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1、静电防护指南静电防护指南(ESD 工程师培训工程师培训)目录目录第二篇 静电防护原理第二篇 静电防护原理第三篇 电子生产使用环境中的防静电第三篇 电子生产使用环境中的防静电 系统构成系统构成第四篇 静电敏感器件生产与操作系统第四篇 静电敏感器件生产与操作系统 管理管理第五篇 电子产品制造与应用系统防静第五篇 电子产品制造与应用系统防静 电检测电检测第一篇 静电产生及对电子生产制造第一篇 静电产生及对电子生产制造 业的影响业的影响第一篇 静电产生及对电子生产制造 业的不良影响第一篇 静电产生及对电子生产制造 业的不良影响第第1节 静电产生与静电效应节 静电产生与静电效应(2)静电放电（静电放电（
2、ESD）(3)静电感应静电感应(1)静电荷产生的电场力静电荷产生的电场力221 rqqkF 41k(4)摩擦起电序列摩擦起电序列人手 玻璃 人发 尼龙 羊毛 丝绸 纸 棉布 木板 硬橡胶 醋酸人造纤维 聚酯 明胶 聚氨酯 聚乙烯 硅 聚四氟乙烯正（）负（）人手 玻璃 人发 尼龙 羊毛 丝绸 纸 棉布 木板 硬橡胶 醋酸人造纤维 聚酯 明胶 聚氨酯 聚乙烯 硅 聚四氟乙烯正（）负（）尘埃粒度与尘埃粒度与IC芯片间距的比较芯片间距的比较(1)吸附尘埃吸附尘埃第第2节 静电对电子生产制造业的危害节 静电对电子生产制造业的危害(2)静电放电静电放电(3)静电感应静电感应(4)静电对电子工业造成损害的典
3、型事例静电对电子工业造成损害的典型事例第第3节 静电放电敏感器件节 静电放电敏感器件表1-1静电放电敏感器件分级表 1级：敏感电压范围01999V 元 器 件 类 型 微波器件(肖特基势垒二极管、点接触二极管和其他工作频率大于1GHZ的检测二极管 离散型MOS场效应晶体管 声表面波(SAW)器件 结型场效应晶体管(JEETs) 电荷耦合器件(CCDs) 精密稳压二极管(线或加载电压稳定(0.5%) 运算放大器(OP AMPs) 薄膜电阻器 集成电路 使用1级元器件的混合电路 超高速集成电路(VHSIC) 环境温度100时，IO 11012的氟 树脂、丙烯树脂或聚碳酸树脂）的氟 树脂、丙烯树脂或
4、聚碳酸树脂）2、静电电位计，测定范围直流、静电电位计，测定范围直流10mv10v 以上，输入阻抗以上，输入阻抗11012以上的振动电 容式静电位计以上的振动电 容式静电位计5、聚脂粒胶绝缘带、聚脂粒胶绝缘带(3)静电电量计算静电电量计算UCCQ)(21SCU SQsVQV1.绝缘体电量的计算绝缘体电量的计算2.静电面电荷密度计算静电面电荷密度计算3.静电体电荷密度计算静电体电荷密度计算第第6节 各类防静电产品（材料）的测试节 各类防静电产品（材料）的测试(1)腕带测试方法腕带测试方法1.所需仪器所需仪器静电场测试仪静电场测试仪2.测试方法测试方法EPA腕带穿戴下电阻的测试腕带穿戴下电阻的测试
5、腕带内表面对电缆扣电阻测试腕带内表面对电缆扣电阻测试腕带连接电缆两端电阻的测试腕带连接电缆两端电阻的测试(2)人体综合电阻测试人体综合电阻测试(3)防静电鞋电阻的测试方法防静电鞋电阻的测试方法EPA鞋类、人体综合电阻的测试鞋类、人体综合电阻的测试(4)手套、指套、帽、袜、鞋束和工具（刷）的测量方法手套、指套、帽、袜、鞋束和工具（刷）的测量方法手套和手持工具表面点对点电阻测试手套和手持工具表面点对点电阻测试(5)防静电服装的测试方法防静电服装的测试方法1.带电量测试带电量测试2.电阻的测试电阻的测试防静电服电阻测试防静电服电阻测试(6)集成电路防静电包装管测试方法集成电路防静电包装管测试方法(7
6、)柔韧性包装类（包括发泡垫、海绵类）的测试方法柔韧性包装类（包括发泡垫、海绵类）的测试方法(8)周转容器、盒的测试周转容器、盒的测试(9)窗帘的测试方法窗帘的测试方法(10)防静电存放架测试方法防静电存放架测试方法(11)工位与物流传送器具测试方法工位与物流传送器具测试方法(12)墙面墙面(13)防静电剂（液、蜡、胶）的测试方法防静电剂（液、蜡、胶）的测试方法(14)座椅、运转车、工作台的测试方法座椅、运转车、工作台的测试方法1.座椅座椅2.运转车运转车3.工作台工作台(15)地面、地垫地面、地垫地面系统电阻测试地面系统电阻测试地面点对点电阻测试地面点对点电阻测试(16)离子静电消除器的测试方
7、法离子静电消除器的测试方法1.测试用设备测试用设备测试时台式离子静电消除器与测试仪之间的相对位置测试时台式离子静电消除器与测试仪之间的相对位置俯视图俯视图2.测试方法测试方法测试时台式离子静电消除器与测试仪之间的相对位置测试时台式离子静电消除器与测试仪之间的相对位置侧视图侧视图第第7节 测试技术指标节 测试技术指标离子风静电消除器的测量仪器离子风静电消除器的测量仪器离子平衡分析仪离子平衡分析仪其他常用检测仪器其他常用检测仪器空气粒子计数器空气粒子计数器集成电路管测试仪集成电路管测试仪静电场测试仪（静电电压）静电电荷 量等的测量仪器静电场测试仪（静电电压）静电电荷 量等的测量仪器静电场测试仪静电场测试仪
