减铜线作业指导书

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1、作业指导书 减铜线本文件权属梅州博敏电子有限公司，未经许可，不得复印或转载。1.0 目的为宇宙减铜线生产操作、保养提供工艺指示，使之能按指示执行，确保产品质量。2.0 适用范围适用于宇宙减铜线操作之员工。3.0 职责和权限3.1 生产部：负责按作业指导书进行日 常 生产和设备保养，工段主管领班负责监督执行。3.2 工艺部：负责编写、修订作业指导书，控制、调整工艺参数，分析监控生产线药水，指导生产并解决工艺问题。3.3 品质部：负责对物料、产品质量的监控及板件物理性能的测试，稽查日常生产、保养情况。3.4 设备部：负责设备维修，定期对设备进行维护保养，指导生产部日 常 设备保养。3.5 物控部：

2、负责提供合格的物料。4.0 作业流程 开启总电源开关进入画面管理选择自动按钮/手动按钮按启动电钮调整（或设置）合适参数放首件检板量产完成关机5.0 作业参数参照减铜线生产作业 PCS 标示总表6.0 作业内容6.1 设备操作6.1.1开机：开启电源总开关（扳到ON 位置） ，触摸屏上显示相应的开机画面在开机画面面中，按按此键进入工作画面面选择自动/手动两种模式主画面设置。6.1.2 画面管理：进入画面管理后，作业员主要接触为主画面、运行参数、报警管理。主画面内容为各槽段的开启关闭管理，白色底表示未开启，闪烁表示开启过程作业指导书 减铜线本文件权属梅州博敏电子有限公司，未经许可，不得复印或转载。

3、中，蓝色底表示已开启；运行参数为产量累积数量，电眼感应，无板停机时间设定，门挚保护功能设置；报警管理为当机台发生警报时，会自动在该画面显示异常状况，方便维护。6.1.3 手动模式/自动模式：进入工作画面后，有自动、手动选项，无论在哪种启动方式，当系统启动后均可以对主画面的按钮进行开启或关闭，区别在于自动画面机台帮你打开所有槽段功能选项，手动为自己打开需要的选项，两种工作模式的切换须先按电箱面板上的停止按钮。6.1.4 水压/流量调整：根据实际生产需要将各段水洗、药洗喷淋压力或流量调整至要求范围，水压在机台运行时需达到工艺提供参数要求，如未达到可拧动调节阀以使压力到达要求，流量计可以拧动旁边调节

4、阀改变流量大小，读数以最大横截面积对应刻度为准。作业指导书 减铜线本文件权属梅州博敏电子有限公司，未经许可，不得复印或转载。6.1.5 温控器设定：设定各电热段温控器工作温度参数值，参数值需按工艺提供参数设 定。6.1.6 自动添加：自动添加为工艺部设定按面积/块数添加药水（画面管理/添加设置里面设定块数/面积数） ，计量盒里注入对应数量添加的药液，当电子眼感应到过了设定数量的板后，计量盒里的药液会全部排入槽体，作业员如发现做了对应数量的板自动添加装置未添加药水，或计量盒上药水刻度与工艺提供参数不符合时，需及时向工艺、设备部门反映。6.1.7 关机：确认线内无板时，按下电箱面板上停止按钮电源总

5、开关扳到OFF位置。6.2 生产操作6.2.1 开机前/做板前注意事项1）各喷淋段附缸液位或容量足够，各缸内无异物，各段滤网已清洁干净。2）各液位控制开关处于正常工作位置，无倒置，各过滤器盖已锁紧。3）各管路连接牢固可靠，无松脱破损，机器无渗漏。4）各行轮、压轮、喷管、水刀、压力表、流量计安置完好，无错乱，无缺损。5）确认传送顺畅，无行轮跳动。6）确认各玻璃是否完好，并盖住机器。7）保持作业区域整洁，避免意外事故发生。8）检查各压力是否在范围内。9）确认温控器能否正常工作。6.2.2 做板1）在画面管理中，按自动按钮，会弹出如下启动画面作业指导书 减铜线本文件权属梅州博敏电子有限公司，未经许可

6、，不得复印或转载。2）按启动，画面消失，再按画面管理上的起动键，全线各段液泵开始分段延时起动，同时主画面各槽段按钮框开始由白色闪烁变蓝，提示已经启动完毕；如手动模式做板则需要在主界面手动按各槽段按钮开启，完成后同样以蓝色底提示启动完毕。注：有时做板不用把所有槽段液泵都开启时，可以用手动模式。在画面管理，选按手动按钮在机台面板上按绿色起动键在画面管理中，按主画面进入，对需要开启的槽段液泵按选开启，变蓝后提示启动完毕。3）调整好线速，放两片板，板件出来后检查品质，确认无异常后进行量产。6.2.3 生产注意事项1）放板人员要注意板面是否存在胶渍等异物，避免带入机内；如发现板面有沾胶情况必须先用酒精擦

7、洗干净后才能重新磨板。2）送板入机，放板间距需大于 2cm，按左中右交叉放板。3）作业时需注意自动添加是否在加药，待送棕化板子每片均需量测铜厚，铜厚保证在MI 要求范围内。6.2.4 记录1）参数检查记录在减铜线参数点检表中。2）生产及板件自检情况记录在减铜线生产记录表中。3）保养情况记录在减铜线保养记录表中。6.5 板件自检检查项目 标准 检查仪器 取样方式 测试方法 报表记录减铜后铜厚 参照 MI 铜厚测量仪 每批首检 1 片+过程抽查 1 片 铜厚仪量测 生产记录表铜厚均匀性 偏差小于 1.5um 铜厚测量仪 每批首检 1 片+过程抽查 1 片 铜厚仪量测 生产记录表作业指导书 减铜线本

