《IC 工艺名词解释》由会员分享，可在线阅读，更多相关《IC 工艺名词解释（23页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、北京京华特科技有限公司北京京华特科技有限公司-专业元器件供应商 专业 诚信 合作共赢！010-5719455313911315253IC 工艺名词解释(1)Accounting 影响工厂成本的主要因素有哪些？ 答： Direct Material 直接材料,例如:蕊片 Indirect Material间接材料,例如气体 Labor人力 Fixed Manufacturing 机器折旧,维修,研究费用等 Production Support 其它相关单位所花费的费用 在 FAB 内，间接物料指哪些？ 答：Gas 气体 Chemical 酸,碱化学液 PHOTO Chemical 光阻,显影液
2、Slurry 研磨液 Target 靶 材 Quartz 石英材料 Pad 防静电；便于 HOOK-UP。 离子发射系统作用 答：离子发射系统，防止静电 SMIC 洁净等级区域划分 答：Mask Shop class 1 如真空吸笔、 光阻液涂布、 吸芯片用真空源等。该系统提供一定的真空压力(真空度大于 80 kpa)和流量，每天 24 小时运行 什幺是 MAU(Make UpAir Unit),新风空调机组作用 答：提供洁净室所需之新风，对新风湿度，温度，及洁净度进行控制，维持洁净室正压和湿度 要求。 House Vacuum System 作用 答：HV(House Vacuum)系统提供
3、洁净室制程区及回风区清洁吸取微尘粒子之真空源，其真空度 较低。使用方法为利用软管连接事先已安装在高架地板下或柱子内的真空吸孔，打开运转电源。 此系统之运用可减低清洁时的污染。 Filter Fan Unit System(FFU)作用 答：FFU 系统保证洁净室内一定的风速和洁净度，由 Fan 和 Filter(ULPA)组成。 什幺是 Clean Room 洁净室系统 答：洁净室系统供应给制程及机台设备所需之洁净度、温度、湿度、正压、气流条件等环境要 求。北京京华特科技有限公司北京京华特科技有限公司-专业元器件供应商 专业 诚信 合作共赢！010-5719455313911315253Cle
4、an room spec:标准 答：Temperature 23 C 1C(Photo:23 C 0.5C)Humidity 45% 5%(Photo:45% 3% )Class 100Overpressure +15paAir velocity 0.4m/s 0.08m/s Fab 内的 safety shower 的日常维护及使用监督由谁来负责 答：Fab 内的 Area Owner（若出现无水或大量漏水等可请厂务水课（19105）协助） 工程师在正常跑货用纯水做 rinse 或做机台维护时，要注意不能有酸或有机溶剂（如 IPA 等） 进 入纯水回收系统中，这是因为： 答：酸会导致 con
5、ductivity(导电率)升高，有机溶剂会导致 TOC 升高。两者均会影响并降低纯水 回收率。 若在 Fab 内发现地面有水滴或残留水等，应如何处理或通报 答：先检查是否为机台漏水或做 PM 所致，若为厂务系统则通知厂务中控室（12222） 机台若因做 PM 或其它异常，而要大量排放废溶剂或废酸等应首先如何通报 答：通知厂务主系统水课的值班（19105） 废水排放管路中酸碱废水/浓硫酸/废溶剂等使用何种材质的管路? 答：酸碱废水/高密度聚乙烯(HDPE)浓硫酸/钢管内衬铁福龙(CS-PTFE)废溶剂/不琇钢管(SUS) 若机台内的 drain 管有接错或排放成分分类有误，将会导致后端的主系统
6、出现什幺问题? 答：将会导致后端处理的主系统相关指标处理不合格，从而可能导致公司排放口超标排放的事 故。 公司做水回收的意义如何? 答：(1) 节约用水，降低成本。重在环保。 (2) 符合 ISO 可持续发展的精神和公司环境保护暨 安全卫生政策。 何种气体归类为特气(Specialty Gas)? 答：SiH2Cl2 何种气体由 VMB Stick 点供到机台? 答：H2 何种气体有自燃性? 答：SiH4 何种气体具有腐蚀性? 答：ClF3 当机台用到何种气体时，须安装气体侦测器? 答：PH3 名词解释 GC, VMB, VMP 答：GC- Gas Cabinet 气瓶柜 VMB- Valve
7、 Manifold Box 阀箱，适用于危险性气体。VMP- Valve Manifold Panel 阀件盘面，适用于惰性气体。 标准大气环境中氧气浓度为多少？工作环静氧气浓度低于多少时人体会感觉不适？ 答：21%19% 什幺是气体的 LEL? H2 的 LEL 为多少？ 答：LEL- Low Explosive Level 气体爆炸下限 H2 LEL- 4%. 当 FAB 内气体发生泄漏二级警报（既 Leak HiHi） ，气体警报灯（LAU）会如何动作？FAB 内工 作人员应如何应变？ 答：LAU 红、黄灯闪烁、蜂鸣器叫听从 ERC 广播命令，立刻疏散。 化学供应系统中的化学物质特性为何
8、? 答：(1)Acid/Caustic 酸性/腐蚀性(2) Solvent 有机溶剂(3) Slurry 研磨液 有机溶剂柜的安用保护装置为何? 答：(1) Gas/Temp. detector;气体/温度侦测器(2) CO2 extinguisher;二氧化碳灭火器 中芯有那几类研磨液(slurry)系统? 答：(1) Oxide (SiO2) (2) Tungsten (W)鵭北京京华特科技有限公司北京京华特科技有限公司-专业元器件供应商 专业 诚信 合作共赢！010-5719455313911315253设备机台总电源是几伏特? 答：208V OR 380V 欲从事生产/测试/维护时,如
