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1、基于误差分离技术的精密回转及直线运动部件精度测量基于误差分离技术的精密回转及直线运动部件精度测量【摘要】 机械行业是经济发展的基础行业,为其他行业和部门提供基础装备。机械行业的装备及技术水平,直接影响其他各个行业的技术发展。精密超精密加工是机械行业中的重要组成部分,它的发展影响国家高端技术和国防工业的发展。主轴是保证加工精度的重要部件,主轴回转误差是一项综合性的误差,是影响精密车削、精密磨削加工精度的主要因素。对于主轴回转精度的测量,在测量精度较低时主要采用直接测量法。随着精度的提高,逐渐变为采用误差分离技术的扫描测头的方法。本文首先介绍了误差分离技术的原理,常用回转误差的测量方法和基于误差分
2、离技术的方法。基于误差分离技术的方法中,常用的是三点法,能够将主轴回转误差和被测件的圆度误差完全分离。根据实际情况,采用不对称三步法对主轴进行回转误差测量。为验证算法的精度,文中对该算法进行了仿真,发现与三点法的效果一致。文中还讨论了测量系统中系统装置与安装造成的误差、传感器误差和测量环境的误差。导轨是机床的重要部件,是确定主要部件相对位置变化的运动基准。导轨的各种误差均会对被加工工件造成直接影响,降低加工精度。检测机床导轨的直线度,然后对其进行误差补偿是辅助提高精度的一种重要手段。本文介绍了直线度测. 更多还原【Abstract】 Machinery industry is the basi
3、s industry for economic development, can provide other industries and departments with basic equipments. The levels of equipment and technical provided by machinery industry, directly affect technical development of all other industries. Precision and ultra-precision processing plays important roles
4、 in the mechanical industry, its development affects development of national high-end technology and defense industry.Spindle is one of the important components that can . 更多还原 【关键词】 回转误差； 直线度误差； 误差分离技术； 周期延拓； 调零误差； 【Key words】 rotating error； straightness error； error separation technique； cycle co
5、ntinuation； zero-adjusting error； 摘要 4-5 Abstract 5 第 1 章 绪论 8-13 1.1 课题研究背景 8-9 1.2 精密轴系回转精度测试概况 9-11 1.2.1 主轴回转误差运动的定义 9-10 1.2.2 主轴回转误差测量中的误差分离技术 10 1.2.3 主轴回转误差测量技术的国内外发展现状 10-11 1.3 精密机床导轨直线度概况 11-12 1.4 本文研究内容 12-13 第 2 章 主轴回转误差及导轨直线度测量方法研究 13-26 2.1 回转误差测量的直接测量法 13-15 2.1.1 打表测量法 13 2.1.2 单向测
6、量法 13-14 2.1.3 双向测量法 14-15 2.1.4 光电检测回转误差直接测量法 15 2.2 基于误差分离技术的回转误差测量方法 15-19 2.2.1 反向法 15-16 2.2.2 多步法 16-18 2.2.3 多点法 18-19 2.3 直线度误差的直接测量法 19-21 2.3.1 三坐标测量法 19-20 2.3.2 自准直仪测量法 20-21 2.3.3 激光干涉仪测量法 21 2.4 基于误差分离技术的直线度测量方法 21-25 2.4.1 单点法 21-22 2.4.2 两点法 22-24 2.4.3 三点法 24-25 2.5 本章小结 25-26 第 3 章
7、 主轴回转误差算法仿真与实验测量 26-39 3.1 测量系统设计 26-28 3.1.1 传感器的选择 26-27 3.1.2 数据采集卡 27-28 3.2 多步法及其仿真 28-34 3.2.1 不对称三步法测量原理及其数据处理 28-30 3.2.2 不对称三步法仿真 30-34 3.3 实验测量 34 3.4 数据采集及处理 34-37 3.5 测量系统误差分析 37-38 3.5.1 系统装置及安装误差 37-38 3.5.2 传感器误差分析 38 3.5.3 测量环境的误差 38 3.6 本章小结 38-39 第 4 章 导轨直线度误差测量与仿真 39-52 4.1 测量系统总体
8、设计 39 4.2 测量中的关键问题 39-41 4.2.1 周期轮廓的测量 39-40 4.2.2 非周期轮廓的测量 40 4.2.3 周期延拓 40-41 4.3 测量原理及其仿真 41-46 4.3.1 测量原理 41-43 4.3.2 平移法仿真 43-46 4.4 参数选择原则 46-47 4.5 误差分析 47-49 4.5.1 调零误差 47 4.5.2 偏移法中的偏角误差影响 47-49 4.5.3 传感器漂移特性造成的误差 49 4.5.4 频域法中的权函数的误差放大作用 49 4.6 实验数据测量与处理 49-51 4.7 本章小结 51-52 结论 52-53 参考文献【索购全文索购全文】Q 联系 Q：138113721 1030850491 全文提供服务费：25 元 RMB 即付即发支付宝账号：【说明说明】1、本站为中国学术文献总库合作代理商，作者如对著作权益有异议请与总库或学校联系；2、为方便读者学习和引用，我们可将图片格式成 WORD 文档，费用加倍。
