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1、1 特气安全和应急反应 GenTech Confidential 2 ?钢瓶基础知识 ?气体安全-氨气NH3 ?气体安全-硅烷SiH4 ?应急反应 ER ?应急反应演习 ?工艺安全 议程 议程议程 GenTech Confidential 3 气瓶尺寸气瓶尺寸 49 升 或升 或 A44 升或升或 B 29 升 或升 或 B (AL) 16 升 或升 或 C 8 升 或升 或 D1 演示瓶 或演示瓶 或 7X3 升或升或 D 钢瓶基础知识钢瓶基础知识 GenTech Confidential 4 大宗特气容器大宗特气容器 钢瓶基础知识钢瓶基础知识 Y钢瓶钢瓶 ISO GenTech Confi
2、dential 5 气瓶盖气瓶盖 ? 为保护阀门，在移动过 程中始终必须盖上 钢瓶基础知识钢瓶基础知识 GenTech Confidential 6 阀门组件名称阀门组件名称 气体或蒸汽 出口密封盖 气体或蒸汽 出口密封盖 阀门手柄阀门手柄 卸压装置卸压装置 钢瓶基础知识钢瓶基础知识 GenTech Confidential 7 气瓶移动气瓶移动 ? 使用手推车移动气瓶 ? 必须戴上气瓶盖 钢瓶基础知识钢瓶基础知识 GenTech Confidential 8 气瓶框气瓶框 ? 用叉式升降机卸下气瓶底架 ? 移去气瓶并置于各自储存区域 ? 保留底架以备返程运输 PHOSPHINE, MOCVD
3、 PHOSPHINE, 2.3, UN2199 POISON-INHALATION HAZARD, ZONE A PHOSPHINE, 2.3, UN2199 POISON-INHALATION HAZARD, ZONE APOISON-INHALATION HAZARD, ZONE A PHOSPHINE, 2.3, UN2199 PHOSPHINE, MOCVDPHOSPHINE, MOCVD POISON-INHALATION HAZARD, ZONE A PHOSPHINE, 2.3, UN2199 PHOSPHINE, MOCVD 钢瓶基础知识钢瓶基础知识 GenTech Confi
4、dential 9 气瓶标签气瓶标签 钢瓶基础知识钢瓶基础知识 GenTech Confidential 10 危险分类危险分类 气体安全气体安全 GenTech Confidential 11 氨气氨气 ? 无色 ? 毒性 ? 可燃可燃 ? 刺激 ? 腐蚀 气体安全气体安全 GenTech Confidential 12 性质性质 ? 分子式NH3 ? 分子量17.03 ? 蒸汽压114 psig(21oC ) ? 沸点-33.5oC ? 比重0.588 ? 密度0.044 lb / scf 气体安全气体安全 GenTech Confidential 13 氨气危害氨气危害 ? 压力 ? 可
5、燃 ? 毒性 ? 腐蚀性 气体安全气体安全 GenTech Confidential 14 高压危险高压危险 气体安全气体安全 GenTech Confidential 15 可燃性可燃性 ? Does not meet the DOT definition of flammable ? Flammable limits in air16% - 25% ? Autoignition temperature850oC ? Use explosion proof equipment ? Eliminate ignition sources ? Fire fighting ? do not exti
6、nguish a fire unless NH3flow can be stopped 气体安全气体安全 GenTech Confidential 16 腐蚀性腐蚀性 ? Anhydrous NH3is relatively non-corrosive ? Anhydrous NH3reacts with water ? NH3plus water yields ammonium hydroxide ? Wet NH3corrodes copper, zinc and their alloys ? Corrosive to human tissue 气体安全气体安全 GenTech Confi
7、dential 17 毒性毒性 TLV - Threshold Limit Values ? PEL50 ppm ? TWA25 ppm ? STEL35 ppm ? IDLH300 ppm Acute Toxicity ? LC50 (1 hour, rat)7338 ppm 气体安全气体安全 GenTech Confidential 18 氨气氨气BSGSBSGS 气体安全气体安全 GenTech Confidential 19 硅烷硅烷 A compressed gas which is: ? Colorless ? Flammable ? PyrophoricPyrophoric ?
