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1、 D07 - 9E 型 质量流量控制器 D07- 9EM 型 质量流量计 使 用 手 册 版本 2013. 6 目 录 1. 使用须知使用须知. 1 6.2.1 开机预热 . 18 2. 用途和特点用途和特点. 2 6.2.2 检查和调整零点 . 18 3. 主要技术指标主要技术指标. 3 6.2.3 通气工作 . 18 4. 结构和工作原结构和工作原理理. 5 6.2.4 关机 . 18 4.1 结构 5 7. 注意事项注意事项 . 18 4.2 工作原理 6 7.1 禁用流量介质 18 5. 安装和接线安装和接线 . 8 7.2 使用腐蚀性气体问题 18 5.1 外形及安装尺寸 8 7.3
2、 阀口密封问题 19 5.2 气路接头形式 9 7.4 阀控操作注意 19 5.3 连接电缆插头 11 7.5 安装位置问题 19 5.4 与计算机信号的连接 13 7.6 注意工作压差 19 5.5 调零和外调零 15 7.7 标定和不同气体的换算 19 6. 使用方法和操作步骤使用方法和操作步骤 16 7.8 D07-9E, 9EM 标准订单填写格式 20 6.1 质量流量控制器的操作 16 8. 故障判断和处理故障判断和处理 . 23 6.1.1 开机操作. 16 9. 保证、 保修与服务保证、 保修与服务. 25 6.1.2 清洗功能. 17 9.1 产品保证和保修. 25 6.1.3
3、 显示仪与计算机连接的操作. 17 9.2 保修对使用的要求. 25 6.1.4 直接与计算机连接的操作. 17 9.3 服务. 25 6.1.5 阀控功能. 17 10. 附录附录 26 6.1.6 关机操作. 17 10.1 气体质量流量转换系数 . 26 6.2 质量流量计的操作 . 18 10.2 转换系数使用说明 . 28 MASS FLOW CONTROLLER 以及镀膜设备、光纤 熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、 稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空
4、条件下工作), 采用国际标准接头, 其 操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制控制器与显示之间用专用电缆连接(如图 1 所示)。 图 1.质量流量控制器与流量显示仪配套使用 第 3 页 共 28 页 3. 主要技术指标主要技术指标 表 1. D07-9E 型 MFC 性能指标 编号 项 目 D07-9E 型 1 流量规格 ( 020,30,50,100,150,200,250) SLM 2 准确度 2 % F.S 3 线性 1 % F.S 4 重复精度 0.2 % F.S 5
5、 响应时间 (1 4) sec 6 工作压差范围 20 , 30 SLM: (0.05 0.30) MPa （7.343.5 psid） 50,150 SLM: (0.10 0.30) MPa （14.543.5 psid） 200,250 SLM: (0.15 0.30) MPa （21.843.5 psid） 7 耐压 3 MPa （435.1 psig） 8 工作环境温度 5 45 9 输入输出信号 0 V +5.00 V (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA) 10 电源 +15 V 50 mA -15V 400 mA 11 外形尺寸 见图 4 12 重量 2.6 kg
6、第 4 页 共 28 页 表 2. D07-9EM 型性能指标 编号 项 目 D07-9EM 型 1 流量规格 ( 020,30,50,100,150,200,250) SLM 2 准确度 2 % F.S 3 线性 1 % F.S 4 重复精度 0.2 % F.S 5 响应时间 14 sec 6 气压降 20100SLM: 100SLM: 100SLM： 100K, Output Electric Current 3mA) 10 Valve N.C.Solenoid 11 Power Supply +15 V 50 mA -15V 400 mA 12 Dimension According t
7、o Figure 4 13 Weight 2.6 kg Notes: MFC/MFM is calibrated by N2 as a standard gas. Units: SCCM (Standard Cubic Centimeter/Min); SLM (Standard Liter/Min) Standard Situation: Tem 273.15K ( 0 C ); Air Pressure 101325 Pa (760mm Hg) F.S. : Full Scale Page 3 of 28 Table 2. D07-9EM Mass Flow Meter Specifica
8、tions No. Item D07-9EM 1 Flow Ranges ( 020,30,50,100,150,200,250) SLM 2 Accuracy 2 % F.S 3 Linearity 1 % F.S 4 Repeatability 0.2 % F.S 5 Response-Time (1 4) sec 6 Operation Pressure 20100SLM: 100SLM: 100K, Output Electric Current 3mA) 10 Power Supply +15 V 50 mA -15 V 50 mA 11 Dimension According to
9、 Figure 5 12 Weight 1.5 kg The main specifications could be found in table 1 and table 2. D07-9EM is the measuring part of D07-9E, the specifications of measuring parts are almost same. Page 4 of 28 3. STRUCTURE when setpoint is turned on the EXT, flow rate will be controlled by (0+5)V voltage which
10、 is supplied by users. There are three valves control switches on the panel of D08 series Flow Readout Box: CLOSE, PURGE and AUTO. In case of CLOSE, Valves of MFC will shut off; in case of PURGE, Valve will open reach to the tip to purge the Gas systems or could be functioned as a MFM; when set to A
11、UTO, Valve can control the flow rate automatically. 4. INSTALLATION 4.1 Receipt and Upacking The D07-9 E mass flow controller are manfactured under clean room conditions, and has been packed acordingly upon receipt, after receiving the equipment, please carefully check the outer package for any dama
12、ge incurred during the transportation. Check that the delivery is complete and no parts are missing. Since the D07-9 E can be ordered in Several configuration, ensure that the scope of supply is corect. If you think there is a problem please contact the forwarder at once, with regard to liability. P
13、age 7 of 28 4.2 Dimension Dimensions and installations are showing as following figures 4 and figures 5: Figure 4. Dimension of D07-9E MFC Page 8 of 28 Figure 5. Dimension of D07-9EM MFM Attention: The height (which is showing in the figures 4 and figures 5) of 140mm are height without electric conn
14、ectors of cable. It should be added around 50MM more after adding the electric connector. 4.3 Fittings Four models of external diameters connectors could be provided: Page 9 of 28 Table3. Connectors connects SET with PC D/A output; connects Flow Testing with PC A/D input; Signal common connects signal refe
