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1、,半导体生产设备处年度工作总结及 2012年工作举措,年度总结目录,设备主要概况,设备节能改造,2012年改进措施,设备运行保障及改善,设备故障分析,1、半导体公司拥有各类生产设备45套(不含质检设备);2、2011年 1-11 月份共完成各类检修638次,年度停产检修2次(5月、10月 各一次);3、设备运转率95%,设备完好率 100% ;4、 消耗备件耗材1221758.46元,同比去年下降41.02%,年平均消耗12.72元/kg;(相比2010年,备件消耗降低了约85万元)5、全年无重特大设备事故的发生;6、特种设备(氩气罐)年审率达到100%;7、高、低压电房设备绝缘电阻4欧姆;8
2、、防雷接地测试合格率达到100。,设备主要概况,设备主要概况,设备处KPI,一、班组管理 1 、安全重于泰山,时刻牢记“防患于未然” 通过每周班组长会议宣传强调安全作业:高空作业必须有监护人;必须配带安全防护用品;对高空作业配置的车辆进行定期检查保养;特种设备(液压升降机)做到了定期检验。通过大家的努力,2011年生产设备处未发生一起重大安全事故。,设备运行保障,设备管理业绩,2 、5S管理 通过制定规章制度和员工的考核制度,规范了员工行为。在日常工作中,组织班组成员学习5S管理,强调班组清洁卫生管理,并制定了每天清洁值班人员安排表,落实责任人,做到事事有人管,人人有事做,充分调动起每一位员工
3、的积极主动性和责任心。,设备运行保障,二、设备管理 1、每天对车间设备进行日常保养检查。安排单晶炉操作工做好设备一级保养、检查工作,随时监督员工严格按照操作规程进行设备操作,杜绝违章操作,发现隐患要求现场整改; 并要求车间做好设备日常保养记录。通过现阶段的管理,并成功避免了3起重大事故的发生(及时更换1#、12#、15#老化钢丝绳,将潜在问题逐一消除),大幅度降低了诸如之前经常出现的热偶、硅管放大器、欧陆故障,同时,由于单晶炉配件价格昂贵,因此,也大大降低了设备维护成本。2、 设备的保养、维修工作 1)、重视保养,减少维修 按照制定的年度设备维护保养计划对公司单晶炉、纯水机组等设备全面进行二级
4、维护保养,做到了及时发现并彻底排除故障隐患,二保完成率达100%。 2)、 对重点设备维修做到抢修及时 安排维修人员以单晶车间为工作中心,要求对炉台每小时巡视一次,每次不得少于20分钟,并协调车间安排操作工配合维修人员在最短的时间内抢修好设备,同时,对现场进行监督,确保维修质量,顺利完成了各项抢修、维修工作 。,设备运行保障,3、设备改造 1)、针对单晶车间高纯管理需要,将车间与维修共同使用的真空扫除管道进行改造,各自分开使用,避免了料的粘污 ;同时,利用真空扫除设备的强大吸力,将管道引入打磨间供吸尘使用;又将原有备用泵成功修复,现在,机组做到一用一备,避免设备重复投资,节省了设备费用。2)、
5、车间ZH-70泵全面更换成120型大泵,抽气速率明显上升,以前老泵经常出现的真空度下降问题大幅降低,较好地保证生产需要。,设备管理改善,4、备品配件管理 对维修的设备配件进行清理和统计,制定了设备配件最低库存量,并与采购处沟通协调,随时保证配件的库存,保证了今年生产维修的及时性。,设备管理改善,5、设备外协维修1)、夏季高温来临之前,对冷冻机组安排维护保养,有效控制炉子进水水温33,有利于炉子循环使用,降低设备故障;2)、定期对水泵机组维护,更换电机轴承,有效避免电机烧坏,节约维护成本;3)、对纯水机组、超声波设备全面维护,日处理能力5吨,满足现阶段设备需求。,设备管理改善,设备节能改造,半导
