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1、走査電子顕微鏡技術一般 走査電子顕微鏡技術一般 山形大学工学部 技術部 四釜繁 山形大学工学部 技術部 四釜繁 走査電子顕微鏡非常身近機器、単純観察、透過電子顕微 鏡場合試料処理必要、簡単高倍率観察。 筆者年以上前利用、鮮明高分解能二次電子像 得程度知識操作技術必要。単高倍率写真高分解 能写真区別。 図 綿繊維表面二次電子像 筆者、高分解能二次電子像得技術勿論、非常得 難試料観察技術試料技術興味。成果 四釜繁著、走査電子顕微鏡線利用技術、山形 大学工学部電顕分析室 （全2 4 0 ）纏。 試料観察 試料観察 色試料見、観察、像質悪、 試料出会。試料試料軽元素試料、高 倍率観察。試料、二次電子放
2、出率入射電子線 試料内散乱領域関連、出、分解能上 。場合、加速電圧低、原子番号大二次電子放出1率良 A u P t 試料表面大幅改善望。 出試料最問題、表面平滑試料 。二次電子像、試料放出二次電子量輝度変換 C R T 上表示像、試料表面任意点間二次電子放出量差 。点間二次電子放出量違、以下 要因左右。 試料原子番号（二次電子放出率） 試料凹凸（傾斜効果、効果、突起効果） 試料検出器位置関係（効果） 従、表面平坦試料、且原子番号効果期待元素試料等 場合、上述要因期待、出言 。、現実試料全平言有得、微視的 見、多少凹凸存在。実際観察、少凹凸強調 観察技術必要。 某会社次質問筆者持込。滑止表 面化
3、学処理輸入部品、使用非常良効果発揮 部品。、処理部品処理部品 S E M 観察比較何違観察。 滑止処理施部品、表面摩擦力増 凹凸。観察、凹凸非常 （角張）考。 図 出難試料観察例 図 出難試料観察例 2図（a ）写真通常観察条件観察二次電子像、 処理確認。 （b ） 写真、 凹凸強調 “傾斜効果” “ 効果”組合、電子線電流多 観察二次電子像。処理様子鮮明現。 試料処理（隠試料組織観察） 試料処理（隠試料組織観察） 試料表面汚取除、試料隠組織掘出、 利用場合。目的試料 場合、放電電圧、放電電流、時間選択非常重要 。設定誤、試料本来姿失、熱損傷起、 試料上別組織再構築。、経験積、試料処理 非常有
4、効手段。 図繊維表面二次電子像示。（a ） 処理前写真、（）適度処理後写真。 処理試料、処理前観察組織現。 図 隠組織掘出 図 隠組織掘出 3 走査電子顕微鏡他利用技術 走査電子顕微鏡他利用技術 走査電子顕微鏡関私興味四釜繁著、走査電子顕微鏡線 利用技術、山大工学部電顕分析室纏。参考 、内容紹介。 走査電子顕微鏡線利用技術 走査電子顕微鏡線利用技術 四釜繁著、山大工学部電顕分析室 四釜繁著、山大工学部電顕分析室 第 1 章 二次電子像形成 5 1 電子線発生 8 2 電子線形成 1 1 3 電子線物質相互作用 1 3 4 二次電子検出 1 5 5 二次電子像形成機構 1 7 6 二次電子像成因
5、 1 8 1 原子番号効果 2 傾斜効果、効果、突起効果 3 結晶効果 4 加速電圧効果 5 効果 6 電界効果 第 2 章 走査電子顕微鏡利用関基本的事項 2 7 1 二次電子像解釈 3 0 2 S E M 測長 3 3 1 表示倍率精度 2 傾斜部分測長 3 高倍率写真測長 3 S E M 分解能 3 9 1 電子線径 2 S N 比 3 電子線試料内散乱 4 二点間二次電子放出量差 5 他分解能影響及因子 4 高倍率高分解能像得 4 9 1 試料傾斜 2 加速電圧設定 3 電流設定 4 対物径設定 5 電子線電流設定（電子線径設定） 6 設定 7 電子銃部軸調整 8 対物 9 非点補正
6、1 0 高倍率高分解能像例 5 焦点深度深像得 6 2 6 出試料 6 5 7 低加速電圧像利用 6 7 1 試料損傷防 2 過度効果防 3 帯電現象防 4 無蒸着観察 5 極表面観察 8 観察 7 3 9 試料作製 7 7 1 試料固定 2 帯電防止電導性被膜 3 試料 4 断面試料作製 1 0 機器保守管理 8 4 第 3 章 線形成 1 線発生 8 8 1 線発生機構 2 線発生量（線試料内発生量） 3 線脱出量（試料表面脱出線量） 42 線検出 一 9 3 1 半導体検出器動作原理 2 半導体検出器分解能 3 検出可能元素範囲（B e 膜軟線吸収） 4 半導体検出器常時冷却 3 線形成
7、 9 6 1 増幅 2 線形成 第 4 章 線利用関基本的事項 9 9 1 加速電圧電子線電流設定 1 0 2 1 加速電圧設定 2 電子線電流（照射電流）設定 2 定性分析 1 0 6 1 元素同定 2 疑似 3 点分析線分析面分析 1 1 4 4 定量分析 1 1 7 1 定量計算概略 2 定量結果信頼性 3 4 加速電圧、電子線電流、分析時間設定 5 線前処理 6 定量計算法選択 7 定量分析試料作製 5 定量分析値再現性絶対値信頼性 1 2 9 1 定量精度影響及諸要因 2 理想的試料定量分析 3 試料表面粗影響 4 試料熱損傷汚染（）影響 5 電導膜影響 6 線計測時間影響 7 試料
8、種類影響（薄膜、粉体、酸化物、化合物） 8 法選択影響 9 既知試料定量分析例 6 定量補正 1 3 8 1 定量補正概説 2 定量補正計算式実際例 3 具体的計算例 7 極微小領域分析（情報源大） 1 5 9 1 入射電子線試料内散乱 2 特性線発生領域 3 特性線放出領域 4 蛍光励起特性線場合 8 電子線影響 1 6 6 1 電子線熱損傷 2 電子線付着 9 線分析用試料作製 1 7 0 第 5 章 応用例 1 7 1 1 磁気表面観察 1 7 3 2 微粒子配向分布観察 1 7 8 3 金属拡散観察 1 8 2 第 6 章 特殊利用例 1 8 9 1 膜厚E P M A 法薄膜膜厚測定
9、 1 9 1 1 膜厚何 2 膜厚E P M A 法原理 3 膜厚E P M A 法機器調整 4 膜厚E P M A 法応用例 2 B i t t e r E P M A 法微小漏洩磁界観察 2 0 4 1 B i t t e r E P M A 法原理 2 B i t t e r E P M A 法微小漏洩磁界観察例 3 拡散E P M A 法拡散観察 2 1 0 1 領域拡散観察困難理由 2 拡散E P M A 法原理 3 拡散E P M A 法適用例 付録 各種表面分析機器略名機能 2 1 7 参考文献 2 3 9 5参考文献 参考文献 四釜繁 走査電子顕微鏡線利用技術 山形大学工学部電顕分析室 1 9 9 8 日本電顕学会編 走査電子顕微鏡基礎応用 共立出版 1 9 8 3 永谷、田中 図説走査電子顕微鏡 朝倉書店 1 9 8
