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1、Panel製程教育訓練教材,無塵室之異物對策,1/67,PANEL製程教育訓練教材,左右CMO製造TFT機能的良率。原因之一為異物。因此，針對工廠全體之所有異物施以對策，進而達到製品品質穩定之目的。使用材料、使用設備、治工具類、對人對策、器具備品類、文具類、消耗品和其他。若和一般環境中之製造業比較，必須付出數倍的投資額與維持費用。,異物對策,異物不良,所有異物對策之目的,2/67,PANEL製程教育訓練教材,1)Array工程 發生大批pattern不良。 斷路、短路。 2)Panel工程 發生大批之pattern不良。 電氣特性及表示畫面不良。 3)模組工程 電氣特性不良。 BL異物不良。畫
2、面不良的原因。,異物對策,異物成為何種不良,3/67,PANEL製程教育訓練教材,在一般家庭中出現那樣大的物質稱為垃圾。以m尺寸（size) 為單位的物質稱為異物。 異物尺寸從最大數十m到需用電子顯微鏡觀察確認的0.01 m之物質皆有。現在的半導體業已經從64M 0.28 m更進一步到256M 0.2 m的Pattern配線，必需要求同程度以下的異物對策。人的頭髮直徑大約在5070 mTFT的配線大約在6 m的程度,異物對策,異物是何種尺寸的東西,4/67,PANEL製程教育訓練教材,依Array、Panel、Module之不同，對異物大小(size)所訂定之管理辦法亦不同。Array無塵室(
3、全室)管理等級訂定100。Panel管理等級訂定10010000。Module部份的管理等級訂定10000100000。,異物對策,工廠的異物管理,5/67,PANEL製程教育訓練教材,與人的衣服、鞋子和搬入物一起從入口帶進無塵室。與材料、台車、消耗品、容器等物質一起帶進。從設備和工具，保修部品等帶進。從管理表和記錄用紙、筆記文具等帶進。從器具備品、棚架和台車帶進。 上述物件被異物附著後，如未除去，不能進入無塵室中。,異物對策,異物從何處進入?,6/67,PANEL製程教育訓練教材,付著在物品上進入 一般的異物都是付著在攜入物而進入的，萬一沒有 被去除而攜入時，異物一定會進入無塵室。人員攜入
4、鞋子和無塵服和食物、手提袋等，會帶入污染物。從環境破壞而入 從門縫、建築縫隙、天花板的間隙等，建築物的不 良部份侵入。,異物對策,異物如何進入,7/67,PANEL製程教育訓練教材,金屬、塑膠、大部份的物品摩擦時，一定會有異物 產生。加工時所使用的托盤及通箱，在取放製品時，會因 摩擦而產生異物。材料的角邊和材質會產生異物。 在TFT基板表面加工的加工途中，材料的角邊和材 質會因剝落而產生異物。,異物對策,異物如何產生,有摩擦的地方、部份等，全部會發塵,8/67,PANEL製程教育訓練教材,裝置驅動的地方就是產生異物的地方。 齒輪、輸送帶、輸送機、鍊子等，會摩擦的地方 為發塵源。關於膠帶類的接著
5、材的接著部份，在經過一定期間 後，接著劑會因乾燥而變成異物，另外膠帶旁會有 細小的異物付著。人體會有很多細小的異物產生。 皮膚、毛髮、體毛等異物會產生。,異物對策,實際上從哪裡產生的?,9/67,PANEL製程教育訓練教材,塵埃類 土類、油類、煙類、塑膠類、其它。金屬類 裝置類、器具備品類、保管庫、其它。紙類 包裝紙、梱包用紙、記錄用紙、膠帶、筆記文具。人 頭髮、手垢、衣服類、皮膚、其它。,異物對策,有哪些種類的異物存在?,一般雖統稱為異物，但在工場及其內部環境所發生的異物是各式各樣,10/67,PANEL製程教育訓練教材,裝置類 金屬的摩擦、驅動部的摩擦、金屬的銹和物體的摩擦。材料關係 材料
6、材質的發塵，加工時的發塵。梱包關係 梱包材料的發塵，材料搬運容器的發塵。人體 皮膚、手垢、體毛、動作。建築關係 外部空氣由縫隙侵入，建築材料、塗裝材料。,異物對策,異物從哪裡產生?,11/67,PANEL製程教育訓練教材,半導體是高精密度的圖案製成的 , 因此 , 圖案上若 有東西附著或橫跨 , 會造成斷線及短路不良。 TFT是畫面的生命, 其中若有異物附著,會遮住於畫 面,造成不良。 ASSY製程中若異物進入 B/L(BLACKLIGHT) 內部 , 會遮住顯示畫面, 看不見部份即為不良。 異物是最大的敵人 , 建造工廠必須花費很多經費 , 因此設備也是異物對策中最優先的課題。,異物對策,半
7、導體製造是和異物的戰鬥,12/67,PANEL製程教育訓練教材, Array方面 4m以下。 由於配線上之異物造成短路 , 斷線。 Panel方面 4 m以下 由於配線上之異物造成短路 , 斷線。 Module方面 B/L異物是以250 m以下做為良品判定基準 , 且以 畫面上之障礙物之大小為主。,異物對策,半導體現在和異物大小間的關係,肉眼在外觀可視異物為不良原因,13/67,PANEL製程教育訓練教材, TFT的面積比現在的晶圓大。 晶圓尺寸是 2530 公分。 TFT 是大畫面 , 即使有 1 個規定以上的異物附著於 畫面上 , 都會引起畫面不良 , 因此比晶圓廠更嚴格 的塵度管理是有必
