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1、NE950/550EXz 开关机顺序开关机顺序关机顺序关机顺序1. CIR21 设定在 20,等待实际温度到达 20。2. cleaning 程序运行。Flush 程序运行。3. E 室,L/UL 室,C 室保持真空状态。4. 易燃易爆气体管道排气。 (如果没有此类气体可以省略此步)5. CL2,BCL3 管道排气。 (CL2 是危险气体,管道必须排气,排气范围是钢瓶的开闭阀门到装置的末端。BCL3 是易液化的气体,管道必须排气,排气范围是钢瓶的开闭阀门到装置的末端。) 6.触摸屏 SHUT DOWN “START”按钮按下,等待自动关机。 “APC 关闭TMP 停止转速降到 0DRP21 干
2、泵停止” 。 7. 触摸屏 L/UL SHUT DOWN “START”按钮按下,DRP01 自动关闭8. GPCS 系统关闭,SECURITYSYETEM END9.电脑关闭。双击触摸屏的“SHUT DOWN”图标,再按确认钮。10.UPS 关闭11.SYETEM OFF 按钮按下。 12. 电源关闭(装置后部设备开关,变压器及贵司施设总闸)13.冷却水关闭。14.压空关闭。 15.N2,工艺气体阀门关闭。 以上开机顺序开机顺序 1.压空打开。确认无漏压空。2. 冷却水打开,先开回水,再开进水,确认无漏水。3.电源打开。(设施总闸,变压器,装置后部开关)。确认无漏电,无跳闸。 4.SYSTE
3、M ON 按钮按下。5.UPS 开关按下,电脑电源按钮按下。6.GPCS 登录。 7.触摸屏 Etching Chamber 项:Pump Down“START”按钮按下,E 室排气系统(DRP21,TMP)自动启动,E 室抽真空。8. 触摸屏 L/UL Chamber 项:Pump Down“START”按钮按下,L/UL 室排气系统(DRP01)自动启动,L/UL 室抽真空。9.E 室加热排气。管道(pipe heater)及前阀 V22 加热器打开,shield set 200,chamber set 50,加热排气大约 6 小时。再降到室温。10.BUILD UP 确认11.搬送动作确认. 12.气体压力确认.工艺气体,N2,压空等压力,确认在范围内。13.管道排气。 (如果更换钢瓶的话,要注意管道排气) 14.CLEANING 程序运行。 15. condition 程序运行.16.蚀刻确认。