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1、高科技廠房消防防護計畫範例(內政部消防署94年 月 日消署預字第 號函)(以設有潔淨區作為晶圓生產、製造、研發、封裝測試或液晶顯示器生產之場所為例)民國 年 月 日製定目錄項次暨內容備 考壹、總則貳、潔淨室及輔助設施製程安全防護參、預防管理對策肆、自衛消防活動伍、假日暨夜間之防火管理體制陸、地震防救對策柒、防災應變之教育訓練捌、附則附表一、防火管理人（遴用、異動）提報表二、（共同）消防防護計畫（製定、變更）提報表三、消防防護計畫自行檢查表四、自衛消防編組訓練計畫提報表五、現有建築物（場所）施工中消防防護計畫提報表六、現有建築物（場所）施工中消防防護計畫自行檢查表附件一、防火管理委員會編組表二、
2、生產製程介紹三、製程區及供應區可燃性物質分布表四、火災預防管理編組表五、日常火源自行檢查表六、防火避難設施自行檢查紀錄表七、消防安全設備自行檢查表八、自衛消防隊編組表九、自衛消防地區隊編組表十、火警緊急應變處理流程十一、地震緊急應變處理流程十二、自衛消防隊裝備一覽表十三、疏散程序流程圖十四、夜間、假日自衛消防編組表附圖一、 防火管理組織體系圖二、(場所名稱)位置圖三、 (場所名稱)平面暨逃生避難圖四、潔淨室空間配置圖壹、總則一.目的與適用範圍1.目的：本計畫係依消防法第十三條暨同法施行細則第13條至16條，規範本場所防火管理必要事項，以落實火災、地震及其他災害之防救，並達到保障人命安全、減輕災
3、害之目標。2.適用範圍：在（場所名稱）服務、出入之所有人員均必須遵守。二.管理權人之職責1.管理權人負有（場所名稱）之防火管理業務之所有責任。2.選任位於管理或監督層次，且能適當公正地執行防火管理業務權限者之防火管理人，使其推動防火管理業務。3.指導及監督防火管理上必要業務之推動。4.申報消防防護計畫書及防火管理人遴用及異動。5.防火避難設施及消防安全設備之檢查維護之實施及監督，以及相關設施（備）缺失時之改善作為。6.在防火管理人製定或變更消防防護計畫時須給與必要之指示。7.管理權有分屬時，協同製定共同消防防護計畫。三.防火管理人之職責防火管理人負責本場所消防防護計畫之製作及實行，並推行下列防
4、火管理業務：1.消防防護計畫之製定、檢討及變更。2.滅火、通報及避難訓練之實施。3.防火避難設施、用火用電設備器具之檢查實施及監督。4.電氣配線、電氣機器、機械設備之管理及安全確認。5.消防安全設備檢查維護之實施及監督，以及法定檢修之會同檢查。6.施工中消防防護計畫之製作及安全措施之建立。7.火源使用或處理有關之指導及監督。8. 對內部員工防災教育之實施。9. 防火管理業務相關人員之指導及監督。10. 對管理權人提出建議及請求指示。 11.防止物品阻礙通路、樓梯、揭示避難路線圖等避難設施之管理。12.推動防止縱火之預防措施。13.各項防火管理相關書面資料之保管與整理。14.其他防火管理上必要之
5、事項。15.管理權有分屬時，將上揭各項事宜向共同防火管理人報告。16.其他防火管理上必要之事項。四.防火管理組織及成員職責1.防火管理編組：為確立防火管理在公司層級與任務定位，確立管理權人、防火管理人及組織成員的職責及分工，應建立防火管理組織體系。其架構圖詳如附圖一(依據消防相關法規，指揮中心下設通報班、滅火班、避難引導班、安全防護班及救護班，其餘班組別部分，各場所可自行視廠區規模、緊急應變及善後處理需要，自行增列相關編組)。2. 防火管理編組分工 (1)自衛消防隊長負責廠區發生火災、地震等緊急意外事故，災害現場之緊急應變及善後處理指揮工作，當廠區指揮官未到達災害現場前，由事故相關之工程部門主
