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1、测试计量技术及仪器专业毕业论文测试计量技术及仪器专业毕业论文 精品论文精品论文 基于基于 MEMSMEMS 热电堆热电堆的表面高温测试技术研究的表面高温测试技术研究关键词：关键词：MEMSMEMS 热电堆热电堆 表面高温测试表面高温测试 传感器传感器 红外辐射红外辐射摘要：瞬态温度由于其温度过高或作用时间很短，难以用传统的热电偶来进行 测量。基于微电子技术和半导体技术的的 MEMS 热电堆传感器，以红外辐射为机 理，作为一种非接触式测温器件，不需与被测物体接触，能够有效地消除接触 式传感器因安装使温度场产生畸变而出现的测温误差，可以实现非接触式测温； 同时由于物体微小的温度波动会产生较大的辐射
2、能量的变化，故传感器的灵敏 度很高。因此，可利用 MEMS 热电堆传感器进行瞬态表面高温测试研究。本文以 红外辐射测温为背景，围绕 MEMS 热电堆传感器表面高温测试系统展开论述，论 文主要从理论设计、重点部分性能分析两方面进行了探索。 论文首先分析了 瞬态温度测试的研究现状，并介绍了热电堆传感器的结构、发展现状及应用。 其次，针对测温现状，提出一种用 MEMS 热电堆传感器来实现高温测量的新方法， 设计了基于 MEMS 热电堆的瞬态(ms 量级)表面高温(1500-3000)测试系统， 对系统各部分的功能及材料的选择进行了深入的探讨；同时提出了系统的静动 态标定方法，为进一步的研制提供了理论
3、依据。 再次，对系统的关键元件陶 瓷材料衰减片的红外吸收系数进行研究，分析了黄型的傅里叶变换红外光谱仪 测量法，并结合系统的特点，提出了一种新的测量方法-MEMS 热电堆测量法。 两种方法互为验证，试验结果表明 MEMS 热电堆测量法具有计算更加简单、准确 的优点，为系统的实现提供了良好依据。 最后，采用先成型后烧结法研制了 4.5mm、5.5mm 氧化锆陶瓷薄片，并对其吸收系数进行实验，实验结果表明性能 良好，可用于 MEMS 热电堆表面高温测试系统中，为系统的进一步完善打下基础。正文内容正文内容瞬态温度由于其温度过高或作用时间很短，难以用传统的热电偶来进行测 量。基于微电子技术和半导体技术
4、的的 MEMS 热电堆传感器，以红外辐射为机理， 作为一种非接触式测温器件，不需与被测物体接触，能够有效地消除接触式传 感器因安装使温度场产生畸变而出现的测温误差，可以实现非接触式测温；同 时由于物体微小的温度波动会产生较大的辐射能量的变化，故传感器的灵敏度 很高。因此，可利用 MEMS 热电堆传感器进行瞬态表面高温测试研究。本文以红 外辐射测温为背景，围绕 MEMS 热电堆传感器表面高温测试系统展开论述，论文 主要从理论设计、重点部分性能分析两方面进行了探索。 论文首先分析了瞬 态温度测试的研究现状，并介绍了热电堆传感器的结构、发展现状及应用。 其次，针对测温现状，提出一种用 MEMS 热电
5、堆传感器来实现高温测量的新方法， 设计了基于 MEMS 热电堆的瞬态(ms 量级)表面高温(1500-3000)测试系统， 对系统各部分的功能及材料的选择进行了深入的探讨；同时提出了系统的静动 态标定方法，为进一步的研制提供了理论依据。 再次，对系统的关键元件陶 瓷材料衰减片的红外吸收系数进行研究，分析了黄型的傅里叶变换红外光谱仪 测量法，并结合系统的特点，提出了一种新的测量方法-MEMS 热电堆测量法。 两种方法互为验证，试验结果表明 MEMS 热电堆测量法具有计算更加简单、准确 的优点，为系统的实现提供了良好依据。 最后，采用先成型后烧结法研制了 4.5mm、5.5mm 氧化锆陶瓷薄片，并
