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1、 ME 技術報告書 文件編號:05092001收件ZETCH2/1#ETCH2 采購部2#ME作成胡雄輝 2005/9/19 抄送高生鄧生肖生趙生鄧楊副經理審核葉漢雄 FAX批准肖承偉技術 項目精密蝕刻藥水蝕刻狀況評估精密蝕刻藥水蝕刻狀況評估目標 指標符合我司蝕刻品質標准報告 摘要現況：現時我司使用順澤蝕刻藥水生產成本較高品種單一需拓展供應商QDCC1降低生產成本 30%試驗 方案 設計 原理考察精密蝕刻藥水對細密線路蝕刻品質試驗 方案 及結 果1選擇底銅為 H/H OZ 基板板尺寸17.5”*13.5”數量20 塊UNIPLATE 電板電銅 10um 共10 塊板,1#PLAT 電板電銅 8
2、um 共 10 塊板2DF 生產 width:4mil3mil spacing:2mil2.5mil 實驗菲林圖電生產取 uniplat/1#plat 生產之板各取 5 塊進行電 Ni/Au電 Cu/Sn3蝕刻精密蝕刻液蝕刻相關工藝條件PH:8.54 Cu2+:141.03g/l Cl- :193.44g/l P:25psi Temp:51 比重1.2 v:2.02.5m/min4蝕刻后任取 5 塊樣板(其中金板 3 塊鍍錫板 2 塊)送 Lab 讀 width/spacing,取樣示意圖和讀數示意圖如下切片取樣示意圖 讀數示意圖 cda b 5每塊板作 5 個切片編號 13 塊板為金板45
3、板為鍍錫板Lab 切片讀數分 AB 面讀要求讀蝕刻因子 E=c/d線寬 a線距 b6 width:4mil spacing:2mil 切片編號1-21-41-52-22-33-13-34-24-34-55-15-35-5 width:3.5mil spacing:2.5mil 切片編號1-11-32-12-42-53-23-43-54-14-45-25-4試驗 結果1例曲線圖表為金板 width:4mil3mil spacing:2mil2.5mil蝕刻后 AB 面蝕刻因子的狀況(判 定標准蝕刻 C/D12鍍錫板 width:4mil3mil spacing:2mil2.5mi蝕刻 AB 面線
4、寬線距曲線分布圖(單位mil)金板4mil3mil線寬AB面蝕刻因子狀況00.20.40.60.811.211 12 13 14 15 21 22 23 24 25 31 32 33 34 35切片編號蝕刻因子數據蝕刻因子標准1A面蝕刻因子數據B面蝕刻因子數據4mil 線寬AB面蝕刻后數據2.463.463.762.963.463.224.073.883.84 3.38 3.032.382.693.09 3.223.343.383.763.655.373.072.383.694.383.224.19012345612141522233133424345515355切片編 號width數據標准w
5、idth(mil) 上限+20%width(wil) 下限-20%width(mil) A面a位置width(mil) B面a位置width(mil)洴 汩 024欶縱 昲 縱 縱 蔵 縲 欲 縲 縳 蘱 縳 朳 縴 鸲 縴 蘳 縴 欵 縵 鴱 縵 蘳 縵 朵 玽暹鶂 楷 瑤 蛚 殢 楷瑤 業 垤楷 瑤 楷 蝫 喤楷 瑤 業 憱涸 楷瑤業 : 憱涸 楷瑤業 4mil線寬AB面蝕刻狀況3.075.373.762.963.464.383.223.03 2.382.693.223.0900.511.522.533.544.555.56424345515355切片編號width數據標准width(mi
6、l) 上限+20%width(wil) 下限-20%width(mil) A面a位置width(mil) B面a位置width(mil)試驗 結果2mil 線距AB面蝕刻后數據2.462.652.842.303.302.462.761.732.233.652.673.463.763.22 2.960.883.722.382.692.572.722.693.003.491.772.0400.511.522.533.5412141522233133424345515355切片編 號spacing數據標准spacing(mil) 上限+20%spacing(mil) 下限-20%spacing(mi
7、l) A面spcaing(mil) B面spcaing(mil)2mil線距蝕刻后狀況2.840.882.303.302.462.693.463.763.222.762.672.9600.511.522.533.54424345515355切片編號spacing數據標准spacing(mil) 上限+20%spacing(mil) 下限-20%spacing(mil) A面spcaing(mil) B面spcaing(mil)3.5mil線寬蝕刻狀況2.792.611.771.842.464.222.722.6101234541445254切片編 號width數據標准width(mil)上限+
8、20%width(wil)下限-20%width(mil)A面a位置width(mil)B面a位置width(mil)2.5mil線距蝕刻狀況3.153.464.494.19 3.651.773.263.3800.511.522.533.544.5541445254切片編號spacing數據標准spacing(mil)上限+20%spacing(mil)下限-20%spacing(mil)A面spcaing(mil)B面spacing(mil)2.5mil線距蝕刻狀況3.153.464.494.19 3.651.773.263.3800.511.522.533.544.5541445254切片
9、編號spacing數據標准spacing(mil) 上限+20%spacing(mil) 下限-20%spacing(mil) A面spcaing(mil) B面spacing(mil)考察1從對金板蝕刻后蝕刻因子曲線圖來看width4mil/3.5mil 蝕刻因子是符合判定標准 C/D1,下 圖為金板蝕刻后圖片2鍍錫板曲線圖表顯示精密蝕刻藥水蝕刻對 width4mil3mil spacing2mil2.5mil 不能滿 足我司現時對蝕刻側蝕量接允收標准標准線寬線距的20%均有超標從而出現有蝕刻 不足蝕刻過度不良品質的出現產生原因分析設備的影響其一噴嘴是圓錐形噴洒形狀 成圓形不是扇形的其二噴嘴嚴重堵塞導致壓力分布不均下例圖為精密蝕刻藥水蝕刻后 不良品質圖3從生產工藝條件來看其工藝條件與我司現時工藝條件差不多結論初步試驗精密蝕刻液對我司底銅H/H OZ平板銅810um 的細密線路從對金板蝕刻因子是達標的但從其側蝕量看則是超標的因設備的影響精密蝕刻液可進行小批量試用跟進行動出采購單小批量訂購進行試用。(供應商送開缸量)備注
