理光学可知，经过面积为Ar的透镜之后，在焦平面处的探测器上形成衍射光斑衍射光斑中最大峰值处所包含的面积λ2f2/Ar称为爱里斑面积这个面积决定了接收系统的衍射极限视场，若用立体角Ωdl表示， 则有,若用平面角表示， 则有：,式中Dr是透镜的直径尺寸爱里斑原理示意图:,,用透镜将信号光聚焦到光混频器表面光混频器的有效面积就是爱里斑的面积同时使本振光也照射到爱里斑上，即可发生光混频随着D/f 比的增加，对失配角的要求越来越宽6.3.2 光外差检测的频率条件,为获得灵敏度高的光外差检测，要求信号光和本振光具有高度的单色性和频率稳定性 光外差检测的物理光学的本质是两束光波叠加后产生干涉的结果。
这种干涉取决于信号光和本振光束的单色性因此为获得单色性好的激光输出，必须选用单纵模运转的激光器作为光外差检测光源信号光和本振光存在着频率漂移，使光外差检测系统的性能变坏是因为频率差太大可能超过中频滤波带宽，中频信号不能正常放大因此在光外差检测中，需要采用专门措施稳定信号光和本振光的频率1、干涉测量技术 应用光的干涉效应进行测量的方法称为干涉测量技术 干涉测量系统主要由光源、干涉系统、信号接收系统和信号处理系统组成 优点：测量精度高（以波长为单位）,6.4 光外差探测系统举例,干涉测量基本原理：改变干涉仪中传输光的光程而引起对光的相位调制，从而表现为光强的调制测量干涉条纹的变化即可得到被测参量的信息 干涉条纹是由于干涉场上光程差相同的场点的轨迹形成 可进行长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学材料内部缺陷等几何量和物理量的测量1、激光光源： 稳频He-Ne气体激光器，频宽达103Hz， 相干长度可达300km 2、干涉系统：迈克尔逊干涉原理， 位移---测量臂； 3、光电显微镜：给出起始位置实现对对测长度或位移的精密瞄准，使干涉仪的干涉信号处理部分和被测量之间实现同步。
4、干涉信号处理部分：光电控制、信号放大、判向、细分及可逆计数和显示记录等6.4.1 激光干涉测长仪,如图，主要有几部分组成：,,测量光束2和参考光束1相互叠加干涉形成干涉信号其明暗变化次数直接对应于测量镜的位移 M2沿光束2方向上每移动半波长的长度，光束2的光程就改变了一个波长，于是干涉条纹就产生一个周期的明、暗变化 这个变化由光电转换装置转变成一个电信号而被光电计数器计数，并由显示和记录装置加以显示和记录我们只要记下M2移动时干涉条纹变化的周期数N就可以得到被测长度(即M2移动的距离) 被测长度L通过运算和显示电路直接显示出来,1、激光器；2、透镜；3、小孔光阑；4、透镜；5、反射镜；6、反射棱镜；7、位相板；8、角锥反射棱镜；9、分束镜；10、角锥反射棱镜；11、透镜；12、光阑；13、光电检测器；14、透镜；15、光阑；16、光电检测器,,光阑3形成一种空间滤波器，减小光源中杂散光的影响 到达角锥反射棱镜10的作为干涉仪的参考臂而角锥反射棱镜8作为测量臂 光学元件7称为位相板，使通过光路的部分光束产生附加位相移动，使光电检测器13和16接收到的干涉信号在位相上相差π/2实用的激光干涉测长仪的简化光路,该光路中，使用角锥棱镜代替了平面反射镜作为反射器，一方面避免了反射光束反馈回激光器而对激光器带来的不利影响，另一方面由于角锥棱镜的特点，使得出射光束与入射光束平行，而棱镜绕任一转轴的转动均不影响出射光束的方向，当它绕光学中心转动的角度不大时，它对光程的影响可以忽略。
缺点是这种成对使用的角锥棱镜要求配对加工，而且加工精度要求高 角锥棱镜的形状相当于立方体切下来的一个角，它的三个内表面作为光学反射面并相互垂直当光从基面入射，可在三个直角面上依次反射，仍从基面出射出射光线与入射光线总保持平行反射器 各种反射器如图所示，有平面反射镜1、直角棱镜2、角锥棱镜3、三种猫眼系统4和固定反射镜与直角棱镜的组合5 各种反射器,,,,几种典型的布局,1．使用角锥棱镜反射器的干涉系统 （1）图（a）结构的主要特点是反射光束不能反馈回激光器缺点是这种成对使用的角锥棱镜要求配对加工，而且加工精度要求高 （2）图（b）结构只用一个角锥棱镜作可动镜，镜M1和M3还能做成一体，如图（c）所示 （3）图（d）的布局只用一个角锥棱镜作动镜，已基本上不受镜座多余自由度的影响，而且光程增加一倍所以也叫做双光程干涉仪系统2．整体式布局 这是一种将多个光学元件结合在一起，构成一坚固组件的布局结构如图所示特点：系统对外界的抗干扰性较好缺点是调整不方便该系统不仅多余自由度消除好，灵敏度也提高一倍整体式布局系统,,3．光学倍频的布局（特伦系统） 为了提高干涉仪的灵敏度。