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1、Chapter 1oasis文件简介oasis是用来表示光刻版图的一种文件格式，上面记录了光刻图案。作为gdsii文件的替代格式，和gdsii类似是一种流格式的文件。一般性的介绍可以google到。这里就不再累述。这篇文档，是对参考文献【1】的注释和部分翻译。第一为了方便阅读，对文献【1】中的一些概念和例子进行了解读说明；第二对文献【1】中容易忽略和混淆的地方进行了强调，对没有明确的但可以从其他地方推断出来的一些内容进行了明确。Chapter 2oasis文件格式是一种二进制流的文件格式。它采用变形的BNF语法来描述文件格式，BNF语法见参考文献【1】中36.1节，oasis文件格式的描述见参
2、考文献【1】中36.2节。这里不对那些内容进行重复叙述，只对文件进行部分说明强调。1. 按照标准是%SEMI-OASIS，但是各个厂商可能会有不同，可能厂商会加上自己的log。程序中出现了BROA作为oasis文件格式的开头字段。2.特别注意、和字段中的大括号中的域是不能重复出现的，而和中的大括号中的字段是可以重复出现的。在解析的时候要特别注意这点。3.注意到中，除了自己的关键字START、CBLOCK、PAD和PROPERTY以外，还有两个内嵌的结构，就是和。其中中，第一个出现的字段是CELL，每一个中CELL会且仅会出现一次。因此可以把CELL作为第二层解析的入口。而中，由于这些关键字跟其
3、他部分都不重复，而且在一个中仅都只能出现一次，所以可以直接放在第一层解析。具体可以参见第五章。Chapter 3oasis数据类型不同于普通的计算机编程语言的数据格式，oasis作为一种流格式文件，有自己的数据类型表示方法。这些在参考文献【1】中的第七章进行了说明。这里对其中内容进行部分说明，以便方便查阅。一共有下面几种类型的数据格式：Table1oasis数据格式类型长度其他说明bytes8bit最低位bit放在最右边integersunsigned-integer不定，N个byte，8个bits中只有7bits表示实际数据，每个byte最高一个bit表示后面是否还有数据。0表示自己是最后一
4、个byte。最低位byte放在oasis文件的最前面signed-integer不定，N个byte，8个bits中只有7bits表示实际数据，每个byte最高一个bit表示后面是否还有数据。0表示自己是最后一个byte。符号位放在最低位byte（文件中最先出现的byte）的最后一位（bit）：0表示正，1表示负。最低位byte放在oasis文件的最前面real不定。有8种表示方式。由一个unsigned-integer的数据来表示采用何种表达方式。表示数据表达方式的unsigned-integer数据出现在文件的最前面。接着它后面才是实际要表达的数值。string由一个unsigned-int
5、eger的数据来表示string的长度unsigned-integer数据出现在文件最前面。string可以分成b-string, a-string和n-string三类deltasdelta是用来表示方向和长度的一种数据类型。分成4类。各类长度不一样。在oasis文件中，这种数据的第一个出现的字节的最后几个bit是表示方向。后面具体描述。repetitions用来表示重复出现的各个图形的位置的一种数据类型。也分成多类，各类长度不一。在后面具体说明point lists利用这个数据结构就可以画出图形。但这个数据结构本身不包括画图的起始位置信息。而在其他地方确定。是一串delta信息，用来表示各
6、条边的长度和方向。图形的顶点越多，长度越长。在后面具体说明。property value由一个unsigned-integer表示类型，加上后面的property value 值构成。各种类型的属性，value值不一样，但都比较简单。可以参看参考文献的7.8节table9。3.1integers类型说明3.1.1unsigned-integerunsigned-integer的长度不确定，是由自己的值来确定的，如果数据长度有N个byte，每个byte的8个bits中只有7bits表示实际数据，最高一个bit表示后面是否还有数据。0表示自己是最后一个byte。最低位byte放在oasis文件的最
7、前面。举个例子就清楚了。十进制的16383：正常的2进制表示是：11,1111,1111,1111，一共14个1。在oasis文件中，由于只有7位能代表实际的数，所以我们把它写成x111,1111,y111,1111。还是14个1。但中间插入了一个x和y用来表示是否后面还有数据。由于低字节优先，所以我们写成y111,1111,x111,1111。然后将y变成1，x变成0。所以最后在oasis文件中的表示是1111，1111，0111，1111。十进制的16384：正常的2进制表示是：100,0000,0000,0000，1后面一共14个0。在oasis文件中，由于只有7位能代表实际的数，所以我
8、们把它写成x000,0001,y000,0000,z000,0000。1后面还是14个0。但中间插入了一个x、y和z用来表示是否后面还有数据。由于低字节优先，所以我们写成z000,0000,y000,0000,x000,0001。然后将z变成1，y变成1，x变成1，。所以最后在oasis文件中的表示是1000,0000,1000,0000,0000,0001。3.1.2signed-integer知道了unsigned-integer以后，再变signed-integer就简单了。还是举两个例子。十进制的8191，正常的2进制表示是： 1,1111,1111,1111，一共13个1。在oasi