6、对其吸收系数进行实验，实验结果表明性能 良好，可用于 MEMS 热电堆表面高温测试系统中，为系统的进一步完善打下基础。瞬态温度由于其温度过高或作用时间很短，难以用传统的热电偶来进行测量。 基于微电子技术和半导体技术的的 MEMS 热电堆传感器，以红外辐射为机理，作 为一种非接触式测温器件，不需与被测物体接触，能够有效地消除接触式传感 器因安装使温度场产生畸变而出现的测温误差，可以实现非接触式测温；同时 由于物体微小的温度波动会产生较大的辐射能量的变化，故传感器的灵敏度很 高。因此，可利用 MEMS 热电堆传感器进行瞬态表面高温测试研究。本文以红外 辐射测温为背景，围绕 MEMS 热电堆传感器表
7、面高温测试系统展开论述，论文主 要从理论设计、重点部分性能分析两方面进行了探索。 论文首先分析了瞬态 温度测试的研究现状，并介绍了热电堆传感器的结构、发展现状及应用。 其 次，针对测温现状，提出一种用 MEMS 热电堆传感器来实现高温测量的新方法， 设计了基于 MEMS 热电堆的瞬态(ms 量级)表面高温(1500-3000)测试系统， 对系统各部分的功能及材料的选择进行了深入的探讨；同时提出了系统的静动 态标定方法，为进一步的研制提供了理论依据。 再次，对系统的关键元件陶 瓷材料衰减片的红外吸收系数进行研究，分析了黄型的傅里叶变换红外光谱仪 测量法，并结合系统的特点，提出了一种新的测量方法-
8、MEMS 热电堆测量法。 两种方法互为验证，试验结果表明 MEMS 热电堆测量法具有计算更加简单、准确 的优点，为系统的实现提供了良好依据。 最后，采用先成型后烧结法研制了 4.5mm、5.5mm 氧化锆陶瓷薄片，并对其吸收系数进行实验，实验结果表明性能 良好，可用于 MEMS 热电堆表面高温测试系统中，为系统的进一步完善打下基础。瞬态温度由于其温度过高或作用时间很短，难以用传统的热电偶来进行测量。 基于微电子技术和半导体技术的的 MEMS 热电堆传感器，以红外辐射为机理，作为一种非接触式测温器件，不需与被测物体接触，能够有效地消除接触式传感 器因安装使温度场产生畸变而出现的测温误差，可以实现
9、非接触式测温；同时 由于物体微小的温度波动会产生较大的辐射能量的变化，故传感器的灵敏度很 高。因此，可利用 MEMS 热电堆传感器进行瞬态表面高温测试研究。本文以红外 辐射测温为背景，围绕 MEMS 热电堆传感器表面高温测试系统展开论述，论文主 要从理论设计、重点部分性能分析两方面进行了探索。 论文首先分析了瞬态 温度测试的研究现状，并介绍了热电堆传感器的结构、发展现状及应用。 其 次，针对测温现状，提出一种用 MEMS 热电堆传感器来实现高温测量的新方法， 设计了基于 MEMS 热电堆的瞬态(ms 量级)表面高温(1500-3000)测试系统， 对系统各部分的功能及材料的选择进行了深入的探讨
10、；同时提出了系统的静动 态标定方法，为进一步的研制提供了理论依据。 再次，对系统的关键元件陶 瓷材料衰减片的红外吸收系数进行研究，分析了黄型的傅里叶变换红外光谱仪 测量法，并结合系统的特点，提出了一种新的测量方法-MEMS 热电堆测量法。 两种方法互为验证，试验结果表明 MEMS 热电堆测量法具有计算更加简单、准确 的优点，为系统的实现提供了良好依据。 最后，采用先成型后烧结法研制了 4.5mm、5.5mm 氧化锆陶瓷薄片，并对其吸收系数进行实验，实验结果表明性能 良好，可用于 MEMS 热电堆表面高温测试系统中，为系统的进一步完善打下基础。瞬态温度由于其温度过高或作用时间很短，难以用传统的热
11、电偶来进行测量。 基于微电子技术和半导体技术的的 MEMS 热电堆传感器，以红外辐射为机理，作 为一种非接触式测温器件，不需与被测物体接触，能够有效地消除接触式传感 器因安装使温度场产生畸变而出现的测温误差，可以实现非接触式测温；同时 由于物体微小的温度波动会产生较大的辐射能量的变化，故传感器的灵敏度很 高。因此，可利用 MEMS 热电堆传感器进行瞬态表面高温测试研究。本文以红外 辐射测温为背景，围绕 MEMS 热电堆传感器表面高温测试系统展开论述，论文主 要从理论设计、重点部分性能分析两方面进行了探索。 论文首先分析了瞬态 温度测试的研究现状，并介绍了热电堆传感器的结构、发展现状及应用。 其