6、管（或防火管理人）擔任隊長，指揮現場緊急應變事宜。其應辦事項如下：n 了解事故之規模及範圍，接掌指揮權。n 啟動緊急應變指揮系統。n 成立指揮中心。n 保持自衛消防編組各班別確實運作，有效處理所有區域狀況。n 判斷需求及瞭解所擁有的支援。n 判斷是否需要尋求外援。n 適時下達疏散命令，將人員疏散至安全位置。n 擬定及執行適當的應變行動，指定救災小組負責災區警戒及下達進入災區救災/搜索命令。n 火災/爆炸等緊急狀況，協助外援進入現場支援。 (2)自衛消防編組n 通報班：負責對廠內各部門通報火災狀況、緊急應變事項及將火災訊息通報當地消防機關，應注意事項如下： 掌握自衛消防活動之狀況。 收集損失狀況
7、。 熟悉對建築物內之緊急廣播與對消防機關之通報。n 滅火班：由事故發生部門負責現場初期火災搶救處理等工作，應注意事項如下： 熟悉消防設備器具之位置、性能及操作要領。 防止水損及造成二次災害。n 避難引導班：負責疏散、清點現場人員及搜尋受困者，應注意事項如下： 滅火效果不明顯時，應視為無法滅火，立即採取避難引導對策。 避難引導人員應配置於避難必經路線(如起火層及直上層之樓梯入、通道)。 電梯前應配置避難引導人員，防止使用。 操作避難設備及器具。 利用廣播設備或手提擴音器引導避難，優先引導至避難層避難並關閉防火門。 確認各部門成員平時已接受疏散訓練。 依疏散路線圖疏散內部人員至安全區域並確實清點。
8、n 救護班：對災害現場受傷人員給予及時救援並施予緊急救護及搬運，以減輕傷者遭受危害程度，應注意事項如下： 確認救護小組之成員平時已接受適當之訓練。 確認有足夠及未逾期之醫療器材。 確保需急救人員已適當被處置或送醫。n 安全防護班：採取緊急應變作為，以阻絕火勢蔓延、順暢逃生通道及防止水損等，應注意事項如下： 安全門、防火鐵捲門之操作。 關閉空調設備。 停止電梯。 對危險物、瓦斯、電氣設備之安全措施。 防止自動撒水設備放水造成之水損。 移除妨礙消防救災之物件。五.防火管理相關配合辦理事項1. 防火管理人遴用及異動時，應於3日內依附表一填具防火管理人遴用（異動）提報表，向當地消防機關提報。2. 消防
9、防護計畫製定及變更後，依附表二填具消防防護計畫製定（變更）提報表，並依附表三檢附消防防護計畫及消防防護計畫自行檢查表，三日內向當地消防機關提報。有關消防防護計畫製定後，有下列事項變更時，管理權人（或請防火管理人）應向消防機關提報。(1)管理權人或防火管理人變更。(2)自衛消防編組之大幅或重要變更。(3)建築用途變更、增建、改建等導致消防安全設備之變動時。3.實施滅火、通報、避難訓練時，應於十日前填具附表四向當地消防機關提報，並報告其結果。4.遇有增建、改建、修建、室內裝修施工時，依製定現有建築物（場所）施工中消防防護計畫指導須知之規定，於開工（指實際開工日期）三日前，依附表五填具現有建築物（場
10、所）施工中消防防護計畫提報表，檢附附表六現有建築物（場所）施工中消防防護計畫自行檢查表及現有建築物（場所）施工中消防防護計畫，向轄區消防單位提報。5.依法定期限申報消防安全設備檢修結果報告書。六.防火管理委員會1.為確保防火管理業務之落實運作，本（場所名稱）於設置防火管理委員會。有關防火管理委員會之組成，如附件一。2.防火管理委員會於每年之月及月定期召開，研擬防火管理有關事項，以及事故之分析與改善。如由防火管理人等提出，經管理權人同意時，得召開臨時會，亦可視實際情形，併廠內工安環保等因應廠內安全需要所召開之臨時性會議辦理，以解決廠內較具急迫性之工安、環保或政府機關之改善建議事項。惟若發生重大火