9、无法就近取得电源供给,可以无限制使用延长线吗? 答：不可以 如何选用电器器材? 答：使用电器器材需采用通过认证之正规品牌 机台开关可以任意分/合吗? 答：未经确认不可随意分/合任何机台开关,以免造成生产损失及人员伤害. 欲从事生产/测试/维护时,如无法就近取得电源供给,也不能无限制使用延长线,对吗? 答：对 假设断路器启断容量为16安培导线线径2.5mm2,电源供应电压单相220伏特,若使用单相5000W 电器设备会产生何种情况? 答：断路器跳闸 当供电局供电中断时,人员仍可安心待在 FAB 中吗? 答：当供电局供电中断时,本厂因有紧急发电机设备,配合各相关监视系统,仍然能保持 FAB 之 S
10、afety,所以人员仍可安心待在 FAB 中.MFG 什幺是 WPH? 答：WPH(wafer per hour) 机台每小时之芯片产出量 如何衡量 WPH ? 答：WPH 值愈大,表示其机台每小时之芯片产出量高,速度快 什幺是 Move? 答：芯片的制程步骤移动数量. 什幺是 Stage Move? 答：一片芯片完成一个 Stage 之制程,称为一个 Stage Move 什幺是 Step Move? 答：一片芯片完成一个 Step 之制程, 称为一个 Step Move. Stage 和 step 的关系? 答：同一制程目的的 step 合起来称为一个 stage; 例如炉管制程长 oxi
11、de 的 stage, 通常要经过清 洗,进炉管,出炉管量测厚度 3 道 step AMHS 名词解释? 答：Automation Material Handling System; 生产线大部份的 lot 是透过此种自动传输系统来运送 SMIF 名词解释? 答： Standard Mechanic InterFace (确保芯片在操作过程中; 不会曝露在无尘室的大环境中;所需的 界面) 所需使用的器具有 FOUP/Loadport/Mini-environment 等; 为什幺 SMIF 可以节省厂务的成本? 答：只需将这些 wafer run 货过程中会停留的小区域控制在 class 1
12、下即可,而其它大环境洁净度 只要维持在 class 100 或较低的等级);在此种界面下可简称为“包货包机台不包人“;对于维持洁净 度的成本是较低的;操作人员穿的无尘衣可以较高透气性为优先考量,舒适性较佳 为什幺 SMIF 可以提高产品的良率? 答：因为无尘室中的微尘不易进入 wafer 的制程环境中 Non-SMIF 名词解释 答：non-Standard mechanic InterFace;芯片在操作的过程中会裸露在无尘室的大环境中,所以整个 无尘室洁净度要维持在 class1 的等级;所以厂务的成本较高且操作人员的无尘衣要以过滤性为优 先考量,因此是较不舒适的 SMIF FOUP 名词
13、解释?北京京华特科技有限公司北京京华特科技有限公司-专业元器件供应商 专业 诚信 合作共赢！010-5719455313911315253答：符合 SMIF 标准之 WAFER container,Front Opening Unit FOUP MES 名词解释? 答： Manfaucture Execution System; 即制造执行系统; 该系统掌握生产有关的信息,简述几项重点 如下(1) 每一类产品的生产 step 内容/规格/限制(2) 生产线上所有机台的可使用状况;如可 run 那 些程序,实时的机台状态(可用/不可用)(3) 每一产品批的基本资料与制造过程中的所有数据(在 那些
14、机台上 run 过/量测结果值/各 step 的时间点/谁处理过/过程有否工程问题批注等(4) 每一 产品批现在与未来要执行的 step 等资料 EAP 名词解释? 答：(1) Equpiment Automation Program;机台自动化程序;(2) 一旦机台有了 EAP,此系统即会依据 LOT ID 来和 MES 与机台做沟通反馈及检查, 完成机台进货生产与出货的动作;另外大部份量测 机台亦可做到自动收集量测资料与反馈至后端计算机的自动化作业 EAP 的好处 答：(1) 减少人为误操作 (2) 改善生产作业的生产力 (3) 改善产品的良率 为什幺 EAP 可以减少人为操作的错误 答：
15、(1) 避免机台 RUN 错货 (2) 避免 RUN 错机台程序 为什幺 EAP 可以改善机台的生产力? 答：(1) 機台可以自動 Download 程式不需人為操作 (2) 系統可以自動出入帳,減少人為作帳錯 誤 (3) 系統可以自動收集資料減少人為輸入錯誤 为什幺 EAP 可以改善产品的良率? 答： (1) 在Phot/etch/CMP区中,可自动微调制程参数 (2) 当机台alarm时,可以自动hold 住货 (3) 当 lot 内片数与 MES 系统内的片数帐不符合时,可自动 hold 住货 GUI 名词解释? 答：Graphical User Interface of MES;将 M
16、ES 中各项功能以图形界面的呈现方式使得 user 可以方 便执行 EUI 名词解释?功能是什麼? 答：EAP User Interface; 机台自动化程序的使用者界面,透過 EUI 可以看到機台目前的狀態及貨 在機台內的情形 SORTER 分片机的功能? 答：可对晶舟内的 wafer(1) 进行读刻号(2) 可将 wafer 的定位点(notch/flat)调整到晶舟槽位(slot) 的指定方位(3) 依 wafer 号码重新排列在晶舟内相对应的槽位号码上(4) 执行不同晶舟内 wafer 的合并(5) 将晶舟内的 wafer 分批至多个晶舟内 OHS 名词解释? 答：Over Head Shuttle ofAMHS (在 A