6、体用电结构分析(1-11月),说明:公司用电占第一位的是单晶炉,泵站机组占第二,排名第三的是照明、空调设备;清洗,废水、废气设备较次之。,半导体,1、开炉1602炉,生产96031.10公斤,较去年下降15.71%,消耗电能9260279Kwh,较去年同期降低16.7%;,2、总电费6620897.87元,较去年减少1143934.44元,降幅14.7%。,3、单位年平均消耗分别为68.95元/kg ,96.43Kwh/kg 。,1、开炉2107炉,生产113924.35公斤,消耗电量11104638Kwh,2、产生电费7764832.31元,3、单位平均消耗分别为68.16元/kg 97.4
7、7Kwh/kg,原因:2011年1月份由于受到限电影响和春节放假因素;5月下旬、10月份以来,主要受国际光伏市场影响,开炉严重不足,全年较去年同期下降23.97%,所以产量下降的同时用电也就大幅降低。建议:只有通过增加开炉次数,合理调配炉台运行时段(可将化料时段尽量安排在深夜谷电时段进行),可使单位消耗明显下降。,2010年1-11月,2011年1-11月,设备节能改造,2010-2011年用电对比,用电分析,Description of the contents,现状,改进目标,单晶车间,照明控制,1. 建议化料多安排在深夜谷值区间进行(电价只有0.312元/度); 2.设备维护人员增加到现
8、场检查次数,加强设备维护,降低故障,保障正常开机。,1.不断向员工宣讲科学合理节约用电理念; 2.定期检查通报,力争通过安装节能型日光灯办法至同期耗能下降5%; 3、对部分用电器安装时间控制器来实现自动断电。,设备节能改造,用电成本改善措施,2010年,2011年,全年更换各类耗材合计费用 2071589.81 元,年平均消耗16.21元/kg;,1-11月份,合计更换耗材费用 1221758.46元,较去年下降41.02%,年平均消耗12.72元/kg(比去年降低约85万元)。,说明:2011年公司继续推行精细化管理,实现降耗增效目标。生产设备处严格按照公司方针目标积极完成设备的各项维修和相
9、关的改造任务。为降低维护成本,在维修工作中,想方设法地尽量把换配件转变为维修配件 ;车间一台变频器出故障,厂家要求更换,后经电力电子共同参与维修,排除故障,节约费用3.5万元。,统一思想,端正态度,进一步增强责任心,不断向维修宣贯公司利益高于一切的指导思想,增强成本意识; 加强专有知识培训,不断提高业务素质,增强故障判断和解决问题能力; 拟在部门增加相关技术人员,如冷冻机、纯水设备维护,可避免上述高额外协维修费用。,下一步措施,状况,设备节能改造,设备维护成本分析,改进措施,维护费用对比,从右图可以看出,2011年4月份以来,设备故障大幅减少,主要原因有:1、设备维护管理意识、责任心明显提高;
10、2、经过3年多的自主学习,设备维护技能进一步增强;3、注重加强平时对设备维护保养,根据各炉台状况,尽量缩短保养间隔时间,以增加保养次数来逐步取消大修项目,避免问题加剧扩大;4、制定设备一级保养检查表,并督促班组执行;5、安排设备维护人员以车间为中心,经常指导车间操作工的设备巡检工作。,设备故障分析,设备故障对比分析,说明:2008年,新设备刚刚投入运行,故障较少; 2009年,随着产量的增加,由于维修人员配置不全,未能全面参与技术培训,专业维修力量严重缺乏,故障开始逐步上升; 2010年,由于设备连续使用3年多,整机性能开始有所下降,另外,设备维护人员的维护保养观念也过于保守、陈旧,也是单晶炉
