切片工艺[1].ppt

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1、工作原理:两根主辊带动均匀缠绕其上的钢丝作高速运动钢丝带动黏附的研磨砂对切割工件产生磨削作用以达到对硅锭进行片状切削的目的。,切片原理,砂浆,1.砂浆由悬浮液和研磨砂构成2.目前切片使用混合砂-新旧砂比例为6.5:3.53.研磨砂与悬浮液配置比例为1:1.1(重量比)4.配置完砂浆密度为1.621.64之间5.切片时砂浆流量控制在7085L/min,粘棒,1. 配胶(A胶水:B胶固化剂=1:1)迅速搅拌直到胶变成均匀紫红色2. 根据晶棒一端所标识的晶体编号区分晶棒头尾,要求粘棒时晶棒头对头粘接3.对接棒粘接方法: 1 对接中间空出5mm空隙;2 单根棒长度小于210mm4.检查晶棒是否粘歪,确

2、保晶棒与玻璃板边缘平行,玻璃与晶棒倒角边缘无胶残留,目前车间130钢线右侧张力设置23N左侧张力设置22N120钢线右侧张力设置22N左侧张力设置21N若张力不稳则会导致断线、产生厚薄片、TTV等不良情况张力的设定值只能由工艺人员更改,操作人员不得私自更改,张力对切片影响,粘度对切片影响,1.黏度范围在100210cps2.黏度过大导致砂浆抱团致使砂浆在线网上分布不均,黏度过低钢线带砂能力下降,切割能力变低产生线痕严重导致断线3.温度升高黏度降低,温度降低黏度变高;目前砂浆温度控制在23254.砂浆流量对黏度也会有影响,硅片厚度,1.砂子用的是盛达混合砂粒径范围917um2.线锯上装配导轮有3

3、50槽距360槽距3.钢线直径有120um;130um4.硅片厚度=槽距-线径-粒径25.理论片数= 晶棒长度导轮槽距,工艺模拟曲线,进刀位置,工作台速度,进刀位置,钢线速度,工艺参数分析,砂浆更换方案,切片注意事项,1.上棒设置零点时,棒沾到线网即可,不必把零点设置太深2.下棒时注意晶棒是否切透(注意线网是否切到玻璃倒角以上位置)3.由于目前现场钢线螺距不同,在换放线轮时;注意钢线螺距是否与机器上的螺 距一致4.热机后准备开机前,确保线网无跳线,导轮上没有碎硅碴。5.机器反切时,注意钢线张力更改,并检查收放线轮排线是否有问题6.断线时填写好事故报告7.机器如果有待情况,在交班时应向下个班交接清楚砂浆是否已经更换,断线分析,

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