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1、在洁净室内建造十分完善的系统，可以充分保证生产加工过程中的洁净度。任何设计标准的变化，必将对洁净室的质量产生特殊效果。以下这十五个因素将决定一个洁净室在施工方面的费用。这项花费可能在每平方英尺180美元到2,800美元之间（要看是不是包括工具以及装配和工艺设备的费用）。 爱斯基摩人能够用很多的词汇来描绘雪，而我们的工业对于洁净只有一个单词和明确的价格来说明它。我们常常发现，客户会支付很高的设计费用，为了一个超出其工艺要求的洁净室而支付无谓的费用。 洁净室的设计和施工通常是在非常紧张的时间限定下完成的，可供选择、改变、和其他可行性改进的机会很少。因此，鼓励使用“标准件复制”（cookie-cut
2、ter repeats）来避免新设计方法中的潜在风险。这些标准的洁净室设计方案可能会减轻设计者的任务，但不会改进项目的经济性或者降低施工成本。因为每个洁净室所要求的条件在一些细微的方面都是不同的，若不是所进行的设计/施工模型完全相同，那么采用标准的洁净室设计方案是无效的。 除非业主对于一个特殊的设计模型十分有信心，通常工程师都被要求设计一个比客户预期更加严格的洁净室，这样即使在某些方面出了差错，他们至少仍能够达到预期目的。过多的设计预算可能会浪费金钱，但是当实际需求的预算还没有评估出来之前，这样做是必须的。洁净室花费的增加与设计和施工专家、洁净室开发者和业主三者之间的相互信任成反比。Table
3、 1:Cleanroom HVAC requirements(Recommended to meet and exceed Federal Standard 209E,209Class 1VLF,and ISO 14644-1)ISO14644-1Per cubic meter209EIntern. (SI)209E English(USA)per cubic ft.Suggested minimum ceiling coverageSuggested filter typeSuggested minimum air velocity ceiling levelSuggested minimu
4、m cleanroom air changesClass3 Particle counts0.1m-1,0000.5m-35Class MClass1 Particle counts0.1m-350.5m-1100%ceining coverageULPA filters providing efficiency of 99.99995% at 0.12m 75 to 90 fpm (0.38to0.46m/sec)500 to 640 achClass M 1.5Class1 Particle counts0.1m-350.5m-1100%ceining coverageULPA filte
5、rs providing efficiency of 99.99995% at 0.12m75 to 90 fpm (0.38to0.46m/sec)450 to 640 achClass M 2Class 10 Particle counts0.1m-99.10.5m-2.83100%ceining coverageULPA filters providing efficiency of 99.99995% at 0.12m70 to 80 fpm (0.36to0.41m/sec)420 to 600 achClass4Particle counts0.1m-10,0000.5m-352C
6、lass M 2.5Class 10 Particle counts0.1m-3450.5m-10100%ceining coverageULPA filters providing efficiency of 99.99995% at 0.12m75 to 90 fpm (0.36to0.41m/sec)420 to 600 achClass M 3Class 100 Particle counts0.1m-9910.5m-28.380%ceining coverageHEPA filters providing efficiency of 99.99995% at 0.12m50 to 7
7、0 fpm (0.26to0.36m/sec)300 to 480 achClass5 Particle counts0.1m-100,0000.5m-3520Class M 3.5Class 100 Particle counts0.1m-3,4500.5m-10075%ceining coverageHEPA filters providing efficiency of 99.99995% at 0.12m50 to 70 fpm (0.26to0.36m/sec)300 to480 achClass6Particle counts0.1m-1,000,0000.5m-35200Clas
