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1、XXXXX 电子科技有限公司企业标准HSGV-JS-WI-014设备计量器具检定规范拟稿： 审核： 会签： 批准： 生效日期：2011 年 11 月 08 日 制订日期：2011 年 11 月 07 日非经 XXXX 电子科技有限公司管理者代表书面许可，不得复印。编号：HSGV-JS-WI-014XXXX 电 子 科 技 有 限 公 司版次：1/0生效日期：2011.11.08设备计量器具检定规范第 2 页 共 4 页JL-4.2.3-02文 件 名 称 设备计量器具检定规范 文 件 编 号 HSGV-JS-WI-014修 订 记 录版 次 页 次 日 期 原 因 说 明 文件管制 管理者代表
2、编号：HSGV-JS-WI-014XXXX 电 子 科 技 有 限 公 司版次：1/0生效日期：2011.11.08设备计量器具检定规范第 3 页 共 4 页1.0 目的：为了使校正作业标准化,以确保计量器具的有效性和可追溯性。2.0 使用范围：适用于本公司 LCD,LCM 生产设备计量仪器的检点作业。3.0 环境要求：室内温度：246 相对湿度：5510%RH4.0 作业规定：检点周期：所有计量仪器检点周期均为一周5.0 检点作业程序5.1 检查校准仪器工具是否有效,测量仪器外观是否完好。5.2 检查校准仪器的精度和使用功能是否正常。6.0 标识管理6.1 若各项检查结果都合格,则判定合格,
3、并在计量仪器检点表上记录“OK” 。6.2 若有某一项检查不合格,则判定不合格,通知相关使用单位送修,无法维修时,经相关单位评估后判定报废。7.0 真空表检点方法7.1 校检标准件：真空表。7.2 用标准真空表接上测量，同时记录标准真空表和设备上待校验真空表所测量的数据进行比对判定。7.3 真空表允许误差：0.5mm Hg7.4 碧强灌晶设备真空度要求-76mm Hg 均符合灌晶制程要求。8.0 气压表检点方法8.1 校检标准件：气压表。8.2 先将设备需校验处气源关闭，压力检点时将标准校验压力表与需校验压力表管路并联，然后将管内压力加至正常生产值，记录标准校验压力表数值进行比对判定。8.3
4、气压表允许误差：数显压力表0.05Mpa。机械压力表误差不超过最小显示单元格的 1/3为正常。9.0 温控表检点方法9.1 校检标准件：温控表。9.2 烤箱、消泡机等设备将标准校验探头置于设备腔体内部，探头悬空，尽量靠近原温控探编号：HSGV-JS-WI-014XXXX 电 子 科 技 有 限 公 司版次：1/0生效日期：2011.11.08设备计量器具检定规范第 4 页 共 4 页头位置。将温度设定为正常生产值，待设备温度显示稳定后，记录校验温控表数据进行比对判定。9.3 贴附机、COG 邦定和 FOG 设备检点时将标准校验探头置于 LCD 台阶上方，探头上方放置铁氟龙或硅胶皮，将压头手动方式下压，记录测试温度进行比较9.4 温控表允许误差： 5。10.0 恒温恒湿箱检点方法10.1 校检标准件：恒温恒湿箱。10.2 用外校标准恒温恒湿表置入恒湿箱中测量，同时记录恒温恒湿表上显示的数值和设备上待校验恒温恒湿箱上显示的数据进行比对判定。10.3 恒温恒湿箱允许误差 5/5%RH。11.0 相关记录表格设备计量仪器检点表
