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1、上海电力学院本科毕业设计（论文）题目：接触力学与低摩擦耦合的纳米金刚石力学行为研究 院系： 能源与机械工程学院 专业年级： 机械设计制造及自动化 2013171 班 学生姓名： 杨闰学号： 20132704 指导教师： 陈乃超 2017 年6 月 12 日上海电力学院毕业设计论文目录目录摘 要Abstract第一章 绪论 .11.1 纳 米 金 刚 石 薄 膜 的 研 究 背 景 .11.1.1 微 米 金 刚 石 涂 层 的 缺 陷 .11.1.2 纳 米 金 刚 石 涂 层 的 优 点 及 应 用 前 景 .11.2 纳 米 金 刚 石 的 研 究 现 状 .11.2.1 纳 米 金 刚
2、石 的 表 征 .11.2.2 纳 米 金 刚 石 薄 膜 的 机 械 性 能 .1第二章 CVD 法制备金刚石薄膜的相关原理 .12.1 纳 米 金 刚 石 膜 制 备 方 法 .12.2 HFCVD 法 制 备 纳 米 金 刚 石 薄 膜 .12.2.1 热 丝 碳 化 工 艺 .12.3.1 Si3N4 陶 瓷 的 性 质 .12.3.2 陶 瓷 基 纳 米 金 刚 石 涂 层 的 制 备 .12.3.3 沉 积 技 术 .1第三章 纳米金刚石膜的制备实验与表征 .13.1 实 验 设 备 简 介 .13.2 热 丝 的 选 择 .13.3 实 验 方 案 与 参 数 .13.4 纳 米 金 刚 石 薄 膜 的 表 征 .13.4.1 扫 描 电 子 显 微 镜 .1第四章 相关接触力学原理及压痕实验 .14.1 相 关 固 体 接 触 力 学 原 理 .14.1.1 Hertz 弹 性 接 触 理 论 .14.2 纳 米 金 刚 石 薄 膜 的 残 余 应 力 .14.2.1 残 余 应 力 产 生 的 原 因 .14.3 压 痕 实 验 .14.3.1 粗 糙 度 测 试 .14.3.2 压 痕 测 试 .14.3.3 结 果 表 征 与 分 析 .14.3.4 结 论 .1第五章 总结与讨论 .1参考文献 .1致谢 .
