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1、太阳能硅片切割技术的几要素 太阳能硅片的线切割机理就是机器导轮在高速运 转中带动钢线，从而由钢线将聚乙二醇和碳化硅 微粉混合的砂浆送到切割区，在钢线的高速运转 中与压在线网上的工件连续发生摩擦完成切割的 过程。 在整个切割过程中，对硅片的质量以及成品率 起主要作用的是切割液的粘度、碳化硅微粉的粒 型及粒度、砂浆的粘度、砂浆的流量、钢线的速 度、钢线的张力以及工件的进给速度等。一、切割液（PEG）的粘度 由于在整个切割过程中，碳化硅微粉是悬浮在切割液上 而通过钢线进行切割的，所以切割液主要起悬浮和冷却的 作用。 1、切割液的粘度是碳化硅微粉悬浮的重要保证。由于 不同的机器开发设计的系统思维不同，
2、因而对砂浆的粘度 也不同，即要求切割液的粘度也有不同。例如瑞士线切割 机要求切割液的粘度不低于55，只有符合机器要求的切割 标准的粘度，才能在切割的过程中保证碳化硅微粉的均匀 悬浮分布以及砂浆稳定地通过砂浆管道随钢线进入切割区 。 2、由于带着砂浆的钢线在切割硅料的过程中，会因为 摩擦发生高温，所以切割液的粘度又对冷却起着重要作用 。如果粘度不达标，就会导致液的流动性差，不能将温度 降下来而造成灼伤片或者出现断线，因此切割液的粘度又 确保了整个过程的温度控制。二、碳化硅微粉的粒型及粒度 太阳能硅片的切割其实是钢线带着碳化硅微粉在 切，所以微粉的粒型及粒度是硅片表片的光洁程 度和切割能力的关键。
3、粒型规则，切出来的硅片 表明就会光洁度很好；粒度分布均匀，就会提高 硅片的切割能力。 线切割机对硅片切割能力的强弱，与砂浆的粘 度有着不可分割的关系。而砂浆的粘度又取决于 硅片切割液的粘度、硅片切割液与碳化硅微粉的 适配性、硅片切割液与碳化硅微粉的配比比例、 砂浆密度等。三、砂浆的流量 钢线在高速运动中，要完成对硅料的切割 ，必须由砂浆泵将砂浆从储料箱中打到喷 砂咀，再由喷砂咀喷到钢线上。砂浆的流 量是否均匀、流量能否达到切割的要求， 都对切割能力和切割效率起着很关键的作 用。如果流量跟不上，就会出现切割能力 严重下降，导致线痕片、断线、甚至是机 器报警。四、钢线的速度 由于线切割机可以根据用
4、户的要求进行单 向走线和双向走线，因而两种情况下对线 速的要求也不同。单向走线时，钢线始终 保持一个速度运行（MB和HCT可以根据切 割情况在不同时间作出手动调整），这样 相对来说比较容易控制。目前单向走线的 操作越来越少，仅限于MB和HCT机器。 五 、钢线的张力 钢线的张力是硅片切割工艺中相当核心的要素之 一。张力控制不好是产生线痕片、崩边、甚至短 线的重要原因。 1、钢线的张力过小，将会导致钢线弯曲度增 大，带砂能力下降，切割能力降低。从而出现线 痕片等。 2、钢线张力过大，悬浮在钢线上的碳化硅微 粉就会难以进入锯缝，切割效率降低，出现线痕 片等，并且断线的几率很大。 3、如果当切到胶条的时候，有时候会因为张 力使用时间过长引起偏离零点的变化，出现崩边 等情况。六、工件的进给速度 工件的进给速度与钢线速度、砂浆的切割 能力以及工件形状在进给的不同位置等有 关。工件进给速度在整个切割过程中，是 由以上的相关因素决定的，也是最没有定 量的一个要素。但控制不好，也可能会出 现线痕片等不良效果，影响切割质量和成 品率。 结语 总之，太阳能硅片线切割机的操作，是一 个经验大于技术流程与标准的精细活。只 有在实际操作中，不断总结与探讨，才能 对机器的驾驭游刃有余。
