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1、广东卓越招标采购有限公司编制 东莞市政府采购文件(国内公开招标)项 目 名 称：有机光电功能材料创新中心设备采购项目项 目 编 号：441900-201905-0099991-0002采 购 单 位：华南协同创新研究院采购代理机构：广东卓越招标采购有限公司二 一 九 年 五 月目录第一部分 投标邀请书3第二部分 用户需求书6第三部分 投标须知15投标须知前附表15投标须知17一、说明171.资金来源、适用范围及适用法规172.定义173.投标人资格要求174.联合体投标185.合格的货物和服务186.验收197.知识产权198.投标费用199.踏勘现场及答疑会19二、招标文件1910.招标文件
2、的组成1911.招标文件的澄清或修改20三、投标文件的编制2012.投标文件的语言及计量单位2013.投标文件的组成2114.投标文件的编制、数量和签署2115.投标报价要求2216.投标人资格证明文件2217.投标有效期2218.投标保证金22四、投标文件的提交2319.投标文件的密封、签署、盖章要求2320.投标样品（须提交样品时适用）2421.投标截止时间2422.投标文件的补充、修改或者撤回2423.投标无效情形25五、开标、评标25六、中标和合同2524.中标2525.中标通知书2526.履约保证金2627.合同2628.招标代理费用的收取标准和方式27七、询问、质疑、投诉2829.
3、询问2830.质疑2831.投诉29八、招标文件符号说明29第四部分 开标、评标3032.开标3033.评标委员会3034.评标注意事项3035.评标方法、步骤和标准3136.推荐中标候选人3437.发布中标结果34第五部分 拟签订的合同文本40第六部分 投标文件格式49价格文件格式50商务技术文件格式53唱标文件格式84第一部分 投标邀请书 广东卓越招标采购有限公司（以下简称“采购代理机构”）受华南协同创新研究院（以下简称“采购人”）的委托，现就有机光电功能材料创新中心设备采购项目进行公开招标采购，欢迎有实施能力和资质的国内投标人参与投标。一、 项目名称：有机光电功能材料创新中心设备采购项目
4、二、 项目编号：441900-201905-0099991-0002三、 采购预算：2,620,000.00元；其中A包1,220,000.00元，B包500,000.00元，C包900,000.00元。四、 采购内容包号设备名称数量A手套箱及真空蒸镀系统1套BIPCE测试系统1套C半导体参数测试仪1套注：具体采购需求内容详见本项目招标文件用户需求。五、 投标人资格要求（A、B和C包适用）1、 投标人须符合中华人民共和国政府采购法第二十二条规定（须提供书面资格申明,具体格式详见招标文件第六部分 投标文件格式）；2、 投标人的单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同投标人，不得参加同一
5、合同项下的政府采购活动；3、 投标人参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录（须提供书面声明,具体格式详见招标文件第六部分 投标文件格式）；4、 投标人未被列入“信用中国”网站()“记录失信被执行人或重大税收违法案件当事人名单或政府采购严重违法失信行为”记录名单；未处于中国政府采购网()“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间。（以采购代理机构投标截止日当天在“信用中国”网站（）及中国政府采购网()查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料），联合体成员存在不良信用记录的，视同联合体存在不良信用记录；5、 本项目不接受联合体投标。六、 招
6、标文件公示期本项目招标文件公示期为：2019年05月17日至2019年05月24日。七、 报名须知1、报名时间：符合资格的投标人应当在2019年05月17日至2019年05月24日期间（法定节假日除外）每日上午09:00时至12:00时；下午14:00时至17:00时至东莞市南城街道三元里社区三元里公寓2号楼（升友写字楼）A幢442室洽购招标文件。本招标文件每本售价150元，售后不退。2、报名须提交资料：符合资格的投标人在购买采购文件时须提供营业执照或事业单位法人证书复印件（加盖公章）。八、 投标须知1、拟参加本项目的投标人在开标前须通过东莞市政府采购网或东莞市公共资源交易网进行建档入库，已在
7、市公共资源交易中心入库（企业身份为“政府采购类”）的除外。（具体操作详见东莞市政府采购网关于做好政府采购供应商建档入库的通知）。2、拟参加本项目的投标人在开标前须通过广东省政府采购网进行登记注册（详见办事指南http:/ 投标文件递交时间及开标时间1、投标文件递交开始时间：2019年06月11日上午09时00分（北京时间）2、投标文件递交截止时间及开标时间：2019年06月11日上午09时30分（北京时间）十、 开标地址（投标文件递交地址）地址：东莞市南城区西平社区宏伟三路45号东莞市公共资源交易中心开标八室十一、 本项目公示媒体中国政府采购网()、广东省政府采购网(http:/ 联系事项1.
