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1、RHEM ConfidentialCIRCUBONDTM 2200棕化工艺棕化工艺 问题解析指南问题解析指南罗门哈斯电子材料(东莞)有限公司 January . 2005RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南故障排除步骤故障排除步骤? 分析所有槽液各成分含量 ? DES中的退膜液 ? 检查下列条件是否变化流速温度液位铜箔类型H2O2浓度或 预浸液中铜含量层压板周期RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200
2、棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南综述综述?开缸：?开缸： 在开缸时，2218A、2218B中的成份将可能因DI水温度低而沉淀 出来，导致分析结果偏低。如果在此时补加药水，待温度升高 ，成份重新溶解出来就会造成实际浓度偏高。在开缸时，2218A、2218B中的成份将可能因DI水温度低而沉淀 出来，导致分析结果偏低。如果在此时补加药水，待温度升高 ，成份重新溶解出来就会造成实际浓度偏高。为了避免以上情况发生，请在配槽时第一步先加入浓H为了避免以上情况发生，请在配槽时第一步先加入浓H2 2SOSO4 4，再加 入2218A及2218B。，再加 入221
3、8A及2218B。请使用经过处理或浸泡清洗的过滤芯，以免将过滤芯中的粘合剂请使用经过处理或浸泡清洗的过滤芯，以免将过滤芯中的粘合剂 和润滑剂带入槽液。未经过处理的过滤芯可能带来大量的泡沫和和润滑剂带入槽液。未经过处理的过滤芯可能带来大量的泡沫和 发亮的棕化涂层。发亮的棕化涂层。RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南?CL?CLCL的存在可能污染整个棕化槽。如果CL的存在可能污染整个棕化槽。如果CL超标，整槽药超标，整槽药水必须废弃重开。任何可能带入水必须废弃
4、重开。任何可能带入CL的来源在开缸前必的来源在开缸前必须被清除须被清除RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南CL的来源有以下途径的来源有以下途径自来水。自来水。不要使用自来水配槽。 处理不良的处理不良的DI水。水。当离子变换系统使用HCL做为再生剂时需要特别留意再生 后的清洗过程，必须保证HCL被彻底清洗。罗门哈斯建议使用 H2SO4做为再生试剂取代盐酸。低质量的低质量的H2O2。建议H2O2中CL含量应小于10ppm。RHEM ConfidentialCI
5、RCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南CL的来源有以下途径：的来源有以下途径： 酸性蚀刻线酸性蚀刻线不良的水洗效果可能导致CuCL2被带入棕化线。 抽风系统的冷凝水抽风系统的冷凝水抽气系统的冷凝水会凝聚所有的离子。尤其当几种不同的 设备的抽风系统连在一起时更需留意。不要将棕化线与酸性 蚀刻线的抽风系统连在一起。加强抽风，抽风管加排水管均有助于改善此问题。RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺
6、问题解析指南棕化工艺问题解析指南 不上棕化（整板）不上棕化（整板）板面残留有CL检查蚀刻后的水洗，保证水洗干净H2O2浓度太低分析并调整140浓度太低分析并调整没加H2SO4分析并调整没加2218A分析并调整褪膜不净检查褪膜流程并返褪膜抽风冷凝水污染预浸前压 水辘检查抽风系统，清洗压水辘RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南金色涂层金色涂层没有或2218B浓低分析并调整2218A浓太高分析并调整没有或2218B浓低分析并调整2218A浓太高分析并调整RHEM
7、 ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南亮棕色涂层亮棕色涂层同的板类型这是正常情况，依赖于铜萡供应商微蚀偏低检查生产线速、棕化槽湿、H同的板类型这是正常情况，依赖于铜萡供应商微蚀偏低检查生产线速、棕化槽湿、H2 2O O2 2 浓，并调整到正常范围。H浓，并调整到正常范围。H2 2O O2 2浓偏低分析并调整2218A浓偏低分析并调整2218B浓偏低分析并调整浓偏低分析并调整2218A浓偏低分析并调整2218B浓偏低分析并调整RHEM ConfidentialCIRC
8、UBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南 亮棕色涂层亮棕色涂层棕化槽CL棕化槽CL偏高弃置重开药水，并检查DI水、H偏高弃置重开药水，并检查DI水、H2 2O O2 2、 H、 H2 2SOSO4 4，前面水洗段的CL，前面水洗段的CL含。过滤芯未做处保证过滤芯在处后再做使用水平线上水刀太过湍急调小，保证大而均匀垂直线的空气搅拌太小检查并调整140温低或浓低检查并调整140后水洗预浸（2217）浓度低检查并调整分析并调整含。过滤芯未做处保证过滤芯在处后再做使用水平线上水刀太过湍急调小，保证大而均匀垂直
