《钳工考题与答案》由会员分享,可在线阅读,更多相关《钳工考题与答案(3页珍藏版)》请在金锄头文库上搜索。
1、一填空题:(每题2分,共20分)1、 液压系统中单向阀的作用是 保证油液只能向一个方向流动。2、 蒸发台采用电子束蒸发,束斑扫描是通过改变扫描线圈 电流 来改变束斑的位置,从而保证蒸发源的质量。3、 蒸发台电子枪组装过程中,在没有安装灯丝前要用摇表测试(灯丝电极)对(阳极板)的绝缘性。4、 冷泵再生过程中如果发现冷泵外壁结冰或者结水,必须(重新再生) 。5、 MFC 的中文意思是气体质量流量计。6、 气体质量流量计的量程单位是 SCCM 和 SLPM。7、 真空系统是由(机械泵)和(冷泵)构成。8、 光强的单位是(mw/cm2 ) ,RPM代表(每分钟转数 ) 。9、 真空系统指低于该地区大气
2、压的稀薄气体状态;可分为粗真空,中真空,高真空。10、 100SCCM中文意思(100毫升)二单项和多项选择题:(每题 2 分,共 20 分)1 假设清洗间加热缸的加热丝电阻是 20 欧姆,220V 交流电源,请问该缸的加热功率是( B )A. 2KW B.2.42KW C.2.2KW D.4.4KW23/4in=( A )mmA19.05;B12.7;C24.2;D0.753 “SENDER CASSTTE?”为 SVG 匀胶机或者显影机在出现故障时的报警代码,请说出该代码的含义( B )A. 接片端没有装芯片的花篮; B. 送片端没有装芯片的花篮;C. 接片端有装芯片的花篮; D. 送片端
3、有装芯片的花篮4高真空测量规( C )ATC 热偶;BRG 规;C离子规;DPROFILE TC5.电动机主电路中装的熔断器是起( C )作用的。A. 过载保护 B.控制启动 C.短路保护 D. 控制断电6一台机械泵标示为 110V,50A,单相,其功率( A)A5.5KW;B22KW;C2.2KW;D0.75KW 7气动阀上面有 COM,NC,NO 字样,NC 代表什么含义?( B )A.公共端 B.常闭端 C.常开端 D.绝缘端8打开离子注入机门板之前必做的准备工作有哪些(A D)?A 关高压 B 关高真空 C 关闭整台设备电源 D 给门板放电。9下列哪种气体有毒( A D )A 三氟化鹏
4、(BF3)B 氢气(H2)C 氩气(Ar) D 氯气(CL2)10车间常用的控制电源有哪几种?(A C)A.110V B 208V C220V D380V 三判断题:(正确打,错误的打;每题 2 分,共 10 分)1匀胶机长时间不用时,应及时用酒精清理走胶管道,防止胶管被堵。 ()2射频电源反射功率是越大越好。 () 3匀显轨道的排风应达到 50psi,并且对管道进行定期清理。 ( ) 4. 更换特气瓶后,对管路进行保压可采用负压和正压保压。 ( ) 5当一台甩干机的加热电流保险是 12A,可以用 15A 的保险更换。 ()四简答题1冷泵再生的操作步骤?(共 10 分,必须写出其关键步骤)答:
5、1 冷泵自然升温到 100K 左右;2 打开冷泵 PURGE 阀,对冷泵进行冷 PURGE 30 分钟;3 接上加热器,对冷泵进行热 PURGE 2 个小时;4 关闭加热器,对冷泵再冷 PURGE 30 分钟;5 关闭 PURGE 阀,打开冷泵粗抽阀门,粗抽冷泵至 3.0E-2 以下,时间大约半小时左右;(此时腔体状态必须为大气压状态,目的为检查高阀是否有漏)6 当 375 真空显示器面板上显示粗抽 TC 值为 2.0E-2 以下,表示冷泵已经抽干净,此时关闭粗抽阀,对冷泵进行保压测试,若 TC 值没有明显的上升(真空变差)表示保压正常;7 再打开粗抽阀粗抽冷泵 10 分钟,当 TC 值为 3
6、.0E-2 或 ON-BOARD 控制面板显示 0u(10mTorr)时,开启压缩机开始为冷泵降温;8 当冷泵温度达到 10K15K 之间时冷泵再生完成。2如何判断扩散炉使用中炉体的好坏?(10 分)关掉该需测量的炉体加热开关,把万用表档位调到欧姆档,并测量该炉体各点的加热丝,如其中有测量电阻大于 1k 欧姆或以上,则证明该点加热丝烧断。3简单叙述更换扩散炉体的操作步骤。 (10 分,需写出其中要点)1、对需更换炉体的设备 4 管炉子断电降温至常温;2、卸下该需要更换的炉体内的石英炉管;3、对该设备底下的变压器铺上塑料薄膜之类的遮挡物,防止拆卸炉体时有金属物体掉进变压器导致送电时变压器短路烧掉
7、;4、卸下炉体炉口的石棉不锈钢挡片、石棉、不锈钢挡块、石棉挡块;5、拆下炉体上的短热电偶及炉体固定件,并卸下炉体;6、检查炉体两个支撑支架高度不得超过 1 厘米(炉体倾斜度不得超过 5 度),如超过需校平;7、装上新炉体并按照以上拆卸反顺序安装好炉体;8、最后清理好现场卫生。分析题:(共 20 分,每题各 10 分) 1如下图所示气路图为 CANNON PLA-501 光刻机传送片手柄汽缸的气路控制 图,请分别说出在 A, B 位置时 MV6 和 MV7 的状态(有电还是无电)?SC1 和 SC2 的作用是什么?想要调节 AB 的速度快慢怎么调节?(10 分)a.在 A 位置时 MV1 和 MV2 都没有电,在 B 位置时 MV1 和 MV2 都没有电; b. SC1、SC2 是压力调节器,用来调节压力大小,控制气缸运动速度快慢的;c. 适当调大 SC1,调小 SC2 即可实现; 2甩干机按下 START 键之后不转可能由哪几个方面的原因引起的?(至少说出 五点) (10 分) 答: a. START 键坏; b. STOP 键坏;c. 门封限位开关;d. 电机坏;e. 控 制盒里电路坏。