8、 采购人联系方式采购人：华南协同创新研究院联系人：王小姐电话：0769-38822181传真：0769-38822181地址：东莞市松山湖高新技术产业开发区新城路大学创新城A2栋2. 采购代理机构联系方式采购代理机构：广东卓越招标采购有限公司联系人：卓小姐电话：0769-28689902-8882传真：0769-28689912邮箱：地址：东莞市南城街道三元里社区三元里公寓2号楼（升友写字楼）A幢442室广东卓越招标采购有限公司二一九年五月第二部分 用户需求书 特别说明根据政府采购进口产品管理办法相关规定要求及采购人相关需求意见，经过组织专家论证，经行业主管部门、采购监督管理部门的批准，本项目
9、中IPCE测试系统接受进口产品参与投标（进口产品是指通过中国海关报关验放进入中国境内且产自关境外的产品）。在用户需求书中所提供的参考技术要求其目的仅仅是为了使投标人更加准确地了解招标技术要求，不构成对投标人所报品牌的任何约束。 A包适用一 设备清单序号设备名称数量交货期1手套箱及真空蒸镀系统1套合同签订后3个月内二 设备技术参数及配置要求技术参数要求：1. 可放置16个基片尺寸15mm15mm的样品盘，可真空状态下更换掩膜板，每个基片可以对应2个掩膜图案，也可在样品盘的下方，放置一个可拆卸的小基片盘，可放置32片15 mm15 mm基片。2. 基片盘可旋转，采用伺服电机驱动，旋转速度0-60转
10、/分可调。3. 样片与掩膜板的配合间隙小于0.3mm。4. 腔体由SUS304制作，其内部尺寸不小于350350530mm。5. 腔体内表面采用电解抛光处理，外表面采用拉丝或电解抛光，表面精糙度小于等于0.8。6. 腔体漏率优于510-10Pa m3/S，极限真空优于2.510-5Pa，从大气抽至5.010-4Pa,时间小于15分钟(腔内充氮气)。7. 采用全量程复合真空计，测量范围：大气-5.0E-9mbar。8. 采用石英晶振膜厚仪在线测量膜厚，可以实时测量蒸发的速度和厚度。9. 12组蒸发源，均为水冷，距基片大约35cm，可蒸镀常规有机和金属材料。10. 手套箱水氧 1ppm。11. P
11、LC程序操作具有互锁功能，防止误操作导致设备出现故障。配置要求1. 采用一体式机架，控制部分与真空室集成在一起，可整体移动，采用优质铝型材搭建。2. 机架底部安装支撑脚及脚轮，可随意推动；也可撑起地脚固定住设备。3. 相关盖板要求采用阳极氧化处理，防止表面氧化变色。4. 样片旋转要求采用磁流体密封，保证密封可靠性。5. 挡板采用磁流体密封，在基片旋转的任意角度均可挡住或打开，通过软件控制。6. 12组蒸发源可兼容蒸镀金属和有机材料；源与源之间配有防止交叉污染的防污板，源与源之间安装有热影响消除装置。7. 配2套蒸发电源，功率1.4KW以上。用于蒸发金属和有机，可切换到12组蒸发源中任意1组。蒸
12、发源电源具有恒流和恒压二种驱动驱动模式，二者可切换。蒸发电源可以通过软件控制，具体二段或以上升温过程控制，一段降温过程控制，也可以手动控制，此外，蒸发电源还可以通过膜厚仪PID（闭环控制），自动调节蒸发速率。8. 选用品牌膜厚仪，速率测量显示精度优于0.01A/S，厚度精度1A；频率分辨率0.012HZ，频率稳定性2ppm（0-50度)，测量周期0.1-1秒可调。带有WINDOWS操作软件，可以PC机上操作，带有PID环功能，可通过膜厚仪自动控制蒸镀速率。9. 石英晶振探头，2个水冷2个非水冷， 6MHZ，采用快速卡扣式结构更换晶振片，避免用螺纹压紧式结构损坏晶振片，采用UBQD密封结构。10
13、. 腔体有前后二个可完全打开的门，一个为滑动式开启，用于连接手套箱，一个为旋转开启或滑动式开启，用于维护清理。11. 主泵抽速不低于1500L/S，采用低温泵。12. 前级泵采用干泵，抽速不低于10立方米/小时。13. 气动高真空插板阀，通径大于等于150mm。14. 带有旁抽式结构，可不停主泵开启真空室。相关的阀门操作具体互锁保护功能，防止误操作。15. 采用PLC+PC机控制模式；（PC机显示器19201080内存4G或以上，系统类型32位，处理器I5或以上）。16. 真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭。17. 带有蒸发电源控制模块，通过软件完成蒸发电源的自动升温，降温。也可手动输入控制数据。18. 带有伺服控制模块，可完成旋转速度，旋转角度，定位角度的控制。可完成更换掩膜板的操作。19. 手套箱由3节1800mm箱体组成，其中2节直接连接，共用一套净化系统，并与镀膜机连接。与另外一节箱体用大、小T型舱过渡连接，此箱体一套循环净化系统，并在另一侧配备大小过渡仓。每个箱体均配备4
