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1、一填空题：（每题2分，共20分）1、 液压系统中单向阀的作用是 保证油液只能向一个方向流动。2、 蒸发台采用电子束蒸发，束斑扫描是通过改变扫描线圈 电流 来改变束斑的位置，从而保证蒸发源的质量。3、 蒸发台电子枪组装过程中，在没有安装灯丝前要用摇表测试（灯丝电极）对（阳极板）的绝缘性。4、 冷泵再生过程中如果发现冷泵外壁结冰或者结水，必须（重新再生） 。5、 MFC 的中文意思是气体质量流量计。6、 气体质量流量计的量程单位是 SCCM 和 SLPM。7、 真空系统是由(机械泵)和（冷泵）构成。8、 光强的单位是（mw/cm2 ） ，RPM代表（每分钟转数 ） 。9、 真空系统指低于该地区大气
2、压的稀薄气体状态;可分为粗真空,中真空,高真空。10、 100SCCM中文意思(100毫升)二单项和多项选择题：（每题 2 分，共 20 分）1 假设清洗间加热缸的加热丝电阻是 20 欧姆，220V 交流电源，请问该缸的加热功率是（ B ）A. 2KW B.2.42KW C.2.2KW D.4.4KW23/4in=( A )mmA19.05；B12.7；C24.2；D0.753 “SENDER CASSTTE?”为 SVG 匀胶机或者显影机在出现故障时的报警代码，请说出该代码的含义（ B ）A. 接片端没有装芯片的花篮； B. 送片端没有装芯片的花篮；C. 接片端有装芯片的花篮; D. 送片端
3、有装芯片的花篮4高真空测量规（ C ）ATC 热偶；BRG 规；C离子规；DPROFILE TC5.电动机主电路中装的熔断器是起（ C ）作用的。A. 过载保护 B.控制启动 C.短路保护 D. 控制断电6一台机械泵标示为 110V，50A，单相，其功率( A)A5.5KW；B22KW；C2.2KW；D0.75KW 7气动阀上面有 COM,NC,NO 字样，NC 代表什么含义?( B )A.公共端 B.常闭端 C.常开端 D.绝缘端8打开离子注入机门板之前必做的准备工作有哪些（A D）？A 关高压 B 关高真空 C 关闭整台设备电源 D 给门板放电。9下列哪种气体有毒( A D )A 三氟化鹏
4、（BF3）B 氢气（H2）C 氩气(Ar) D 氯气(CL2)10车间常用的控制电源有哪几种？(A C)A.110V B 208V C220V D380V 三判断题：（正确打，错误的打；每题 2 分，共 10 分）1匀胶机长时间不用时，应及时用酒精清理走胶管道，防止胶管被堵。 （）2射频电源反射功率是越大越好。 （） 3匀显轨道的排风应达到 50psi，并且对管道进行定期清理。 （ ） 4. 更换特气瓶后，对管路进行保压可采用负压和正压保压。 （ ） 5当一台甩干机的加热电流保险是 12A，可以用 15A 的保险更换。 （）四简答题1冷泵再生的操作步骤？（共 10 分，必须写出其关键步骤）答：
5、1 冷泵自然升温到 100K 左右；2 打开冷泵 PURGE 阀，对冷泵进行冷 PURGE 30 分钟；3 接上加热器，对冷泵进行热 PURGE 2 个小时；4 关闭加热器，对冷泵再冷 PURGE 30 分钟；5 关闭 PURGE 阀，打开冷泵粗抽阀门，粗抽冷泵至 3.0E-2 以下，时间大约半小时左右；（此时腔体状态必须为大气压状态，目的为检查高阀是否有漏）6 当 375 真空显示器面板上显示粗抽 TC 值为 2.0E-2 以下，表示冷泵已经抽干净，此时关闭粗抽阀，对冷泵进行保压测试，若 TC 值没有明显的上升（真空变差）表示保压正常；7 再打开粗抽阀粗抽冷泵 10 分钟，当 TC 值为 3
6、.0E-2 或 ON-BOARD 控制面板显示 0u（10mTorr）时，开启压缩机开始为冷泵降温；8 当冷泵温度达到 10K15K 之间时冷泵再生完成。2如何判断扩散炉使用中炉体的好坏？（10 分）关掉该需测量的炉体加热开关，把万用表档位调到欧姆档，并测量该炉体各点的加热丝，如其中有测量电阻大于 1k 欧姆或以上，则证明该点加热丝烧断。3简单叙述更换扩散炉体的操作步骤。 （10 分，需写出其中要点）1、对需更换炉体的设备 4 管炉子断电降温至常温；2、卸下该需要更换的炉体内的石英炉管；3、对该设备底下的变压器铺上塑料薄膜之类的遮挡物，防止拆卸炉体时有金属物体掉进变压器导致送电时变压器短路烧掉
7、；4、卸下炉体炉口的石棉不锈钢挡片、石棉、不锈钢挡块、石棉挡块；5、拆下炉体上的短热电偶及炉体固定件，并卸下炉体；6、检查炉体两个支撑支架高度不得超过 1 厘米（炉体倾斜度不得超过 5 度），如超过需校平；7、装上新炉体并按照以上拆卸反顺序安装好炉体；8、最后清理好现场卫生。分析题：（共 20 分，每题各 10 分） 1如下图所示气路图为 CANNON PLA-501 光刻机传送片手柄汽缸的气路控制 图，请分别说出在 A, B 位置时 MV6 和 MV7 的状态（有电还是无电）？SC1 和 SC2 的作用是什么？想要调节 AB 的速度快慢怎么调节？（10 分）a.在 A 位置时 MV1 和 MV2 都没有电，在 B 位置时 MV1 和 MV2 都没有电； b. SC1、SC2 是压力调节器，用来调节压力大小，控制气缸运动速度快慢的；c. 适当调大 SC1，调小 SC2 即可实现； 2甩干机按下 START 键之后不转可能由哪几个方面的原因引起的?（至少说出 五点） （10 分） 答： a. START 键坏； b. STOP 键坏；c. 门封限位开关；d. 电机坏；e. 控 制盒里电路坏。