9、s文件中，由于第一个byte只有6位能代表实际的数，后面的byte有7位能代表实际的数。所以我们把它写成x111,1111,y111,111z。还是13个1。但中间插入了一个x和y用来表示是否后面还有数据，插入了一个z作为符号位。由于低字节优先，所以我们写成y111,111z,x111,1111。然后将y变成1，x变成0。由于是正数，所以z为0。所以最后在oasis文件中的表示是1111，1110，0111，1111。十进制的-8192，先表示十进制的8192，正常的2进制表示是： 10,0000,0000,0000，1后面一共13个0。在oasis文件中，由于第一个byte只有6位能代表实际
10、的数，后面的byte有7位能代表实际的数。所以我们把它写成m000,0001,x000,0000,y000,000z。1后面还是13个0。但中间插入了一个x和y用来表示是否后面还有数据，插入了一个z作为符号位，前面补了一个m。由于低字节优先，所以我们写成y000,000z,x000,0000,m000,0001。然后将y变成1，x变成1，m变成0。由于是负数，所以z为1。所以最后在oasis文件中的表示是1000,0001,1000,0000,0000,0001。3.2real类型说明real的数据类型是一个复合的数据类型，它由一个unsigned-integer的类型做为开头，后面加上若干个
11、unsigned-integer或者1个ieee4 float或者1个ieee8 float的数据类型来组成。目前，它只定义了8种类型格式，从0到7。Table2real数据类型说明类型格式含义0+unsigned-integer是一个正的实数，实数的值就等于后面unsigned-integer1+unsigned-integer是一个负的实数，实数的绝对值就等于后面unsigned-integer2+unsigned-integer是一个正的实数，实数的值就等于后面unsigned-integer的倒数。3+unsigned-integer是一个负的实数，实数的绝对值就等于后面unsigne
12、d-integer的倒数。4+unsigned-integer1+ unsigned-integer2是一个正的实数，实数的值就等于（unsigned-integer1/ unsigned-integer2）。(做除数)5+unsigned-integer1+ unsigned-integer2是一个负的实数，实数的绝对值等于（unsigned-integer1/ unsigned-integer2）。(做除数)6+IEEE-4-byte-float表示后面是IEEE-4-byte-float的数据格式7+IEEE-8-byte-float表示后面是IEEE-8-byte-float的数据格式
13、在参考文献【1】中的第7.3.2节的table 4中，各个数值的计算就可以根据上表中的说明计算出来。3.3string类型说明string数据类型是一个复合的数据类型，它由一个表示字符串长度的unsigned-integer类型数据做为开头，后面加上真正的字符串。字符串可以分成三种：b-string(binary string)， a-string(ascii string)和 n-string (name string).3.4delta类型说明delta是代表几何数据。简单来说就是delta类型的数据中存放有长度和方向的信息。其中分成4种：1-delta, 2-delta, 3-delta
14、和g-delta。分别进行说明3.4.11- delta1-delta是一种signed-integer的数据结构，其中signed-integer中的符号位就用来表示方向了；singed-integer中的表示数值的部分就用来表示长度。我们举个例子。比如二进制的1111,1001,0010, 0011。其中第一个方框中的1和singed-integer的含义一样，表示后面还有数据。第二个方框中的1在signed-integer中表示正负符号，这里就表示方向，1表示向西或者向南（在正交坐标系中表示x和y轴的负方向，具体是x轴还是y轴由这个值出现的当前的场景来确定）。第三个框中的0表示这是这个s
15、igned-integer数据的最后一个byte。这个数据的长度是二进制的010,0011, 111, 100（去掉框内的数值，然后前后byte调转位置），这就是十进制的2300。因此这个数值就是表示向西（或者向南）画2300长度的一条线。3.4.22- delta2-delta是一种unsigned-integer的数据结构，其中unsigned-integer中的最低2bits（在oasis文件中最先出现的byte中的最低2bits）用来表示方向了，其他部分表示数值的大小，数值的大小就用来表示长度。我们举个例子。比如二进制的1001,1000,0010, 1010。其中第一个方框中的1和unsinged-integer的含义一样，表示后面还有byte表示同一个unsigned-integer数据。第二个方框中的00这里就表示方向，00表示向东（在正交坐标系中表示x正方向，01表示向北，10表示向西，11表示向南）。第三个框中的0表示这是这个unsigned-inte
