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1、显影/蚀刻 - 培 训 资 料 讲师：贺益发,2018/9/26,2,一、操作规范：,1、工作前清理光台,并保持光台清洁； 2、工作时戴好手套或指套，双手对角拿板； 3、坐姿端正，身体与光台隔一个拳头距离； 4、检板时，板与板、板与光台不能磨擦，工作区域物品按标识摆放整齐； 5、首板检查核对MI及取流程卡确认前工序已检查； 6、发现重大品质异常即时通知领班或主管； 7、准时、规范填写工作记录及做好交接班记录； 8、清洁光台,戴好手套或指套. 9、将抽样板放在光台上以目视或放大镜进行确认.,2018/9/26,3,10、发现不合格品用黑油性笔在板的无效区相应部位划箭头作上标识. 11、对于超出允
2、收水准的须将整卡板退于工序返检返修或返工处理. 12、对于抽检时发现的定位性功能性不良(如开短路),即使抽到1PCS也要返退工序进行相应处理. 13、对于返退后无法返修的NG板,生产部相应负责人需及时到MRB申请报废. 14、返退板板在经生产部进行了相应返修后须再经IPQC抽检,确认OK且工序已将不合格品申请报废后方可出板.,2018/9/26,4,15、当出现品质异常时,生产部或工艺部必须给品质部回复一个明确的问题板处理时间,对于未在规定时间内对问题板进行相应处理的IPQC有权对相应生产线作暂停生产决定,待问题板进行相应处理后可予以恢复生产. 16、对于抽检时发现了批量性不良（不良率15%时
3、，IPQC必须至少对当前问题提前3卡进行追溯及后3卡进行重点跟进（按正常比例抽检），验证品质正常后可正常出板，否则必须经过全数检测、验证后做适当处理。,2018/9/26,5,二、控制项目：,2018/9/26,6,三、控制标准：,1.开路:不接受. 2.短路:不接受. 3.线粗、线幼：按MI要求，否则不接受.三层板以上线幼可用最 小线宽减去原线宽的10%. 4.线路变形:不接受. 5.线路缺口/针孔: a+a11/3W，A1/3W B2mm； 2. L2mm时，a+a11/3W、B2mm （包括IC部、端子部） 6.干膜遮孔/破孔:不接受.,2018/9/26,7,7.对偏/钻偏：导致断颈、
4、破环不接受. 8.曝光不良:不接受. 9.显影不净:在单元图形内不接受. 10.干膜碎:在单元图形的非图电区和非蚀刻区可接受. 11.标识不清:核对MI,不能辨识不接受. 12.线路对反/用错菲林:不接受. 13.干膜贴压不实:不接受. 14.残铜:A.一般情况的铜残判定标准a+a11/3W，A1/3W，B2mmC0.2mm，B2mm；.L2mm时，（a+a11/3W）,B2mm,2018/9/26,8,B.对外形及较大线间距之间的残铜 外形和(最外面的)线路不可连接可接受。 两条线路之间的残铜必须分别离其两侧线路的间距0.2mm以上可以接受。,2018/9/26,9,四、不良图示：,显影开路,干膜碎,开路,OK,2018/9/26,10,OK,短路,OK,残铜NG,2018/9/26,11,线路缺口，小于线宽的1/3OK,线缺口NG,针孔OK,针孔NG,2018/9/26,12,OK,蚀刻不净,线路过蚀,2018/9/26,13,OK,锯齿NG,OK,OK,残铜NG,2018/9/26,14,OK,破孔NG,OK,字符被蚀刻掉了NG,2018/9/26,15,谢谢大家！,培训结束!,
