工艺基础知识培训课件.ppt

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1、培训目的：相关技术人员掌握必备的专业基础知识 课程类型：技术类 课 目：工艺基础知识 课 时： 2H 主 讲 人： 周 锐 编制：周 锐 审核：李定武 核准： 实施日期：2011年2月,宁夏隆基系统标准化培训教育课件,1.1单晶硅与多晶硅 硅（台湾、香港称矽）呈灰色，性脆，易碎。其在自然界中呈氧化物状态存在，在岩石圈中的丰度为27.6%（重量），仅次于氧，因而硅的资源极为丰富。 通常的工业硅（99.0-99.9%）不具有半导体性能，当将硅提纯到很高纯度（99.9999999%）时，就显示出优异半导体性能。下表中列举了硅的一些参数。,培训教育 学习成长,1 硅单晶,培训教育 学习成长,表1.1

2、硅的参数,硅原子在空间呈长程有序排列，具有周期性和对称性，这种硅晶体称为单晶硅。反之，硅原子在空间的排列呈无序或短程有序，称为多晶硅。 因单晶的原子排列具有周期性和有序性，为了方便分析研究，人们选取能够反映晶体周期性的重复单元作为研究对象，称为晶胞。硅单晶属于金刚石结构，晶胞是正方体。八个顶点、六个面的中心及每条空间对角线上距顶点四分之一对角线长的地方各有一个硅原子。 图1.2 金刚石结构,1.2晶向及晶面,晶体生长中，常用到晶面和晶向的概念。晶体的原子可以看成是分列排列在平行等距的平面系上，这样的平面成为晶面。通常选取正方体晶胞上的一个顶点作为原点，过原点的三条棱线分别作为X、Y、Z坐标轴，

3、晶胞的棱长为一个单位长度建立坐标系。任意一个晶面，在X、Y、Z轴上都会有截距，取截取的倒数，若倒数为分数，则乘以它们的最小公倍数，都可以转换成h、k、l的形式，把整数h、k、l扩入圆括号，这样就得到晶面指数（hkl）。 某一晶面指数为（123），或者更普遍地为（hkl），它仅表示晶面指数为h、k、l的一个晶面。为了表示平行于这一特殊晶面的一整族晶面，或需要指明具有某种晶体学类型的所有晶面，如所有的立方面是具有（100）特性的晶面，常用 括起晶面指数，这样，一切具有（100）晶面特性的晶面用100表示，叫100晶面族，它包括（100）、（010）、（001）、（100）、（010）、（001）各

4、晶面。,为了标出晶向，通过坐标原点作一直线平行于晶面的法线方向，根据晶胞的棱长决定此直线点的坐标，把坐标化成简单的整数比。用 括起来，称为晶向指数。为了表示一组相同晶体类型的所有晶向，用 把晶向指数括起来，叫晶向族。 图1.3 常用的三种晶面,在晶体的同一面族中，相邻两晶面之间的距离叫面间距。同一晶面上，单位面积中的原子数叫面密度。晶面指数不同的晶面族，面间距也不同，面密度也不一样。单位体积晶体中原子总数是一定的，面间距较小的晶面族，晶面排列密，晶面的原子密度小；面间距较大的面族，晶面排列较稀，晶面的原子密度大。 硅单晶生长时，100晶面族的法向生长速度最快，111晶面族最慢。 硅单晶若用腐蚀

5、液腐蚀，各晶面族腐蚀速率不同，100面族腐蚀速率最快，110面族次之，111晶面族最慢。,为什么100晶面族的法向生长速度最快？,1.3半导体材料,固体材料按照其电阻率可分为超导体材料、导体材料、半导体材料和绝缘体材料。半导体材料的电阻率一般介于导体和绝缘体之间，数值一般在10-4108.cm之间。但电阻率在10-4108.cm之间的并不都是半导体，半导体的电阻率受杂质及温度的影响。 1.3.1杂质对半导体材料电阻率的影响 半导体的电阻率对其所含的杂质量是非常敏感的。杂质含量的改变，会引起半导体材料的电阻率发生显著变化。例如，硅中磷杂质浓度在10211012cm-3范围内变化时，它的电阻率则从

6、10-4.cm变到104.cm。目前电阻率可在这样大的范围内变化的材料并不多，它说明了半导体中杂质含量是决定其电阻率的主要因素之一。,1.3.2温度对半导体材料电阻率的影响 对金属导体来说，当温度升高时，它的电阻率增大，但变化幅度不大。而半导体与此相反，当温度升高时，电阻率降低，温度下降时，电阻率增大，并且变化幅度很大。当温度变化300时，电阻率会改变几千倍到几十万倍。当温度下降至接近绝对零度（-273）时，半导体就成为绝缘体。因此要求在室温下（232）测量硅单晶的电阻率。,2 直拉单晶硅的基础理论,2.1位错与拉晶 2.1.1晶体缺陷 实际晶体的空间点阵和理想的空间点阵不同，它无法作到绝对的

