洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级

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1、洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值（pc/m3空气浓度限值按 3.2 中的公式计算）ISO 等级序数 （N） 0.1m0.2m0.3m0.5m1m5m ISO Class 1102 ISO Class 210024104 ISO Class 31 000237102358 ISO Class 410 0002 3701 02035283 ISO Class 5100 00023 70010 2003 52083229ISO Class 61 000 000237 000102 00035 2008 320293I

2、SO Class 7 352 00083 2002 930 ISO Class 8 3 520 000832 00029 300ISO Class 9 35 200 0008 320 000293 000注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级 水平。洁净室的等级划分洁净室的等级划分 【提要提要】洁净室是根据产品制造所在空间的洁净度标准的空气中所要求达到的尘粒浓度来 定级的，级别越高尘粒浓度越低。 洁净室分级目前可以根据国际标准 ISO14644-1（欧盟 1999 年、美国 2001 年采用）进行。 然而，最早被接受的方法是已经被废弃的美国联邦标准（FED-STD

3、 209）。它仍然被广泛地 使用。a.)a.)美国联邦标准美国联邦标准 （FED-STDFED-STD 209209）美国联邦标准 209 首次发表于 1963 年，标题为“洁净室及工作区域要求，受控环境”。 1992 年修订为 209E 版本，2001 年撤消。洁净室是根据每立方英尺（ft3）空气中的直径 0.5 微米(um)微粒个数来定级。b.)ISOb.)ISO 标准标准: : ISO(国际标准化组织)制订了洁净室标准系列，其中 ISO14644 标题为“洁净室及其关联的 受控环境”。它的第一部分为:空气洁净度的等级分类.它给出了不同标准的洁净室的空气 悬浮微粒的限度,同时也给也了测试洁

4、净室确定其级别时测量空气悬浮微粒所用的方法。ISO 14644-1 给出了一种洁净室定级的方法。公式为： 其中：Cn：是指等于或大于所关注直径尺寸的空气悬浮微粒的最大允许浓度，且四舍五入 最接近的整数，不多于三个有效数字；N ：是指 ISO 级别编号，且最大不超过 9，N 的最小允许增值是 0.1;D ：是指所关注的微粒直径尺寸,单位 um;0.1 是一个单位为 um 的长度常数.根据这个公式,空气悬浮微粒的最大允许浓度(级别限定)能够针对任何微粒直径尺寸计算出 来。c.)c.)美国联邦标准与美国联邦标准与 ISOISO 标准的相关性标准的相关性两种标准有一个交叉:ISO 标准的每 M3 微粒浓度换算成每 ft3 微粒浓度数需除以 35.2， 而等同的美国联邦标准 FED-STD209 级别基于 0.5um 尺寸。例如，ISO 级别 Class5 等同于 FED-STD 209 级别 Class 100。等同级别对照表等同级别对照表(FED-STD 209 与 ISO 14644-1)