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1、第4章 电感式传感器,4.1 变磁阻电感式传感器 4.2 差动变压器电感式传感器 4.3 电涡流电感式传感器,电感式传感器的工作基础：电磁感应 即利用线圈电感或互感的改变来实现非电量测量,分为变磁阻式、变压器式、涡流式等 特点： 工作可靠、寿命长 灵敏度高，分辨力高 精度高、线性好 性能稳定、重复性好,4.1 变磁阻电感式传感器（自感式）,4.1.1 工作原理 变磁阻电感式传感器由线圈、铁心和衔铁三部分组成。铁心和衔铁由导磁材料制成。,在铁芯和衔铁之间有气隙，传感器的运动部分与衔铁相连。当衔铁移动时，气隙厚度发生改变，引起磁路中磁阻变化，从而导致电感线圈的电感值变化，因此只要能测出这种电感量的
2、变化，就能确定衔铁位移量的大小和方向。,线圈中电感量可由下式确定：,根据磁路欧姆定律：,式中, Rm为磁路总磁阻。,（4-1）,（4-2）,气隙很小，可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁路磁损， 则磁路总磁阻为,（4-3）,通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻， 即,（4-4）,则式（4-3）可写为,（4-5）,联立式（4-1）、 式（4-2）及式（4-5）， 可得,（4-6）,上式表明：当线圈匝数为常数时，电感L仅仅是磁路中磁阻Rm的函数，改变或A0均可导致电感变化，因此变磁阻电感式传感器又可分为变气隙厚度的传感器和变气隙面积A0的传感器。 目前使用最广泛的是变气隙厚度电感式传感器。 ,4
3、.1.2 输出特性 L与之间是非线性关系， 特性曲线如图5-2所示。,图4-2 变隙式电压传感器的L-特性,分析： 当衔铁处于初始位置时，初始电感量为,（4-7）,当衔铁上移时，传感器气隙减小，即=0， 则此时输出电感为,（4-8）,当/01时（泰勒级数）：,（4-9）,可求得电感增量L和相对增量L/L0的表达式，即,(4-10),(4-11),同理，当衔铁随被测体的初始位置向下移动时，有,（4-12）,（4-13）,对式（4-11）、（4-13）作线性处理，即忽略高次项后，可得,（4-14）,灵敏度为,可见：变气隙电感式传感器的测量范围与灵敏度及线性度相矛盾，因此变气隙电感式传感器适用于测量
4、微小位移的场合。,（4-15）,与,衔铁上移 切线斜率变大 灵敏度增加,衔铁下移 切线斜率变小 灵敏度减小,与线性度,衔铁上移：,衔铁下移：,无论衔铁上移或下移，非线性都将增大。,差动变气隙电感式传感器,为了减小非线性误差，实际测量中广泛采用差动变气隙电感式传感器。,衔铁上移：两个线圈的电感变化量L1、L2分别由式（4-10）及式（4-12）表示， 差动传感器电感的总变化量L=L1+L2, 具体表达式为,对上式进行线性处理, 即忽略高次项得,灵敏度K0为,比较单线圈式和差动式： 差动式变间隙电感传感器的灵敏度是单线圈式的两倍。 差动式的非线性项(忽略高次项)： 单线圈的非线性项（忽略高次项)：
5、 由于/01，因此，差动式的线性度得到明显改善。,4.1.3 测量电路 电感式传感器的测量电路有交流电桥式、 变压器式交流电桥以及谐振式等。,1. 交流电桥式测量电路,当衔铁下移时：,当衔铁上移时：,变压器式交流电桥,2. 变压器式交流电桥,电桥两臂Z1、Z2为传感器线圈阻抗，另外两桥臂为交流变压器次级线圈的1/2阻抗。 当负载阻抗为无穷大时， 桥路输出电压,当传感器的衔铁处于中间位置，即Z1=Z2=Z，此时有 ， 电桥平衡。,当传感器衔铁上移：如Z1=Z+Z，Z2=ZZ，,(4-25),当传感器衔铁下移：如Z1=ZZ，Z2=Z+Z， 此时,(4-26),可知：衔铁上下移动相同距离时，输出电压
6、相位相反，大小随衔铁的位移而变化。由于 是交流电压， 输出指示无法判断位移方向，必须配合相敏检波电路来解决。,3. 谐振式测量电路 分为：谐振式调幅电路和谐振式调频电路。 调幅电路特点：此电路灵敏度很高， 但线性差，适用于线性度要求不高的场合。,调频电路：振荡频率 。当L变化时，振荡频率随之变化，根据f的大小即可测出被测量的值。具有严重的非线性关系。,4.1.4 变磁阻电感式传感器的应用,变气隙电感式压力传感器结构图,当压力进入膜盒时，膜盒的顶端在压力P的作用下产生与压力P大小成正比的位移，于是衔铁也发生移动， 从而使气隙发生变化， 流过线圈的电流也发生相应的变化，电流表A的指示值就反映了被测