11、災事故，管理權人及防火管理人應儘速召開檢討會議，以調查火災發生原因及改善、復原措施。3.防火管理委員會主要研議事項如下：(1)有關消防防護計畫之變更及修正等相關事宜。(2)有關各部門防火管理工作執行檢討與策進。(3)有關防火避難設施、消防安全設備檢修申報等維護管理及緊急應變管理事宜。貳、潔淨室及輔助設施製程安全防護一.廠房配置略圖1.(場所名稱)位置圖，詳如附圖二。2.(場所名稱)平面暨逃生避難圖，詳如附圖三。二. 潔淨室空間 如以氣流系統分類，有亂流型與平行層流型與混合型三類型；如果以送風機的安排來區分潔淨室，則可分為中央系統式與風機濾網機組(Fan-Filter Unit；FFU)式；半導
12、體廠房潔淨室依設置結構可分為單區大空間式（Ballroom Type）與隧道式（Bay and Chase Type）兩種形式；現行半導體廠房多為三層式潔淨室加一層非潔淨室相連通結構組成。三層式潔淨室包括最上層SAC區（Supply Air Chamber）、中間層Fab區（Fabrication Area）與最下層RAP區（Return Air Plenum）或稱為Clean-SubFab區。非潔淨室結構為Dirty Fab區，其位於RAP區下方。SAC區內只有少數管路，如消防管、風管等。（潔淨室空間配置圖參見附圖四）三.生產製程介紹Fab區為主要生產區域，內部設置價值昂貴機台（化學清洗機、
13、化學/物理氣相植入機、離子植入機、蝕刻機等。RAP區主要放置機台附屬設備與氣瓶櫃等。Dirty Fab主要放置機台尾氣處理設備（Local Scrubber）與廠務系統設備（生產製程介紹詳如附件二、附件二之一）。四.製程中所需之易燃性(可燃性)液體為了解各製程區及供應區各可燃性物質特性，請如附件三填寫。五.輔助設施安全防護為有效防火管理對於製程的必要輔助設施之設計及安全防護方式，應依下列項目分別說明:1. 潔淨室之空調系統2. 潔淨室之煙控/污染控制系統3.製程排氣系統 4.電力供應5.易燃性與腐蝕性液體之儲存、處理、與配送6.製程氣體鋼瓶之配送地點、構造與防護7.製程氣體鋼瓶之儲存與處理8.
14、二氯矽烷與三氯矽烷9.三氟氯化矽10.矽烷供應系統 11.製程氣體鋼瓶櫃12.矽烷鋼瓶櫃13.集中式化學藥品配送14.其他安全防護參、預防管理對策一.平時火災預防1.本（場所）依消防法規定，係屬應設消防安全設備之丁類場所，為落實消防安全設備之維護管理，訂定於每年12月，委託（消防設備師(士)、專業檢修機構或消防事務所等）檢修消防安全設備，並依規定將檢修結果報請當地消防機關備查。2.為落實平時之火災預防作為，依場所之使用特性、防火避難設施、燃氣設備及消防安全設備之設置等情形，實施預防管理編組，人人皆應負起火災防制之責任。 3.火災預防管理組織負責平時火災預防及地震時之防止起火，以防火管理人為中心
15、，各樓層分別設置防火負責人，並劃設責任區域，指派各火源責任者（直接對所使用火源監督管理）進行火災防制措施。有關本場所之火災預防管理編組，如附件四。4.防火管理人應定期詢問防火負責人、火源責任者及每一位員工，以落實火災預防措施。5.防火負責人之任務為輔助防火管理人，並指導、監督負責區域內之火源責任者。6.火源責任者之任務如下：（1）輔助防火負責人，擔任指定範圍內之火源管理工作，並負責指定範圍內之防火避難設施、用火用電設備器具、電氣設備、危險物品及消防安全設備等之日常維護管理。（2）地震時用火用電設備器具之安全確認。（3）依照附件五之日常火源自行檢查表、附件六之防火避難設施自行檢查表、附件七之消防安全設備自行檢查表進行檢查。甲.日常火源自行檢查，應於每日下班時進