12、 次，针对测温现状，提出一种用 MEMS 热电堆传感器来实现高温测量的新方法， 设计了基于 MEMS 热电堆的瞬态(ms 量级)表面高温(1500-3000)测试系统， 对系统各部分的功能及材料的选择进行了深入的探讨；同时提出了系统的静动 态标定方法，为进一步的研制提供了理论依据。 再次，对系统的关键元件陶 瓷材料衰减片的红外吸收系数进行研究，分析了黄型的傅里叶变换红外光谱仪 测量法，并结合系统的特点，提出了一种新的测量方法-MEMS 热电堆测量法。 两种方法互为验证，试验结果表明 MEMS 热电堆测量法具有计算更加简单、准确 的优点，为系统的实现提供了良好依据。 最后，采用先成型后烧结法研制
13、了 4.5mm、5.5mm 氧化锆陶瓷薄片，并对其吸收系数进行实验，实验结果表明性能 良好，可用于 MEMS 热电堆表面高温测试系统中，为系统的进一步完善打下基础。瞬态温度由于其温度过高或作用时间很短，难以用传统的热电偶来进行测量。 基于微电子技术和半导体技术的的 MEMS 热电堆传感器，以红外辐射为机理，作 为一种非接触式测温器件，不需与被测物体接触，能够有效地消除接触式传感 器因安装使温度场产生畸变而出现的测温误差，可以实现非接触式测温；同时 由于物体微小的温度波动会产生较大的辐射能量的变化，故传感器的灵敏度很 高。因此，可利用 MEMS 热电堆传感器进行瞬态表面高温测试研究。本文以红外辐
14、射测温为背景，围绕 MEMS 热电堆传感器表面高温测试系统展开论述，论文主 要从理论设计、重点部分性能分析两方面进行了探索。 论文首先分析了瞬态 温度测试的研究现状，并介绍了热电堆传感器的结构、发展现状及应用。 其 次，针对测温现状，提出一种用 MEMS 热电堆传感器来实现高温测量的新方法， 设计了基于 MEMS 热电堆的瞬态(ms 量级)表面高温(1500-3000)测试系统， 对系统各部分的功能及材料的选择进行了深入的探讨；同时提出了系统的静动 态标定方法，为进一步的研制提供了理论依据。 再次，对系统的关键元件陶 瓷材料衰减片的红外吸收系数进行研究，分析了黄型的傅里叶变换红外光谱仪 测量法
15、，并结合系统的特点，提出了一种新的测量方法-MEMS 热电堆测量法。 两种方法互为验证，试验结果表明 MEMS 热电堆测量法具有计算更加简单、准确 的优点，为系统的实现提供了良好依据。 最后，采用先成型后烧结法研制了 4.5mm、5.5mm 氧化锆陶瓷薄片，并对其吸收系数进行实验，实验结果表明性能 良好，可用于 MEMS 热电堆表面高温测试系统中，为系统的进一步完善打下基础。瞬态温度由于其温度过高或作用时间很短，难以用传统的热电偶来进行测量。 基于微电子技术和半导体技术的的 MEMS 热电堆传感器，以红外辐射为机理，作 为一种非接触式测温器件，不需与被测物体接触，能够有效地消除接触式传感 器因
16、安装使温度场产生畸变而出现的测温误差，可以实现非接触式测温；同时 由于物体微小的温度波动会产生较大的辐射能量的变化，故传感器的灵敏度很 高。因此，可利用 MEMS 热电堆传感器进行瞬态表面高温测试研究。本文以红外 辐射测温为背景，围绕 MEMS 热电堆传感器表面高温测试系统展开论述，论文主 要从理论设计、重点部分性能分析两方面进行了探索。 论文首先分析了瞬态 温度测试的研究现状，并介绍了热电堆传感器的结构、发展现状及应用。 其 次，针对测温现状，提出一种用 MEMS 热电堆传感器来实现高温测量的新方法， 设计了基于 MEMS 热电堆的瞬态(ms 量级)表面高温(1500-3000)测试系统， 对系统各部分的功能及材料的选择进行了深入的探讨；同时提出了系统的静动 态标定方法，为进一步的研制提供了理论依据。 再次，对系统的关键元件陶 瓷材料衰减片的红外吸收系数进行研究，分析了黄型的傅里叶变换红外光谱仪 测量法，