7、压力的大小。,当被测压力进入C形弹簧管时， C形弹簧管产生变形， 其自由端发生位移，带动与自由端连接成一体的衔铁运动，使线圈1和线圈2中的电感发生大小相等、符号相反的变化。即一个电感量增大，另一个电感量减小。电感的这种变化通过电桥电路转换成电压输出。由于输出电压与被测压力之间成比例关系， 所以只要用检测仪表测量出输出电压， 即可得知被测压力的大小。,变气隙差动电感式压力传感器,电感测微仪是用于测量微小尺寸变化很普遍的一种工具，常用于测量位移、零件的尺寸等，也用于产品的分选和自动检测。 测量杆与衔铁连接，工作的尺寸变化或微小位移经测量杆带动衔铁移动，使两线圈内的电感量发生差动变化，其交流阻抗发生
8、相应的变化，电桥失去平衡，输出一个幅值与位移成正比、频率与振荡器频率相同、相位与位移方向对应的调制信号。如果再对该信号进行放大、相敏检波，将得到一个与衔铁位移相对应的直流电压信号。 这种测微仪的动态测量范围为 mm，分辨率为1 ，精度可达到3%。,4.2 差动变压器电感式传感器 （互感式）,把被测的非电量变化转换为线圈互感变化的传感器称为互感式传感器。这种传感器是根据变压器的基本原理制成的，并且次级绕组用差动形式连接， 故称差动变压器电感式传感器。 差动变压器电感式传感器的结构形式：变隙式、变面积式和螺线管式等。 在非电量测量中，应用最多的是螺线管式差动变压器， 它可以测量1100mm机械位移
9、，并具有测量精度高、灵敏度高、 结构简单、性能可靠等优点。,4.2.1 变隙差动变压器电感式传感器 1. 工作原理 假设：初级绕组N1a=N1b=N1，次级绕组和N2a=N2b=N2 两个初级绕组的同名端顺向串联，两个次级绕组的同名端则反相串联。,当没有位移时，衔铁C处于初始平衡位置，它与两个铁芯的间隙有a0=b0=0，则绕组N1a和N2a间的互感Ma与绕组N1b和N2b的互感Mb相等，致使两个次级绕组的互感电势相等，即e2a=e2b。由于次级绕组反相串联，因此，差动变压器输出电压Uo=e2a-e2b=0。 当被测体有位移时，与被测体相连的衔铁的位置将发生相应的变化，使ab，互感MaMb，两次
10、级绕组的互感电势e2ae2b，输出电压Uo=e2a-e2b0，即差动变压器有电压输出， 此电压的大小与极性反映被测体位移的大小和方向。,2. 输出特性 在忽略铁损（即涡流与磁滞损耗忽略不计）、漏感以及变压器次级开路（或负载阻抗足够大）的条件下，等效电路。 r1a与L1a , r1b与L1b , r2a与L2a , r2b与L2b，分别为N1a , N1b , N2a, N2b绕阻的直流电阻与电感。,当r1aL1a，r1b0，不论u0与uy是正半周还是负半周，负载电阻RL两端得到的电压始终为正。 当x0时：u0与uy为同频反相。 不论u0与uy是正半周还是负半周，负载电阻RL两端得到的输出电压表
11、达式总是为,4. 差动变压器式传感器的应用 可直接用于位移测量，也可以测量与位移有关的任何机械量，如振动、加速度、应变、比重、张力和厚度等。,微压传感器,CPC型差压计,差动变压器式加速度传感器:由悬臂梁和差动变压器构成。 测量时，将悬臂梁底座及差动变压器的线圈骨架固定，而将衔铁的A端与被测振动体相连， 此时传感器作为加速度测量中的惯性元件，它的位移与被测加速度成正比，使加速度测量转变为位移的测量。当被测体带动衔铁以x(t)振动时，导致差动变压器的输出电压也按相同规律变化。,差动变压器式加速度传感器原理图,4.3 电涡流电感式传感器（互感式）,4.3.1 工作原理,电涡流式传感器原理图 （a）
12、 传感器激励线圈; （b） 被测金属导体,根据法拉第定律，当传感器线圈通以正弦交变电流I1时，线圈周围空间必然产生正弦交变磁场H1，使置于此磁场中的金属导体中感应电涡流I2，I2又产生新的交变磁场H2。 根据愣次定律， H2的作用将反抗原磁场H1，由于磁场H2的作用，涡流要消耗一部分能量，导致传感器线圈的等效阻抗发生变化。 线圈阻抗的变化完全取决于被测金属导体的电涡流效应。,式中, r为线圈与被测体的尺寸因子。 测量方法： 如果保持上式中其它参数不变，而只改变其中一个参数， 传感器线圈阻抗Z就仅仅是这个参数的单值函数。通过与传感器配用的测量电路测出阻抗Z的变化量，即可实现对该参数的测量。,Z=F(,r,f,x),传感器线圈受电涡流影响时的等效阻抗Z的函数关系式为,4.3.2 基本特性,电涡流式传感器简化模型,电涡流传感器简化模型中，把在被测金属导体上形成的电涡流等效成一个短路环，即假设电涡流仅分布在环体之内，
