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1、沸石濃縮轉輪焚化系統操作績效自我評估管理制度參考手冊第二版白曛綾、林育旨、張豐堂、陳建志編著補助單位： 科 學 工 業 園 區 管 理 局執行單位： 國立交通大學環境工程研究所中華民國九十二年十二月I目錄一、前言.1二、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統基本原理.3三、沸石濃縮轉輪之模廠吸附特性測試.63.1 測試方法.63.2 不同進流溫度對去除效率之影響.103.3 不同進流濕度對去除效率之影響.123.4 主要操作參數對轉輪去除效率之影響.123.5 結論.22四、沸石濃縮轉輪焚化系統操作之成本效率.244.1 實驗系統.244.2 沸石轉輪系統結合 RTO 與其結合直接焚化爐之比較.274.3
2、操作參數最佳化.304.4 結論.32五、轉輪操作問題、處理方案與改善成果.355.1 沸石吸附濃縮轉輪主要之操作問題.355.2 建議處理方案.365.2.1 設置前端濾布過濾裝置.36II5.2.2 設置前端高沸點 VOCS物質冷凝處理設備.365.2.3 定期以潔淨水進行保養清洗.375.2.4 於操作程序中提高脫附熱容量.395.3 建議處理方案對系統處理效率改善成果.395.3.1 設置前端濾布後之系統改善狀況.395.3.2 裝設冷凝器前處理及執行水洗程序之系統改善狀況.485.3.3 於操作程序中提高脫附熱容量對於系統去除效率之改善.51六、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之適用建議.5
3、3七、沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作維護記錄項目及績效自我評估.557.1 沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作維護記錄項目.557.2 沸石吸附濃縮轉輪焚化系統之操作績效自我評估.57參考文獻.60附件操作效能自我評估管理記錄表.62III表目錄表 3.1 使用之沸石轉輪反應器之規格資料.9表 4.1 沸石轉輪系統結合蓄熱燃燒爐與其結合直接焚化爐相較後之優缺點.29表 4.2 沸石濃縮轉輪結合蓄熱燃燒爐及其結合直接焚化爐之成本比較.29表 4.3 某半導廠執行原廠參數與本研究群建議操作參數值之去除效率比較.34表 4.4 某光電廠操作參數調整前後之處理效率變化.34表 5.1 某半導體廠設置冷凝器
4、前後個別成本與總成本比較.52表 7.1 沸石吸附濃縮焚化系統建議紀錄項目填寫範例.56表 7.2 沸石吸附濃縮焚化系統建議操作績效指標自我評估表範例.59附表 1 沸石吸附濃縮焚化系統操作維護紀錄項目.63附表 2 沸石吸附濃縮焚化系統建議操作績效指標自我評估表.64IV圖目錄圖 1.1 沸石吸附濃縮轉輪焚化系統處理流程.5圖 3.1 模廠設備流程.8圖 3.2 不同氣流進流溫度下對於系統去除 IPA 之效率影響.11圖 3.3 不同氣流進流溼度(水份)與 VOCS在沸石轉輪上之競爭性吸附情形13圖 3.4 不同轉速下，轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率.14圖 3.5(a)不同轉速下
5、 ， 高濃度(THCS=200ppmv)之主要半導體 VOCS於轉輪上吸附去除效率.17圖 3.5(b)不同轉速下，低濃度(THCS=80ppmv)之主要半導體 VOCS於轉輪上吸附去除效率.18圖 3.6 不同濃縮倍率下，轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率.19圖 3.7 不同脫附溫度下，轉輪吸附區出口側表面各轉度位置之去除效率.21圖 4.1 本研究之沸石濃縮轉輪結合 RTO 系統處理半導體 VOCS廢氣流程 25圖 5.1 轉輪建議清洗程序.38圖 5.2 抽氣時間與濃度變化圖(IPA 為異丙醇；NBA 為乙酸正丁酯) .41圖 5.3 抽氣時間與濾布去除率關係圖(IPA 為異丙醇
6、；NBA 為乙酸正丁酯).41圖 5.4 連續抽氣 16 天之濃度變化圖(IPA 為異丙醇；NBA 為乙酸正丁酯) 42圖 5.6 某光電廠裝設濾布後風車變頻運轉效能與時間變化圖.42V圖 5.7 某光電廠有機排氣之粉末混合水中的靜置一天後之情形.44圖 5.8 某光電廠有機排氣之粉末 0.08g 在(a)未加熱前；(b)180下加熱烘烤11 分鐘；(c)180下加熱烘烤 15 分鐘後之粉末變化.44圖 5.9 某光電廠有機排氣粉末混合於水中(a)未烘乾前；(b)100下烘乾；(c)130下烘乾.45圖 5.10 某光電廠有機排氣粉末在 100下烘乾之塗覆表面(a)放大 3 千倍；(b)放大 1 萬倍.45圖 5.11 某
