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1、1上海工程技术大学材料工程学院多功能真空实验仪设备采购项目招标文件项目名称：材料工程学院多功能真空实验仪设备采购项目招标方：上海工程技术大学资产处2015 年 10 月 16 日2招标文件招标项目名称：材料工程学院多功能真空实验仪设备采购项目发标时间：2015 年 10 月 16 日星期五一、 投标邀请招标方式：受用户委托和对采购项目的要求，本职能处室对仙霞路校区舞蹈房地板及铺设采购项目进行材料工程学院多功能真空实验仪设备采购项目公开招标。具体技术要求见附件。兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份，用单独的信封密封，并在信封上标明投标单位及投标项目名称，为确保标书的时效性和可行
2、性，以专人送达为宜。1 投标地点：上海工程技术大学资产处物资供应中心（行政楼B111 室）2 投标截止时间：2015 年 10 月 22 日 12：00，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受。3 开标时间和地点：2015 年 10 月下旬，采取公开开、评标，地点：校资产处。4 开、评标结果由资实处具体人员通知投标单位。5 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在 2015 年 10 月 22 日前与资产处物资供应中心联系。6 本招标方地址：上海市龙腾路 333 号 邮编：20162037 联系人：冷老师 电话：677912074附： 招标要求适用范围多功能真空实验仪由机械泵+分子泵构成的高真空实
3、验平台，采用玻璃真空室，通过玻璃真空室能清晰地观察到蒸发、溅射等物理现象的全过程；并能实现薄膜制备。可开设的实验：1、真空的获得与测量；2、蒸发法薄膜制备 ；3 直流溅射法薄膜制备镀膜室尺寸 300mm360mm 高强度硼硅玻璃钟罩；真空室结构 钟罩式结构，底盘抽气系统机械泵 前级泵 2ZX-4 直联泵 一台抽气系统分子泵 FF160/600 分子泵 一台蒸发电源 （1.5KW/10V）1 组蒸发电极 无氧铜电极 2 组（切换蒸发） ，配有交叉防污染板蒸发组件蒸发挡板 采用磁力耦合传动溅射靶 50(磁控溅射靶 直流、射频兼容)溅射电源 开环电压：DC 01000V/1A； 工作电压 40080
4、0V溅射组件射频电源 300W 射频电源，频率 13.56MHZ， 样品台 可镀膜尺寸： 最大 120mm；基片台可按要求定制；操作方式 手动按键式工件烘烤 室温300（PID 控制）恢复真空 210-3 Pa（小于 40min）极限真空 810-5Pa真空显示数显复合真空计（成都正华）：一低一高（一路）热偶规： 1.0x10 3Pa -1.0x10-1Pa（一路）电离规： 1.0x10 -1Pa -1.0x10-5Pa设备控制供电：220V/50Hz 单相三线制供电系统。设备和电器控制柜接地线配置国际标准电源柜，其上装有：总控制电源 1 台、数显复合真空计 1 台、加热温控电源 1 台、分子
5、泵控制电源 1 台，蒸发电源 1 台，溅射电源 1 台。整机配有水流报警系统，在水压不够或断水时报警，并切断分子泵电源等；采用独立式电控柜，带独立滚轮，方便维修。电气元件：主要采用法国施耐德品牌或韩国 LG 品牌产品，产品故障率低。其他技术服务及质量保证：提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器仪表说明书；提供该设备的设计总体图及部件总图，供采购人存档及维修使用；组装调试：成套设备出厂前在工厂所在地进行组装调试，达到技术要求；拆装运输至使用方所在地后，进行第二次组装调试，并符合生产要求，由使用方在一星期内对装置本体进行验收。说明1、 真空室玻璃全透明，能清晰地观察到蒸发、溅射等物理现象的全过程；2、 工件温度能够精确控制（常温到 300 度以内）53、 蒸镀时可以精确控制电压大小4、 磁控溅射靶 2 个，一个是电子磁控溅射靶，一个是射频磁控溅射靶5、 要有通氩气的接口6、 抽气时间要求 3 x10-4Pa，一小时内达到7、 可以实现金属、陶瓷、有机物等的镀膜。参考图：
