纳米电子_纳米光电子技术

《纳米电子_纳米光电子技术》由会员分享，可在线阅读，更多相关《纳米电子_纳米光电子技术（30页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。

1、纳米电子纳米电子_ _纳米光电子技术纳米光电子技术pdf 文档可能在 WAP 端浏览体验不佳。建议您优先选择 TXT，或下载源文件到本机查看。第卷第期飞 通 光 电 子 技 术年月纳 米 电子 纳米光 电子 技术程开 富值 息产业 部 电子第 料 研 究所 摘关妞词, 庆 口阅、要 主 要介 绍 纳 米 技 术 领 域 里 纳 米 电 子 学 纳 米 光 电 子 学的 基本概念 纳 米 电 子 学的 分 类、纳 米 电子 器 件纳 米 光 电 子 器件 纳 米 电子 学、纳 米 电 子 学和 纳 米 光 电 子 学的 发 展模 式 以 及 纳 米 高技 术 群 纳 米光 电子 学。纳 米技术纳

2、 米 电 子 器件纳 米 光 电子 器 件引言在 人 类 的科 学 技 术 史 上工 业 化 时代,曾经 发 生 了两 次 产业 革 命。,即 蒸汽 机 的 发 明 使人 类 由农 业化进 入 了,晶 体 管 的发 明 使 人 类进 入 了 信 息 时 代,在 人类 文 明 历 史 的 发 展 进 程 中,没 有任 何 事,物 可 以和 科 学 技 术 对 人类产 生 的 巨 大 影 响相 比活 带来 更 重 要 的 影 响 生 产 时代,今 天 又 一 次产 业 革 命 即 将 到 来并会 对 人 类 的生 纳米技术这就 是“纳 米 技术” 米 , 内 光 电 子 技术,” 。众 多科 学

3、家 认 为。纳 米 光 电 子 技 术有 可 能是 人 类 历 史 上 的第 三 次 产 业 革 命它 将 使 人类进 入 智 能 化 的 类 生物 体 系 的、将会直接推 动信息、生 命 和 环 境 科 学 等 诸 多 领 域 的发 展,从现在到年 的近 十年 中 微 电子 技 术仍将 围绕 着 大 容量。高速度,、高密 度、高频 率、低功 耗 以及 多功 能方 向继 续 发 展而 相 继 出现。在 传 统 的 微 电 子技 术 继 续推 进 的 同 时 据 预测,新 的 领 域 也 将 随 着技 术 的进 步, ,以 及 理论研 究 的深 入基 于纳 米级 尺 寸 加 工 的纳米 技 术,

4、基 于 真 空 电 子 器 件 电 子 输运 原理和 与微 电子 器件 制 造 技 术 相 结合 的 真 空 微 电 子技术以及 通 过 半 导 体 微 细 加 工 技 术 和 特 殊 的 工 艺如 微 电子 机 械 加 工 技术 和 微光 电机 械 加 工 技 术的 微 电子 机 械 系统在 半 导 体 基 片 上 制 造微 型 或超 微 型 机械 部 件,技 术 以及 电子 器 件 和 微光 学元件 集成而 构 成 的微 光 电 机 械 系 统。将成为。世 纪 的新 型 微 电子 技术 在 半 导 体超微 细 加 工 技术 基 础 上 发 展 起 来 的纳 米 加 工 技 术 不,仅 能制

5、作 出单 电子 存储 器另外,而 且 也 可 制 作 出 精 巧 的微 电子 机 械 系 统和,和 微 光 电机 械 系 统。把 微 电子 技 术 与,等技 术 结合 起 来,还 可 以制 造 出纳 米 机 器 人这种 机 器 人 能注 入 到人 体 血 管 中 实施 检 查 和 治 疗 等这 对 人类 健 康 和 生 活 必 将 带 来重 大 的影 响。随着 纳米 技 术 的发 展基 于 量 子 效 应 的 单 电子器 件 和 高 密 度 的量 子 集 成 电路。将 成 为半 导 体器件一个 新 的发展 方 向径。信 息 社 会 对 集 成 电路 的 集 成 度 要 求越 来 越 高,促使