11、故障急剧攀升的重要原因; 今年以来,通过主抓设备维护保养,缩短保养间隔时间、制定车间班组设备一级保养检查表等措施来有效压降各类故障,故障较2010年同期下降了44.62%,想方设法来保证炉子正常开机,为生产保驾护航。,设备故障分析,2008-2011年故障分析,常见状况,改进措施,单晶炉,1、等径易失控;2、埚升不升,卡滞;3、硅管、热偶等常用配件损坏较为频繁,维护成本偏高;4、电脑易死机、计长显示不准。,1、CCD摄像头前加装垫圈,增加焦距,有效提高清晰度,保持系统稳定;,2、排查设备,并适当加注润滑油措施,解决了因10月份没有开炉生产造成的炉台润滑不良出现的卡滞现象;,3、事实证明,在车间
12、制定设备保养一级检查表之后,大幅度降低了诸如之前经常出现的热偶、硅管放大器、欧陆等故障,维护成本急剧下降;,4、采取不定期检查散热风扇、清灰、清洗,重启方式,故障明显减少。,设备故障分析,单晶炉常见问题处理,说明:改进措施通过在11月份的验证,故障较9月份下降61.76%,下阶段,将继续推行。,单晶炉,设备暂未解决问题,下阶段改进措施,1、4#、13#炉,工控机软件故障,长期处于煅烧状态,无法拉制单晶;2、12#、7#炉埚升随动比异常。,1、与采购沟通,要求将返厂维修的2台工控机尽快到库; 2、目前,通过厂家技术人员过来指导,检修工控机,已恢复炉台正常运行。同时申请采购1台新工控机作为备用,以
13、保证本月生产任务顺利完成; 3、定期更换、修理、润滑、清扫、点检、精度测定; 4、定期对设备进行分解、零件点检、零件更换、重新安装、调试; 5、对反映设备工作状态的参数进行监控,达到规定的劣化值时开展保全活动。,设备故障分析,重点炉台分析,下阶段,设备维修指导思想作如下改进,设备维修改进,说明:根据实际维修情况来看,70%的故障是简单故障,30%是需要专业知识才能解决的故障。减少70%的简单故障,设备管理部门才有充分的时间去做一些再发防止,然后进行改良保全活动。,2012年改进措施,2012年 设备管理,1、重视标准,规范作业,2、操作工、维修全员维护保养,3、大胆技术创新,不断持续改善,4、
14、提高服务水平,降低设备故障,1、继续做好设备日常检查监督工作; 2、严格按照作业要求,重视制定并持续改进岗位作业标准和设备TPM管理 技术标准(点检、润滑、检修等),规范管理、点检、维修岗位人员作业 行为,明确各自职责权限;持续、有效推进“用修合一”的设备现场管理模式。,1、操作工负责日常保养,可以提高员工对设备的关注度和熟悉度, 减少人为故障的发生; 2、可以在向设备部门学习日常保全技能的过程中加强彼此的交流, 提升员工的技能和满足感。,1、根据设备的运行和改造情况,定期召开设备例会,组织协调备件的管理; 2、针对节电管理,将从单晶炉合理使用、泵站及冷冻机设备用电、照明 设施三方面入手,力争
15、通过科学的用电管理制度使得用电量同比下降10%, 努力降低用电成本。,1、积极开展全员性合理化建议活动,谋求技术革新,根除设备缺陷, 改善设备技术和使用性能;达到降低设备故障,减少影响生产作业时间, 同时,降低设备运行费用,提高设备综合效能。,总原则:第一步,将设备的不良状态恢复为正常状态;第二步,保持设备现有性能;第三步,改变设备现有状况,持续改善。,管理方针,保障措施,接上页,2012年改进措施,2012年设备管理主要指标 设备开机率95% 设备完好率100% 全年无安全事故,为生产一线服务, 保证生产的正常运行。,设备管理是是一个长期管理的过程,在过程中需要不断学习设备管理创新的思路。现阶段,通过自己的不断摸索,很清晰地意识到公司设备现状迫切需要积极推行设备TPM点检管理模式。依据此目标,在2012年的工作中,将不断提高自己业务水平,提高我处的管理能力、应变能力、创新能力和成本意识。,管理能力提升,应变能力提升,创新能力提升,成本意识增强,Thanks!,半导体生产设备处2011年12月15日,