8、文件权属梅州博敏电子有限公司，未经许可，不得复印或转载。备注：测铜厚时每片随机测 5 点。6.6 异常处理缺点名称 可能原因 改善对策蚀露基材/铜厚不均镀铜板镀铜不均，减铜时造成一边 OK，一边蚀刻露基材；针对镀铜板，板子先用铜厚量测仪量测，如均匀性偏差小于 5um，则取中值与标准对应，如均匀性偏差大于 5um，请反馈工艺。7.0 保养内容7.1 设备日常保养项目及内容7.2 设备周保养项目及内容7.3 设备月保养项目及内容7.2 保养方法序号 保养项目 频次 保养内容 保养人1 清洁机身 1 次/班 用湿布擦拭机台表面 作业员2 清洗吸水辘 1 次/2H 用干净水清洗并浸泡，破损的进行更换

9、作业员3 上下行辘 1 次/班 检查上行辘是否异常，并做相关调整 作业员4 喷嘴 1 次/班 清洁及确保喷洒水型符合生产需求 作业员5 过滤系统 1 次/班 检查是否异常并清洁处理 作业员6 喷压系统 1 次/班 检查是否异常确保压力符合工艺要求 作业员7 各水洗缸 1 次/班 每班更换并清理缸底 作业员序号 保养项目 频次 保养内容 保养人1 传动系统 1 次/周 检查机组传动是否平稳，各传动齿轮配合是否正常合是否正常作业员2 加热系统 1 次/周 检测加热管有无异常并清洁加热管 作业员3 冷却系统 1 次/周 检测冷却水循环是否异常 作业员4 烘干系统 1 次/周 检测风刀是否堵塞并清洁处

10、理 作业员5 酸洗缸 1 次/周 更换药水，并清理缸底 作业员序号 保养项目 频次 保养内容 保养人1 微蚀缸 1 次/2个月 铜离子超过50g/L换1/2槽；每2个月换槽洗槽1次 作业员2 吸水辘 1 次/季 更换吸水辘 作业员3 空气过滤器 1 次/季 更换空气过滤器 作业员作业指导书 减铜线本文件权属梅州博敏电子有限公司，未经许可，不得复印或转载。7.2.1 酸洗缸/蚀刻缸保养1）将缸内废液往粗化废液管排放；2）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出；3）加入 3% NaOH 溶液，补充液位至最高点，开启循环及喷淋泵，正常喷淋 1 小时后将

11、废液排出；4）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出；5）加入 3% H2SO4 溶液，补充液位至最高点，开启循环及喷淋泵，正常喷淋 1 小时后将废液排出；6）加入清水至最高点，开启循环及喷淋泵，并用水冲洗缸壁残留污物，正常喷淋半小时后将污水排出。7.2.2 微蚀缸开缸1）往缸内注入 D.I 水 2/3 槽，开启循环泵；2）依次加入 98%硫酸 75.5L（ 6.5%浓度） ，27.5%双氧水 82L（ 6%浓度 ） ，E504 稳定剂25L（2%浓度） ，过程需搅拌，完成后补充 D.I 水至正常液位；3）循环 15 分钟后取样化验药水浓度，OK

12、 后完成开缸；4）微蚀缸铜离子超过 50g/L 时换 1/2 槽，添加比例按 1/2 开缸量添加，补充 D.I 水至液位；5）自动添加设定每做板 25 片添加：硫酸添加 1.5L，双氧水添加 1.5L，E-504 添加0.5L；分析添加时，E-504 按双氧水添加量的 1/3 比率添加。7.2.3 酸洗缸开缸1）往缸内注入 D.I 水 1/2 槽，开启循环泵；2）加入 98%硫酸 1.5L，完成后补充 D.I 水至正常液位；3）循环 15 分钟后取样化验药水浓度，OK 后完成开缸；4）酸洗缸每周保养换槽一次。8.0 注意及安全事项8.1 控制面板（触摸屏）为设备精密部件，禁止用硬物触碰；8.2

13、 该设备所配玻璃为钢化玻璃，清洁、保养、操作时应小心谨慎，慎防碰撞，严防损坏；8.3 处理化学物品及开缸配药、保养时，须穿戴适合之安全装备并采取适当之安全措施，以避免意外事故发生；8.4 加药作业时，须穿戴好防护面罩，防护口罩，耐酸碱手套及防酸碱鞋；8.5 处理强酸、强碱时，慎防滴落地面，损坏防腐油漆，如不慎滴落，应立即用清水稀释作业指导书 减铜线本文件权属梅州博敏电子有限公司，未经许可，不得复印或转载。后用碎布或湿拖把清理干净；8.6 加药作业时，如不慎将药水溅落在眼睛或皮肤上，应立即用清水冲洗 1530 分钟，然后到保安值班室做医务处理；如情况严重的由保安直接安排送医院救治。9.0 相关文件及表单BM-SOP2A-PRE-02/01减铜线生产记录表BM-SOP2A-PRE-02/02减铜线保养记录表BM-SOP2A-PRE-02/03减铜线参数点检表BM-SOP2A-PRE-02/04 减铜线季度 /月度保养表