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金属半导体接触及其能级图E0Wm(EF)mEv(EF)SE0EnWs Ec金属中的电子势阱半导体的功函数和电子亲合力金属半导体接触 及其能级图 金属和半导体的功函数Ev(EF)SEnWs Ec Wm(EF)mE0金属和n型半导体接触能带图(WmWs) (a) 接触前(a)金属半导体接触 及其能级图 接触电势差WmEFq(Vs-Vm)EvEnWsEcD金属和n型半导体接触能带图(WmWs) (b) 间隙很大(b)金属半导体接触 及其能级图 接触电势差qVDqnsEcEFEvEnEcqVDqns EFq(Vs-Vm)EvEnWm金属和n型半导体接触能带图(WmWs) (c) 紧密接触;(d) 忽略间隙(c)(d)金属半导体接触 及其能级图 接触电势差金属和n型半导体接触能带图(WmWs)金属半导体接触 及其能级图 接触电势差q0qnsqVDqnsq0EvEFEcWsEvEnqVDWsEFEc存在高表面态密度时 n型半导体的能带图存在受主表面态密度时 n型半导体的能带图金属半导体接触 及其能级图 表面态对接触势垒影响Wm(EF)mE0 (EF)SEcqVDqnsWmWm-WsDEFEcqVDEFEcqnsqVD(a)(b) (c)表面受主态密度很高的n型半导体与金属接触能带图(a) 接触前; (b)紧密接触; (c) 极限情况金属半导体接触 及其能级图 表面态对接触势垒影响