6、人们 不 断 探 索 能 够 突 破 器件 尺 寸极 限 的途,纳 米 电子 学 和 纳 米 光 电子 学在 此 背 景 下 应 运 而 生处 于 半 导 体科 学和 工 程 研 究 的 前沿“。采 用 纳 米 量 子 结构 的 光 电子 信 息 技术 革命 与伟 大变 革 具 有 同 样 重 大 的意 义。年 前 用 的 微 电子集 成 芯 片取 代 晶 体管 引 发 的 联姻”光 电子 技 术 是 电 子 技 术 与 光 子 技 术。 。的产 物。光 电子 技 术在技术,世 纪 后 期 异 军 突 起 取 得 了 长 足 的 进 展 光 电子 技 术 与纳 米 技 术相 结合 而 产 生

7、的纳 米 光 电子,为光 电子 技术 的 发 展 开 辟 了 一 个 全 新 的 领 域。世 纪 将 是 光 电子 技术 和 纳 米 光 电子 技 术 发展 顶 新 的 时代纳米 电子学纳 米 电 子学 的 基本概 念纳米 电 子 学。是 纳米 技术 的 重 要 组 成 部 分,是 纳 米 技术 发展 的 主 要 动 力 是第卷第期、飞 通 光 电 子 技 术八 十 年 代 中期 初 露 端 倪九 十 年 代 崛起 的崭 新 科 学 技 术,、。纳 米 电子 学 是 指 在 纳 米 尺 寸 范 围 内研 究,物 质 的物 理、化学、声 学 和 电子 学 现 象 及 其 运 动 规 律仁 。构筑

8、纳 米 和 量 子器件 传输、集 成 实现 纳 米 电路。,从 而 建 立 量 子基 计 算机 和 量 子 通 信 系 统 的信 息 计 算 正 处在蓬勃 发展 时期处 理 的一 门 科 学 和 技 术, ,纳 米 电子 学纳 米 电子 学 立 足 于 最 新 的 物 理 理 论 和 最 先 进 的 工 艺 手 段,按 照 全 新 的概念 来 构 造 电子 系 统成为 果,。它 将 突 破 传 统 的极 限,。开 发 物 质 潜 在 的信 息 和 结 构潜 力使 单位 体积 物 质 的。储 存 和 处 理 信 息 的 能力 提 高 百 万 倍 以 上 世 纪 信 息 时 代 的核 心”,实 现

9、 信 息 采 集 和 处 理 能力 的 革 命 性 突 破年 代起。纳 米 电子 学将“因此。,自,许 多 国 家 都先 后 把 纳 米 电 子 学 作 为,国家关键 技 术之 一并投 入 巨 资进 行 研 究 和 开 发经 过 几 年 的努 力己 经 取 得 了一 系 列 震 动 世 界 的 成目前 正 处 在 重 大 突 破 的 前 夜纳 米 电 子 学 的分 类纳 米 电 子 学 就 是研 究 电 子 在 量 子 阱的器 件 和 电路 的 一 门 新 兴 学科 塞 效应 与 单 个 电子 晶 体 管,。 一 、量子线、量 子 点 等 纳 米 尺 度 范 围 内的运 动 规 律 及 其 相

10、 应 其 一 为 单个 电子 的 电子 学。纳 米 电 子 学 分 为两 大类,库仑阻其 二 为 电 子波 电子 学,电 子 波 的 干 涉 与 电子 波 器 件 单原子开关, ,前者代表 性器后者代表性器件 是 单 电子 开 关 件 是 电子 波、,单 电子 对 开 关、单 磁通 量子 开关单分子 开关等。原子 波分子波、量 子 点 波 等 的相 干 波 器 件其 灵 敏度 极 高,图给 出 了纳 米 电子,学 的分 类时,。利 用 电子 的量 子 效应 原理 制 作 的 量 子 器 件 也 称 量 子 波 器 件,要 实现 量 子 效 应在工艺上 要 实 施 制 作 厚 度 和 宽 度 都

11、 只 有 几 十 纳 米 的微 小 导 电 区 域 才 有 可 能产 生 量 子 效 应这 样 当 电子 被 关 闭 在 纳 米 导 电 区 域。这 是制 作 量 子 器件 的关键 所 在纳 米 电子 学 量 子 功 能 电子 学量 子波 电子 学单 量 子 电子 学相干量 子波不相干量 子波单 电 子 电子 学 单 电子对 电子 学单 磁 通 量 子 电子 学干 涉 效应共 振 效应单 原 子 电子学分 子 电子 学扩散效应隧道 效 应量子波 量 结 构 尺 寸 小 于波 子 机 械 波 长单量 子量 子粒子 粒子例 如 电子 波 长 量子点、一、量 子 点 小 于 或 等于 。量子阱二 维

