ntc_pv600

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1、 目录目录 序序 1 半导体硅简介半导体硅简介 2 半导体物理特性简介半导体物理特性简介 3 数控多线切割机浅谈数控多线切割机浅谈 4 太阳能电池产业现状太阳能电池产业现状 5 我国硅片供应商龙虎榜我国硅片供应商龙虎榜 6 切片的原理及过程切片的原理及过程 7 太阳能硅片切割技术七大手法太阳能硅片切割技术七大手法 8 常见主辊的图形8 常见主辊的图形 9 线网断线分析方法线网断线分析方法 10 料浆工艺料浆工艺 11 光复行业基础知识光复行业基础知识 12 硅片切割常见问题硅片切割常见问题 12-1 硅片厚薄不均预防措施 12-2 粘接面毛边 12-3 小崩边产生原因 12-4 怎么防止小崩边

2、 12-5 翘曲 12-6 硅片产生线痕的原因 王懿成自强不息-厚德载物w y c c r a z y 163.c o m第 1 页,共 5 页审批 2 0 0 8 . 10 . 17 LD K12-7 硅落 12-8 粘胶面崩边 12-9 掉片 12-10 断线善后处理 12-11 花斑 12-12 王懿成自强不息-厚德载物w y c c r a z y 163.c o m第 2 页,共 5 页. 12-6 硅片产生线痕的原因分析 1. 现象: 硅片表面出现单一的一条阴刻线(凹槽) 、一条阳刻线(凸出) 。 原因分析: 不是由于碳化硅微粉的大颗粒造成的,单晶硅、多晶硅在拉 制过程中出现的硬质

3、点造成跳线,而形成的线痕。 (硅原料) 2. 现象: 硅片表面集中在同一位置的线痕,很乱且不规则。 原因分析:机械原因、导轮心震过大、多晶硅铸锭的大块硬质晶 体。 3. 现象:硅片切割第一刀出现线痕,硅片表面很多并不太清晰。 原因分析:沙浆粘度不够、碳化硅微粉粘浮钢线少、切削能力不够, 碳化硅微粉有大颗粒物,钢线圆度不够、带沙量降低,钢线的张力太 小产生的位移划错,钢线的张力太大、线弓太小料浆带不过去,打沙浆 的量不够,线速过高、带沙浆能力降低,沙、液比例不合适,热应力 线膨胀系数太大, 各参数适配性差。 (工艺不够更成熟) 4. 现象:切割中集中在某一段的废片,是由于跳线引起的。 跳线的原因

4、分析:导轮使用时间太长、严重磨损引起的跳线(导轮使 用次数一般为 75-85 次) ,沙浆的杂质进入线槽引起的跳线。 5. 现象:常见阴刻线线痕。 分析:由于晶棒本身有生成气孔,切割硅片后可见像硅表面一样亮的阴刻 线,并不是线痕。 6. 常见线痕:进刀口:由于刚开始切割,钢线处在不稳定状态,钢线的波 动产生的线痕(进线点质硬,加垫层可消除线摆) ;倒角处的线痕:由于在粘 结硅棒时底部残留有胶,到倒角处钢线带胶切割引起的线痕,硅棒后面的线 痕:钢线磨损、造成光洁度、圆度都不够,带沙量低、切削能力下降、线膨胀 系数增大引起的线痕 王懿成自强不息-厚德载物w y c c r a z y 163.c o m第 3 页,共 5 页王懿成自强不息-厚德载物w y c c r a z y 163.c o m第 4 页,共 5 页1 2 王懿成自强不息-厚德载物w y c c r a z y 163.c o m第 5 页,共 5 页检测2 0 0 8 . 10 . 17LD K

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