7、理想的规则周期排列，而是点阵在排列上有这样或那样不规则性，存在着点阵畸变，偏离空间点阵。那些偏离点阵的结构或地区通称晶体缺陷。 根据缺陷相对晶体尺寸或影响范围大小，可分为点缺陷、线缺陷、面缺陷、体缺陷。 2.1.2位错 位错是一种很重要的晶体缺陷。晶体的位错是围绕着的一条很长的线，在一定范围内原子都发生有规律的错动，离开它原来平衡位置，所以叫位错。,位错可以发生滑移和攀移运动并发生位错的增殖。硅单晶是典型的金刚石结构，并且是共价键结合，111面族面间距大，面密度大，111面族是硅单晶的主要滑移面。滑移方向一般为晶向族，晶向族上原子间距最小，因此，硅晶体主要在111面族的晶向族的方向上滑移。 位

8、错对硅单晶的电学性质影响很大。如位错会影响到电阻率、载流子浓度、缩短少数载流子的寿命及减少电子迁移率 直拉硅单晶生长过程中，生产工艺不良，可能使单晶产生位错。产生位错的环节和方式包括： 1）籽晶引入位错 籽晶表面损伤、机械磨损裂痕等使籽晶表面晶格受到破坏形成位错或籽晶本身有位错。它们和熔硅熔接时，籽晶中位错晶体生长不断延伸和增殖。另一方面，无论籽晶有无位错，籽晶与熔硅接触时受到强烈的热冲击，产生新位错并发生位错增殖，接触面积越大，接触温度越高，新生的和增殖的位错越多，熔接后的籽晶位错密度一般都在103/cm3104/cm3数量级。,熔硅温度较低，籽晶和熔硅熔接不好也会产生位错。如果单晶生长界面

9、温度太低，籽晶和熔硅接触不好，新生长的单晶与籽晶晶格不完全一致，产生了大密度的位错。熔硅表面有浮渣，浮渣附着在籽晶表面，使单晶产生不同取向，同样可以产生位错。 2）硅单晶生长中产生位错 硅单晶中的位错除籽晶中的位错延伸、增殖外，生长过程中如果受到机械震动，产生机械应力，晶格的结点会发生畸变，生成位错。 硅单晶生长中，热应力也会产生位错产生和进行增殖。防止热应力产生位错，这是工艺设计的主要任务。 熔硅温度的起伏和单晶生长速率的起伏，可以引起结晶界面上原子振动的变化，使原子排列偏离点阵，产生晶格畸变，形成位错也可能使单晶偏离生长取向产生位错。,硅单晶内杂质浓度过高，形成杂质析出也容易产生位错，掺杂

10、量很大的重掺锑、重掺磷、重掺砷硅单尤其明显。硅单晶生长有杂质析出时 ，形成一新的固相，单晶冷却过程中，它们体积收缩率和形成的新相不同，硅和新固交界处会产生足够的应力，形成位错；另一方面，单晶内杂质浓度高，使硅晶格变化较大，晶格常数的不均匀也可形成应力，产生位错。 3）单晶冷却过程产生位错 单晶硅生长结束后，单晶和熔硅脱离接触，进行冷却。单晶冷却时，晶体表面和中心由于收缩率不同产生很大的应力，同时晶体表面存在温度梯度，产生很强的热应力，这些应力都足以使单晶界面生成新位错。 2.1.3 籽晶与引晶 籽晶是生长单晶的种子，也叫晶种。用不同晶向的籽晶做晶种，会获得不同晶向的单晶。拉制单晶用的籽晶一般用

11、单晶切成。为了保证单晶质量，切籽晶所用的单晶一般用高阻单晶。切制籽晶的时候，需要进行定向切割。目前一般要求籽晶与所要求的晶向无偏角，即所谓的“零度籽晶”。,生长无位错硅单晶，首先要生成一个无位错晶核，然后才能在无位错晶核上长成无位错单晶。因此，无位错晶核是生长无位错单晶的基础。无位错晶核和无位错籽晶不同。引晶时，籽晶和熔硅接触，受到强烈的热冲击，不管籽晶有无位错，都要生成和增殖103104/cm2数量级的位错，通过缩颈工艺则能排除籽晶中原生和新生位错。 2.1.4单晶收尾 拉晶等径完成后，如果不收尾，单晶尾面脱离熔硅后，由于热应力作用往往产生位错，而且位错会向上返。为提高单晶成晶率，工艺上采取

