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等离子体的应用,反应离子刻蚀:RIE、ICP,薄膜沉积: 等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 微波增强化学气相沉积 (MPECVD),在等离子体气体中,以电子碰撞双原子分子XY为例,若碰撞能量小,则会发生弹性碰撞,电子的动能不会改变。若碰撞能量很高,分子中绕核运动的低能电子,就会在碰撞中获得足够的能量,被激发至离核较远的高能级轨道上运动。我们把这种高能级状态的分子称为激发态分子,用XY*表示。激发态分子中的电子从高能级跳回到低能级时,便以发光的形式发出多余能量(辉光放电),这个过程称为“退激”。,等离子体的产生,若碰撞电子能量足够高,电子吸收的能量就可以使其脱离核的束缚而成为自由电子,也就是分子发生了“电离”,用XY+表示 。 电子对分子XY的碰撞也可以使之分解成为X原子和Y原子(离解/裂解)。用“:”表示分子中成键的电子对,离解过程可以表示为X:YX + Y。这样带有未成对电子 的X,Y就容易发生化学反应,故称为化学活性或基团。,等离子体特性,