9、线的空气搅拌太小检查并调整140温低或浓低检查并调整140后水洗预浸（2217）浓度低检查并调整分析并调整RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南 红色涂层红色涂层H2SO4浓度低分析并调整浓度低分析并调整2218B浓度太高烘干不良分析并调整检查并调整烘干系统浓度太高烘干不良分析并调整检查并调整烘干系统RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化
10、工艺问题解析指南局部局部不上棕化不上棕化干膜（湿膜）残胶检查蚀刻后水洗，保证水洗充分 。检查褪膜段参数，必要时返褪 膜。干膜（湿膜）残胶检查蚀刻后水洗，保证水洗充分 。检查褪膜段参数，必要时返褪 膜。140浓度低或失效弃置重开除油缸浓度低或失效弃置重开除油缸RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南 星点露铜星点露铜 覆铜板表面残留铬酸盐检查前处理，确认覆铜板品质内层板未经前处理检查前处理参数微蚀量过低检查生产线速度，棕化温度，H2O2 浓度并调整至正常范围预浸
11、浓度低分析并调整干膜（湿膜）残胶检查褪膜参数，必要时返褪膜滚轮脏检查并清洁预浸浓度过高分析并调整RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南微蚀量过高（低）微蚀量过高（低）速太慢（快）检查并调整棕化槽温高（低）检查并调整H速太慢（快）检查并调整棕化槽温高（低）检查并调整H2 2O O2 2浓高（低）分析并调整垂直线中棕化槽打气太大（小）检查并调整2218B浓低（高）分析并调整2218A浓低（高）分析并调整浓高（低）分析并调整垂直线中棕化槽打气太大（小）检查并调整2
12、218B浓低（高）分析并调整2218A浓低（高）分析并调整RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南微蚀量过低使用未经处理的棉芯也可能导致微蚀 量偏低.RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化颜色不均匀棕化颜色不均匀水平线中水刀流量太大调小水刀压力，保证流量大而均匀垂直线中棕化打气小检查并调整水平线中水刀流量太大调小水刀压力
13、，保证流量大而均匀垂直线中棕化打气小检查并调整水刀（喷）堵塞检查并清洁传送系统设计不良保证传送轮交错排列，且不会阻 碍药水流动水刀（喷）堵塞检查并清洁传送系统设计不良保证传送轮交错排列，且不会阻 碍药水流动RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化颜色不均匀棕化颜色不均匀2218A浓低分析并调整2218B浓低分析并调整预浸浓太高分析并调整2218A浓低分析并调整2218B浓低分析并调整预浸浓太高分析并调整H2O2浓度低浓度低分析并调整分析并调整板面残胶板面残
14、胶检查褪膜参数及放置时间， 必要时返褪膜检查褪膜参数及放置时间， 必要时返褪膜RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南140和2217之间水洗检查并调整最后水洗段污染检查水洗，必要时换140和2217之间水洗检查并调整最后水洗段污染检查水洗，必要时换药水遇顶盖凝滴于板面检查并清洁烘干充分检查并清洁药水遇顶盖凝滴于板面检查并清洁烘干充分检查并清洁棕化颜色不均匀棕化颜色不均匀做厚板时做厚板时Cu2+太低保持太低保持Cu2+5g/l(可加硫酸铜）可加硫酸铜）RHEM
15、 ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南 轮印轮印输送轮缺失或被换检查并清洁输送轮位置设计合保证输送轮交错排并且会阻 碍药水动输送轮缺失或被换检查并清洁输送轮位置设计合保证输送轮交错排并且会阻 碍药水动滚轮脏检查并清洁前工序带来轮印检查前工序H滚轮脏检查并清洁前工序带来轮印检查前工序H2 2O O2 2浓低分析并调整水平线棕化段太 小加大浓低分析并调整水平线棕化段太 小加大RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200
16、棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南 棕化不良棕化槽CL棕化槽CL浓太高弃置重开棕化槽。检查所有CL浓太高弃置重开棕化槽。检查所有CL来 源，保证所有化学品及DI水品质来 源，保证所有化学品及DI水品质棕化槽水混乱检查棕化段水刀，调节压及 棕化槽水混乱检查棕化段水刀，调节压及 2218A和和2218B超标分析并调整超标分析并调整RHEM ConfidentialCIRCUBONDCIRCUBONDTMTM 22002200棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南棕化工艺问题解析指南拉力偏低拉力偏低微蚀太小（ 0.75m）检查线速、棕化温、H微蚀太小（ 0.75m）检查线速、棕化温、H2 2O O2 2浓 、和打气大小并调整。并 检查CL浓