12、收尾工艺，如果收尾良好，则基本不产生位错。,2.2电阻率与掺杂,2.2.1硅单晶电阻率和杂质浓度 半导体内含微量杂质元素，将使载流子（自由移动的电荷）浓度增加，半导体的电阻率将发生很大变化。 在太阳能级单晶硅的拉制中，都要加入杂质元素。根据导电类型分为P（positive正）型和N（negative负）型单晶，P型单晶是由空穴（显正极性）作为载流子，常用的掺杂元素有3价的硼、镓。N型单晶由电子（显负极性）作为载流子，常用的掺杂元素有5价的磷、砷、锑。,通常电阻率低，说明硅中的杂质浓度高，但电阻率高，不能肯定说硅中的杂质浓度就低，还要看是否有高的补偿度（指硅中两种型号杂质浓度之比）。 硅单晶的电

13、阻率和杂质浓度可以进行转换，下表中对常用的转换关系进行了列举。 2.2.2硅纯度的表示 2.2.2.1行业内常用PPb、PPm来表示物质的纯度。,1）PPb （parts perbillion）：表示十亿分之一，如2PPb=2/109 。以硅行业为例，常有下列两种用法： PPb a：表示单位体积内杂质原子数和总原子的个数比。如硅中含1PPba的硼，可以理解为10亿个原子中，有1个硼原子，999999999个硅原子。 PPb wt：表示单位体积内杂质重量和硅重量比。如硅中含0.1PPb a的硼，换算成PPbt为0.038PPb wt。 实用浓度转换公式：常用工具计算器calculators.xl

14、s 2）PPm（parts permillion ）：PPm是和PPb相似的一种纯度表示法，只是数量级较大： 1PPm=1000PPb 。 2.2.2.2工业上常用几个“9”来表示物质的纯度。以硅为例，若硅的纯度为9个“9”，则硅原子占99.9999999%，也就是说硅中杂质含量为1PPb。,2.2.3分凝,熔体中各部分的杂质浓度相同，但在凝固过程中，固液两相的杂质溶度会不同，这种现象称为分凝效应。如果结晶凝固过程发生的足够缓慢，可近似地看作平衡过程，这时分凝称平衡分凝。 2.2.3.1平衡分凝系数 平衡分凝过程中，固液两相杂质浓度的比值称为平衡分凝系数。不同物质的分凝系数不同。 K0 =CS

15、/CL （K0：平衡分凝系数；CS： 固相杂质浓度；CL：液相杂质浓度） 例如磷的分凝系数为0.35，意味着如果现在这一时刻熔硅里面的浓度是100的话，那么下一时刻长出来的单晶中，磷的浓度是35。,2.2.3.2有效分凝系数 实际生产过程中，结晶不可能无限缓慢，即：不可能在平衡状态中进行，这种状态下的分凝系数称为有效分凝系数。理论分析和实践证明，有效分凝系数和平衡分凝系数之间存在以下关系：,其中： K0为平衡分凝系数； f为晶体生长速率； 为杂质富集层（或贫乏层）厚度； D为杂质扩散系数。 以上公式称为普凡方程（也有称为BPS关系的）。,2.2.3.3硅单晶的电阻率 1）纵向电阻率 一支直拉硅

16、单晶，从头到尾杂质分布不同，因此其电阻率也不同。 影响单晶杂质浓度分布情况主要有以下几个方面。 a.杂质分凝是影响硅单晶纵向电阻率分布较大的因素之一。拉制单晶硅时常用的掺杂元素磷、砷、硼、镓，它们在硅中的平衡分凝系数均小于1，因而在晶体生长过程中，杂质会在熔体中不断积累，使熔硅中的杂质浓度越来越高，晶体尾部的杂质浓度也越来越高，电阻率越来越低。分凝系数越小，头尾的电阻比例越大。 例如：对于无补偿的掺硼和掺磷（不考虑挥发）单晶，头尾电阻比分别为1.57:1和3.8:1；,b.熔体中杂质的蒸发。对于不容易蒸发的杂质，如硼，分凝是影响电阻率分布的主要因素，但容易挥发的杂质，如磷，挥发和分凝同时影响电阻率的纵向分布，当挥发大时，会造成尾部电阻率高于头部电阻率。 c.硅熔体还受到其他杂质的污染，主要是石英坩埚中硼杂质的影响。对于P型单晶电阻率会越来越低，N型单晶电阻率会越来越高。 总之，分凝、蒸发、污染同时影响单晶杂质分布。而单晶电阻率到底如何变化，必须考虑这三种因素的综