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1、三、检漏方法和工具1、真空度为何会变差？三大因素： 一是旋片泵或分子泵故障，抽真空速率下降； 二是检测传感器或真空仪信号故障；三是真空系统泄漏量变大。如何快速、准确找到原因 ？2、检漏工具常规工具： 乙醚和针筒 专业工具：3、检漏方法： （1）查看分子泵是否跳停 （2）查看1号通道真空值 （3）关闭K-100阀的作用：a、可以查看真空度是否有变化b、可将漏点检查范围缩小一半c、可最大限度，减小真空被破坏的范围 （4）采用就地检测的方式，即利用备用真空 仪和规管，将检测的值与控制室真空仪的值 进行对比，若相近，则可排除检测或线路故 障的可能。（5）当在加速厅或辐照厅内检漏时，为了能及时 看到真空
2、度的变化达到更准确判断漏点的目的， 也可采用就地检测的办法。 （6）当没有备用真空仪时，也可采用摄像机监控 控制室的真空值的方式达到就地查看真空度的目 的。 （7）对漏点的确认：采用乙醚和吹风机相结合的 方式，反复的进行检漏吹干，观察真空度的变化 进行确认。（若检测范围小可用吹风机，如范围 大可用气泵吹风的方式） 4、对漏点的处理方法: 一是暂时性处理，用真空脂堵漏； 二是彻底性处理，直接更换。四、真空常见故障和维修（一）、常见故障 1、分子泵电源跳停? 2、分子泵电源电源指示灯不亮，不能启动分 子泵？ 3、分子泵有电但不能启动？ 4、1号通道真空极差？ 5、真空仪不能自动启动电离规管？ 6、
3、真空度突然变差，跳高压？（二）、真空维修1、更换K-100阀以下部分密封圈或更换钛箔的 操作流程和注意事项？ 关掉K-100阀，停分子泵，关闭上端K-25阀向K-100阀下端真空部分，打开K-100阀下端的 放气阀缓慢充入高纯氮气，当关闭充气瓶，缓冲 袋内氮气不再变少，表示已充满氮气，此时可取 下缓冲袋，关闭放气阀。此时，可以对需更换部位，进行拆卸更换。更换好后，缓慢打开下端K-25阀门，用机械泵 抽K-100阀以下真空部分。当阀门全部打开，抽到5Pa以下时，可以缓 慢开启上端K-25阀，当1号通道真空度在次抽 到5Pa以下时，方可打开K-100阀，然后关闭 下端K-25阀。最后，启动分子泵，
4、抽整个真空系统，达到 高真空度。注意事项：1）若空气湿度大，真空系统破坏时间长，可反复 采用“抽空充氮”的方式，最大限度的除去真空系统 中的水分。2）若真空系统进入过大气，为防止电离规管检测 失真，在进入高真空度后可手动开启电离规管的 除气功能，除去规管内的水蒸汽。3）机械泵内的真空油若含有大量水蒸气会严重 影响它的抽真空能力，因此，在每次恢复真空系 统后，在机械泵处于热机时，可开启机械泵的镇 气阀数小时，除去真空油中的水分。 4）开启K-25阀门，时需缓慢打开，以机械泵的 声音大小和抽气量多少为准，逐渐打开到最大， 时间大概需要510分钟。 5）在整个操作过程中，都要将每个操作步骤和 真空度
5、记录下来。2、更换2号通道的热偶规管或电离规管的操作 流程？首先应当确认所更换的新规管是好的规管关闭K-100阀，停分子泵，关闭上端K-25 阀，使K-100阀以上加速管真空为一密闭 空间。准备好高纯氮气瓶和减压阀以及缓冲袋，打 开K-100阀上端的放气阀缓慢充入高纯氮气， 当关闭充气瓶，缓冲袋内氮气不再变少，表 示已充满氮气，此时可取下缓冲袋，关闭放 气阀。此时，可以更换规管 。更换好后，缓慢打开上端K-25阀门，用机械泵 抽K-100阀以上真空部分。当阀门全部打开，抽到5Pa以下时，可以缓慢开 启下端K-25阀，当1号通道真空度再次抽到5Pa 以下时，方可打开K-100阀，然后关闭下端K-25 阀。最后，启动分子泵，抽整个真空系统，达到高 真空度。
