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1、 SEBG-103B 电子枪说明书电子枪说明书 南京涉谷电子束技术有限公司南京涉谷电子束技术有限公司 2010 年年 6 月月 南京涉谷电子束技术有限公司 2操作手册和日常保养维护操作手册和日常保养维护 目录 目录 第一章 电子枪概述及性能指标 . 3 1-1.电子枪概述 . 3 1-2.电子枪的特征及性能指标。 . 3 1-3.电子枪的剖视图。 . 4 第二章 安全 . 7 2-1 高压 . 7 2-2 X 射线辐射 . 8 2-3 发射器的维护保养 . 8 第三章 电子枪的安装 . 9 3-1 电子枪的安装 . 9 3-2 电子枪的安装过程 . 10 第四章 电子枪的初次操作 . 11 4
2、-1 电子枪初次操作前的准备工作及灯丝退火 . 11 4-2 电子枪蒸发的操作 . 13 第五章 发射器的安装和保养 . 15 5-1 发射器的清洗、保养 . 15 5-2 发射器的安装 . 16 5-3 灯丝的安装 . 19 5-4 分流板的调换 . 21 5-5 灯丝引线的连接。 . 22 第六章 问题解答指南 . 23 第七章 电极和电子枪尺寸 . 27 7-1 扫描电极尺寸 . 27 7-2 高压电极尺寸 . 28 7-3 电子枪尺寸 . 28 7-4 电子枪及电极安装示意图 . 30 第八章 电子枪的日常保养维护 . 33 8-1 注意事项 . 33 8-2 电子枪的构造 . 34
3、8-3 电子枪的日常保养维护要领 . 34 敬请用户在仔细阅读本说明书后方可进行该电子枪的安装 和调试。 南京涉谷电子束技术有限公司 3第一章 电子枪概述及性能指标 第一章 电子枪概述及性能指标 1-1.电子枪概述 1-1.电子枪概述 SEBG-103B 型电子枪是开放式的 270枪，可以和任意穴位的坩埚配用；电子 束垂直轰击坩埚内的蒸发材料；加上电子束高频扫描，材料能均匀蒸发，这样就能 得到厚度均匀的镀膜。 1-1 SEBG-103A 型电子枪图 1-2.电子枪的特征及性能指标。 1-2.电子枪的特征及性能指标。 ? SEBG-103B 型电子枪的特征。 最大的 10KV 的直流加速电压，
4、把从灯丝逸出的电子束加速， 再通过永磁 场偏转 270，垂直打到蒸发材料上，把蒸发材料以圆心为中心均匀加 热。电子束由 X，Y 扫描线圈进行高速扫描。因此，电子束能把坩埚中的 材料均匀加热。这样可得到均匀的镀膜，因而得到良好的特征曲线。 电子束最大功率为 10KW，因此能很容易地把各种材料蒸发，例如：氧化 物，金属升华材料。 电子束是 270偏转，灯丝为内藏式，灯丝不易污染镀膜，也不易被污 染，故电子束电流非常稳定。 枪头主体由耐高温、导热性好的无氧铜制成。冷却水对永磁体的冷却效 果非常好，磁场强度稳定。因此电子束能长时稳定地轰击蒸发材料。 SEBG-103B 电子枪由发射器、扫描线圈、枪体和
5、永磁体组成，相互间结 构合理，维护保养方便。 南京涉谷电子束技术有限公司 4 发射器只要旋掉几个螺丝就很容易往上拿出来，便于拆卸和安装。 灯丝引脚安装在压块的凹槽内。 灯丝的最后位置高低由灯丝定位块确定。 下部的灯丝定位块能很容易地使灯丝上下调整。 灯丝采用螺旋型。 螺旋型灯丝能把灯丝的自身离子喷溅影响减小到最小。 当加速电压变化时，光斑形状、位置亦变化。应及时适当改变磁场强度， 增加分磁板厚度能减小磁场强度。分磁板用纯铁制成，吸力不是很强， 拆装方便。 ? SEBG-103B 型电子枪的性能指标。 ? 加速电压： -4kV -10kV ? 最大电流： 1A（此时的加速电压是-l0kV） ? 最大加速功率： 10kW ? 电子束偏转角： 270（永磁铁） ? 电子束位置调节范围： 20mm ? 电子束扫描范围： 20mm ? 电子束扫描频率： X=50Hz, Y=500Hz ? 工作真空度： 在 7X10-2Pa 以下 ? 冷却水： 5 8LMin 不含坩埚冷却水 （水 温在1525C， 压差不低于0.15MPa, 但 最大容许压力不高于 0