8、spontaneously flammable ? Toxic ? Irritating 气体安全气体安全 GenTech Confidential 20 性质性质 ? 分子式SiH4 ? 分子量32.12 ? 沸点-112.4 oC ? 比重1.109 ? 密度0.083 lb / scf 气体安全气体安全 GenTech Confidential 21 危害危害 ? 压力 ? 可燃 ( (自燃自燃 ) ) ? 毒性 ? 反应性 气体安全气体安全 GenTech Confidential 22 硅烷毒性硅烷毒性 TLV - Threshold Limit Values ? PELnone e
9、stablished ? TWA5 ppm ? IDLHnone established ? LC(50)9600 ppm for a 4 hour rat ? Odor“ “irritating acidicirritating acidic” ” ? suspect odor in literature may be attributable to impurities (chlorosilanes) 气体安全气体安全 GenTech Confidential 23 硅烷反应性硅烷反应性 ? Reacts with oxygen on contact ? will be discussed
10、 in the flammability section ? Reacts with halogens ? Freons, chlorocarbons ? fire extinguishers, refrigeration units and lubricants may contain these materials ? contact with these materials may result in a fire or explosion 气体安全气体安全 GenTech Confidential 24 可燃性可燃性 ? Flammability versus Pyrophoricit
11、y ? Pyrophoric limits - range in which material self ignites in air ? Flammable limits - range of flammability with an ignition source with sufficient quantity of oxidizer 气体安全气体安全 GenTech Confidential 25 燃烧下限燃烧下限 Dependent on diluent: DiluentDiluent% Silane% Silane% Oxygen% Oxygen air1.37 %20.8 % 9
12、8% N20.65 %1.35 % 98% Ar/He0.2 %1.8 % 98% CO21.1 %0.8 % 气体安全气体安全 GenTech Confidential 26 自燃下限自燃下限 Dependent on the base gas of the mixture: ? 2 % Silane in Argon ? 2.5 % Silane in Nitrogen ? 3.0 % Silane in Hydrogen Minimum oxygen concentration required: ? 2.5 % Oxygen in normal ambient conditions ?
13、 0.7 % Oxygen in dry atmospheres 气体安全气体安全 GenTech Confidential 27 火焰温度火焰温度 ? At lower flammability limit 3 % silane ? flame temperature 430 oC ? will not ignite paper ? At stoichiometric mix with air 9.51 % silane ? most efficient ratio of fuel to air ? flame temperature 2430 oC ? will melt metal 气体
14、安全气体安全 GenTech Confidential 28 硅烷气柜硅烷气柜 ?全自动气柜 ?自动切换、自动吹扫、自动放空 ?PLC控制器，触摸屏 ?安全措施 ?自动切断钢瓶阀门，从源头切断气源 ?火焰侦测器UV/IR ?高温探头 ?泄漏侦测 ?消防喷淋 ?远程关闭 气体安全气体安全 GenTech Confidential 29 何为何为“应急反应应急反应”？ 应急反应应急反应 GenTech Confidential 30 何为何为“应急反应应急反应”？ 应急反应应急反应 GenTech Confidential 31 何为何为“应急反应应急反应”？ ? 为对付突发或隐患的泄漏事故 ?
15、需要受过专门训练以及装备完 善的应急小组 ? 通常情况下没有大的问题 ? 突发事件时应急反应计划就非 常重要 应急反应应急反应 GenTech Confidential 32 ?保证小组的安全是首要目标 ?每次最少2人,携带专用设施 ?在现场管理的统一调度下 ?应及时得到国家应急中心协调员的支援 ?小组应作好随时应对恶性事故的准备 何为何为“应急反应应急反应”？ 应急反应应急反应 GenTech Confidential 33 应急反应的启动应急反应的启动 ? 需要由外部采取措施 ? 需要周边紧急撤离 ? 产生或潜在的健康危险 ? 产生或潜在的爆炸或严重火灾 ? 因即将发生的危险而需要特别注意
16、 ? 泄漏产生大剂量的有毒物品暴露 ? 如果不能确定现场操作人员是否能处理 ? 如果现状不明，或其它关键因素不能确定 应急反应应急反应 GenTech Confidential 34 安全官员 其它 清污 后备 进入 操作技术通讯医疗支持 事故指挥官 应急反应应急反应 隔离/疏散 消控 应急反应应急反应 GenTech Confidential 35 氨气泄漏氨气泄漏 应急反应应急反应 GenTech Confidential 36 氨气应急反应氨气应急反应 ? 大量泄漏会冒白烟并非常刺激 ? 至少应穿戴自给式呼吸器（SCBA）和具 有兜帽的Tyvex外套以及氯丁橡胶手套 ? 泄漏检测使用pH试纸 ? 如果在现场泄漏，使用ERCV将其运回 ? 使用冷却盘管系统转移. 通过装有水的 鼓泡器洗涤残余物 气体安全气体安全 GenTech Confidential 37 钢瓶事故处理钢瓶事故处理 应急反应应急反应 GenTech Confidential 38 硅烷泄漏硅烷泄漏 钢瓶上二氧化