8、s M 4.5Class1000 Particle counts0.5m-1,00040%ceining coverage0.1m-34，500HEPA filters providing efficiency of 99.99995% 30 to 50 fpm (0.15to0.25m/sec)180 to 300 achClass7Particle counts0.1m-1,0000.5m-35Class M 5.5Class10,000Particle counts0.1m-345,0000.5m-10,00030%ceining coverageHEPA filters providi
9、ng efficiency of 99.99995% at 0.3to0.5m20 to 30 fpm (0.10to0.15m/sec)60 to 100 achClass8 Particle counts0.5m-3,520,000Class M 6.5Class100,000Particle counts0.1m-3,450,0000.5m-100,00015%ceining coverageHEPA filters providing efficiency of 99.99995% at 0.12m15 to 20 fpm (0.08to0.10m/sec)36 to 90 achNo
10、te:Air changes developed for cleanroom heights 9,to16,项目负责 工具动力供应与生产设备的有效连接；维修区域、管槽、走廊、暖通、动力专业设备间和动力站的位置等问题的合理安排，这些是洁净室设计经济性的主要方面。在项目刚刚开始时就应该考虑到这些因素，并通过由建筑师、工程师、承包商和业主组成的进行评估。这样才能确保所有参与者十分了解用户的生产目标和要求，这点是一个设计施工项目在经济性方面取得成功的关键。简单的说，业主对于所需洁净室的类型特征进行恰当的选择，会对最终的花费产生至关重要的影响。这没有“数字猜谜游戏”式的解决方案。业主、工程师、建筑师、承
11、包商都必须了解规范或ISO标准中那些不必要的变量/因素对于花费的影响，因此需要评估每一个生产细节和生产要求。在开始任何的设计之前，这个团队必须要一起工作以确定目标、需求和期望。个案研究为分析洁净室施工花费与十五个关键设计因素的关系，我们将美国二十个洁净室设施的数据编辑如下：在1983年至2003年间，建立的十个微电子生产工厂，洁净室的洁净度等级是ISO5级和ISO 6级在1983年至1996年间，建立的四个制药和生物制药工厂，洁净室的洁净度等级是ISO 5级和ISO 7级。在1994年至2003年间，建立瓣十个微电子生产工厂，洁净室的洁净度等级分别是ISO3级、ISO 5级、ISO7级和ISO
12、 8级。在1994至2004年前，建立的八个生物制药工厂，洁净室的洁净度等级分别是ISO4级、ISO5级、ISO7级和ISO8级。通过对暖通、动力专业（HVAC，工艺管道）工程费用数据的推断，综合考虑地点、劳务费用和通货膨胀等因素，进行调整，从而得到一个统一的关于洁净室暖通、动力专业工程费用分类的简单描述，该分类包括ISO3级、ISO5级、ISO7级和ISO8级每一类的洁净室。本次分析所选择的洁净室，设施面积相差不多，都在40,000到60，000平方英尺之间，并且都有30%到40%的生产窨被不同等级的洁净室、洁净室走廊和气闸占用。使用相同的方法计算暖通、动力专业设备的生产费用，从而得到花费的
13、详细统计如表2所示。这种方法统一了暖通、动力专业工程费用，而没有区分微电子洁净室、制药和生物制药洁净室（计算数据如表3、表4、表5、表6和表7所示）。基于以上这些表格，以ISO 5级洁净室暖、动力专业工程花费为基线绘制了“关键价值因素”图表（图1）；从而得到花费因素价值数据，如表8所示。这些经验变量可以用百分数的形式乘以每平方英尺的工程费用来计算不同类型洁净室的花费，也能在项目初期帮助进行工程费用评估。成功的十五个方法利用以下十五个成本因素变量，提供可供选择的设计方案动态数据库，对基本的洁净室设计和标准进行改进，尽量满足工厂的需求，通过这些方法我们应能够减少项目的工程费用。ATI的建筑师和工程
14、师（Danville,Calif.;www.A）应用这些方法成功地为生物制药学、微电子学和食品加工行业的洁净室进行设计，并实施了施工工程。Table2:Generic cleanroom class M3.5(ISO Class5)Mechanical equipment operating costs breakdownTypical(avr.12facilities,old) Altern.(avr.12facilities,new)System compinent%of total year$/sq.ft.year%of total$/sq.ft.yearMake-up AHUs112.86162.72Recirculating AHUs359.1Cooling:DX air-cooled units348.84Heating:Steam,zone reheat-electric92.34Humidification:Steam10.26Exhaust fans102.615.32.6Fan-filter units20.23.43Cooling:Chillers with cooling towers396.63Heating:Hot water zone reheat-hot water91.53Humidification:Adiabatic0.
