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1、毕业设计（论文）任务书系（部） 光电信息系 专业 测控技术与仪器 班 B080101 姓名 张健 学号 B08010125 1.毕业设计（论文）题目： 关于提高真空设备抽气速率方法的研究 2.题目背景和意义：我国真空设备行业自改革开放的几十多年来有了很大的发展和长足的进步，为我国的国民经济建设，科学技术的发展，国防高新技术的提升做出了巨大贡献，而真空设备的优劣关键表现在真空泄漏率上，随之带来的问题便是如何进行真空设备的检漏，通过真空检漏可以提高设备或系统的极限真空度，缩短抽气时间，提高抽气速率，从而提高了设备的工作效率，而在实际生产过程中，往往由于各种原因导致设备真空度下降而无法满足工艺要求，
2、且大大的增加了抽真空所用的时间，降低了抽气速率，影响了工作效率，因此保证设备的真空度和提高真空设备的抽气速率就显得尤为重要。 根据我校实验室 ZZX-1100 型真空镀膜设备的特点，制定相应的工艺方案，达到较高精度中大型真空设备抽气速率的提高，达到设备抽气时间不高于 30min 的极限真空度为 5. 010-3Pa 的技术要求。 3.设计(论文) 的主要内容（理工科含技术指标）： 1）学会文献资料的基本查找方法及综合分析研究问题的能力； 2）熟悉实验室真空获得设备的工作原理和 ZZX-1100 型真空试验台的操作； 3）设计一套完整的提高真空获得设备抽气速率的工艺方案，并编写详细的操作规程工艺
3、说明书。 4）根据我校实验室 ZZX-1100 型真空镀膜设备的特点，通过实验，达到设备抽气时间不高于 30min 的极限真空度为 5. 010-3Pa 的技术要求。 4.设计的基本要求及进度安排（含起始时间、设计地点）： 2010 年 11 月 1 日12 月 10 日 查找资料，准备开题。 2010 年 12 月 14 日12 月 25 日 开题答辩 2011 年 2 月 22 日3 月 5 日 中期答辩 2011 年 4 月 12 日5 月 12 日 终期答辩 5.毕业设计（论文）的工作量要求 论文字数 1.5 万字以上；外文翻译 3000 字以上；参考文献 15 篇以上 实验（时数） *或实习（天数）： 图纸（幅面和张数） *： 其他要求： 指导教师签名： 年 月 日学生签名： 年 月 日系主任审批： 年 月 日说明：1 本表一式二份，一份由各系集中归档保存，一份学生留存。2 带*项可根据学科特点选填。