12、量 子线一耐量子线超导超导量子面仁圈,纳 米 电子学 分 类 卜 倒纳 米 电子 器 件 的种 类 迄 今 为 止 已 研 制 出下 述 类 型 的纳 米 电 子 器 件,量子 点,岛 是 以 零 维 自 由 度 限 制 电子飞 通 光 电 子 技 术年月谐 振 隧 穿器 件 单 电子 晶 体 管,岛 是 以一 维 或 二 维 自 由 度 限 制 电子,岛是 以 三 维 自 由 度 限 制 电子一。纳 米 电子 器 件 中 岛的最 小 尺 寸 大 约在之间。纳米 光 电子学 的概 念 和 发 展 模 式纳 米光 电子 学 的基 本 概念光 电子 技术 正 向 光 电子 集 成 导 体 材料 的

13、基 础 上 发 展 起 来 的, ,进 而 将 向纳 米 光 电子 集 成 方 向发 展。 。纳 米 光 电子 学 是 在 纳 米 半是 纳 米 电子 学 发 展 的 方 向纳 米 光 电子 学 是 研 究 纳 米 结 构 中 电子,与 光 子 的 互 作 用 及 其 器 件 的 一 门高 技 术 学 科电 子技 术一光 电 子 技术 与 纳 米 电子 技 术 相 结合 而 产 生 了 纳 米 光,。半 导 体 硅 不 能发 光 纳 米 光 电子 学。,但 采用 纳 米 技 术后它 能 发 出耀 眼 的 蓝 光这也就 开拓 出 了一 门,崭新 的学科 对 于 纳 米 光 电子 学 和 纳 米

14、光 电 子 器 件 以 及 纳 米 光 电子 技 术 方 面 的 内容纳 米 光 电 子学应 该 是 纳 米科 技 发展 的 重 点、 。至 今 除零 星 报 道 外 还未 见 到 专 门的 报 道 从 电子 学 展模式 为、纳 米 电子 学和 纳 米 光 电 子 学 的 发展 模 式微 电子 学 真 空 微 电子 学、光子学、光 电子 学、纳 米 电子 学 到 纳 米 光 电 子 学 的 发。电子 学 的发 展 模 式电 学 一 电子 学电子 技 术 一 电子 工 程 一 电子 产 业 电子 学 一 微 电子 学微 电子 学 的 发 展 模 式程微 米 半 导体 技 术微 电子 技 术微 电

15、子 工微 电子产 业。真 空 微 电子 学 的发展 模 式一 真 空 微 电子 工 程真 空 电子 学。微 电 子 学 一 真 空 微 电 子 学 一 真 空 微 电 子技 术光子产业。真 空 微 电子 产 业光学光 子学 的 发 展 模 式光子学光 子技术 一 光 子 工程光 电子 学 的发 展 模 式光 电子 产 业工程。光 学 一 电子 学 一 光 子 学 一 光 电 子 学 一 光 电 子 技 术 一 光 电子电 子 学 一 纳 米 技 术 一 纳 米 电子 学工程纳 米 电子 学 的发 展 模 式纳 米 电 子产 业。纳 米 电 子 技术 一 纳 米 电 子纳 米 光 电子 学 的发

16、 展 模式一 纳 米 光 电子 工 程光 电 子 学 一 纳 米 电子 学 一 纳 米 光 电子 学 一 纳 米 光 电子 技 术。纳 米 光 电子 产 业、除此 之 外 还 发 展 了 分 子 电子 学塑 料 电子 学 和 有 机 电 子 学等。纳米 光 电 子器 件纳 米 光 电子 器 件 是 在 纳 米 光 电子 材 料 的 基 础 上 发展 起 来 的 光 电子 器 件,纳 米 电子 器 件 的 发 展 方 向是纳 米目前 己 问世 的 纳 米 光 电子 器 件 有、纳米激光器如量 子 阱激光 器、量子线激光器一、 、量 子点 激 光 器量 子 点 红 外 光 电探 测 器、 、多量 子 阱 自电光 效 应 器 件光 电子 集 成 器 件超 晶 格 多量 子 阱 红 外 光 电 探 测 器 阵 列、垂 直腔面发射激 光 器 阵列聚 合 物 发 光 二极 管纳 米 级 薄膜 制 作 的红 外 摄 像 器件,如纳米硅化铂 肖,特 基 势 垒 红 外 焦 平 面 阵列等。据 计 算 机 世 界 网 消息。日本公 司 尖 端 技 术