8、要的。 現實上常因不良異物造成不良率達 40 50 %,要說明 如何對策異物是困難的 , 但若能克服異物 , 即能期待 高品質 , 高良率的產出。,異物對策,異物是TFT之良品率的關鍵,14/67,PANEL製程教育訓練教材, Array 製程90分 機器手臂引起的灰塵 , 設備的清潔 Panel 製程70分 機器手臂, 仕掛品 , 材料 , 作業面積 Module製程30分 通箱 , 拖盤 , 材料 , 清掃 , 5S 品保30分 室內環境 , 5S , 室內面積資材中心30分 室內面積 , 開梱 , 搬入出方法 ,清掃,異物對策,現在的異物環境達多少分?,目標100分,15/67,PANE
9、L製程教育訓練教材,因成本的關係最少需 90 分。 本來 , 在工廠建設,設計階段時 , 檢討出塵埃管理標準 來維持管理規定。造成工廠污染 , 或低於設計以下的 , 是人所造成要教 導相關知識 , 及維持 無塵室 清潔 ,若無法推動 即會 造成污染。 制訂定期實施的適當維持體制 , 管理者的指導也是 很重要的。,異物對策,異物環境至少需多少分?,16/67,PANEL製程教育訓練教材,管理監督者必須對塵埃有深入的理解。人員必須有塵埃的意識。人員必須有塵埃的知識。人員必須有對於塵埃的實際操作技能。必須有對於塵埃的工作團隊體制。必須對塵埃管理。知識，意識，實技，管理，教育等都是重要的。,異物對策,
10、異物對策必要的工作有那些？,知不知道要做什麼？,17/67,PANEL製程教育訓練教材,知識關於異物三原則及其具體的內容和異物。意識品質的關係和製造損失等。實技實際上如何做？清掃道具什麼樣的場所要使用什麼樣的工具？管理方法在什麼樣的地方要用什麼樣的管理方法？管理者的意識推動塵埃關係的整合。,異物對策,以什麼樣的方式實施教育？,18/67,PANEL製程教育訓練教材,異物對品質左右品質的一個原因為異物，突然使製品機 能變化造成不良。材料發塵，不當梱包方法產生異物，搬出入方法產生物品。設備及工具也會從測定器發塵。室內的一切器具備品，人員穿著的無塵服，鞋子，洗手機， Air Shower等的異物意識
11、。,異物對策,人的意識可以改變品質度,意識和知識,19/67,PANEL製程教育訓練教材,特殊的產業 就特殊的產業而言要確保乾淨的環境,以利於生產活動 ,一般所謂乾淨的場所,是指醫院的手術室,食品工廠。 但是被要求以m為單位的場所,可說是以半導體相關的 行業為代表。塵埃對策是半導體相關產業不可欠缺的,龐大費用支出的 目的在於確保品質。從建設工場,及其使用設備和維護管 理都必須用掉很大費用。,異物對策,所有異物的影響,20/67,PANEL製程教育訓練教材,廠內人員對塵埃不能理解。不能理解生產與塵埃間的關係。裝置必須在何種狀態?室內環境該如何?材料該如何?要用什麼樣的對策及方法來維持管理,若大多
12、數的人不 能 理解即是問題。,異物對策,連目的都不知道的人,21/67,PANEL製程教育訓練教材,不攜入 不要攜帶任何的異物進入無塵室進出無塵室的東西須 全數實施異物對策。不使發展 不要讓無塵室內的保養作業、人的行動、設備及異物 發塵。去除到不殘留 要全部徹底除去潔淨室內的異物，從意想不到的地方 之發塵去除並建立發塵對策。,異物對策,所謂異物三原則,22/67,PANEL製程教育訓練教材,不良的半數為異物影響TFT或晶圓的良率，歸究原因為異物所引起的佔大 多數。在製品的圖案中，有異物附著會造成短路的情形，在傳 送的配(引)線上時，會對正確的配線構成損害。異物附著在畫面上，造成陰影而使影像無法
13、看見。異物 成為引發各種損害的原因。,異物對策,所謂異物三原則,提昇良率的第一步即為對異物的管理,23/67,PANEL製程教育訓練教材,氣象條件與國民性日本人是極為愛好清潔的。 即使在住家也區別室內、室外鞋。 四季分明，冬季寒冷，採取以門確實隔離內外部的生活 方式。可能和開放的炎熱國家，有很大的差異。 並且，維持良好的環境。被塵埃所左右生產的半導體產業，就日本人的生活方式 ，正好可輕易達成嚴實的生產條件。,異物對策,垃圾及異物與國民性,24/67,PANEL製程教育訓練教材,清掃，是對人的意識改革，由人來清除異物。異物決定了品質，影響利益，所以防止異物的對策可 謂關鍵。根據異物三原則，貫徹的作法是必要的，建立這些(以下 等等)平常能實施的體制。 有效的清掃方法。 有效的清潔工具。 有效的清掃頻度。 制定不需清掃的環境。 有效清掃特定時間。,
