《silvaco-tcad交互式工具的界面及基本操作.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《silvaco-tcad交互式工具的界面及基本操作.ppt（27页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、Silvaco TCAD框架，交互式工具的界面及基本操作,2,主要内容,3,1 Silvaco TCAD框架,4,1.1 Silvaco TCAD 框架,Process Simulation 3D-VICTORY PROCESS，VICTORY CE 2D-ATHENA，SSuprem4，MC Implant/Deposit/Etch，Elite，Optolith； 1D-ATHENA 1D，SSuprem3； Device Simulation 3D-VICTORY DEVICE，Device 3D，Giga3D，Luminous3D，Quantum3D，TFT3D，Magnetic3D，T
2、hermal3D，MixedMode3D 2D-ATLAS，S-pisces，Blaze，MC Device，Giga，MixedMode，Quantum，Ferro，Magnetic，TFT，LED，Luminous，Laser，VCSEL，Organic Display，Organic Solar，Noise，Mercury； Interactive Tools DeckBuild，Maskviews，DevEdit，Tonyplot，Tonyplot3D； Virtual Wafer Fab,5,1.2 Silvaco TCAD的主要交互工具,集成环境 DeckBuild 仿真控制 进行
3、仿真语法输入和编辑； 仿真的实时输出； 各仿真器通过DeckBuild调用； 显示工具Tonyplot 显示器件结构 显示特性曲线 导出数据,6,1.3 Silvaco TCAD启动方式,快捷方式文件夹路径 X:sedatoolsshortcuts 或 启动所有程序S.EDA ToolsDeckBuild,7,2 DeckBuild界面及主要操作,8,2.1 DeckBuild界面,仿真输入,实时输出,菜单栏,控制条,9,2.2.1 DeckBuild菜单栏File,打开/保存输入文件，保存实时输出信息,10,输入程序的编辑，设置DeckBuild特性(保存历史文件、工作路径，默认仿真器、实时
4、输出),2.2.2 DeckBuild菜单栏Edit,11,快速提取（材料厚度、结深、方块电阻），显示当前结构，工艺优化,2.2.3 DeckBuild菜单栏Command,12,2.2.4 DeckBuild菜单栏Execution,进度控制（运行、结束、暂停、设置“断点”、运行到“断点”暂停、初始化、退出、强制结束）,13,导入示例,2.2.5 DeckBuild菜单栏Help,14,2.3 DeckBuild进度控制,Run（Ctrl + R）：从上致下执行到“断点”（即“Stop at line”的“line”）时结束； Stop（Shift + F5）：执行完当前行就停止； Next
5、（F10）：运行完下一行就停止； Continue（F5）：在之前停止运行的行开始往下运行； Initialize：从仿真历史初始化； Kill（Ctrl + K）：强制立即结束； Line（Ctrl + L）：重置当前行为选择的行； Stop at line（Ctrl + B）：设置断点。,仿真控制,15,2.4 DeckBuild输入,仿真程序输入,go athena,line x loc=0 spac=0.1,line x loc=1 spac=0.1,line y loc=0 spac=0.02,line y loc=10 spac=0.2,init c.phos=2e13 oreit
6、=111 two.d,tonyplot,16,2.5 DeckBuild实时输出,程序运行时实时显示运行进度和结果,17,3 Tonyplot界面及主要操作,18,3 Tonyplot界面,显示结构和仿真曲线,19,3.1.1 TonyplotPlot菜单,Display：显示方式设置,20,3.1.2 TonyplotPlotDisplay,Mesh：显示结构中的网格分布 Edges：显示结构的边界 Regions：显示材料区域 Contours：显示器件结构内部的物理量 Vectors：显示器件内部的矢量信息 Light：显示光线在器件内部的特性 Junction：显示器件结构中结的边界
7、Electrodes：显示电极的名称 3D：显示三维信息 Lines：按照颜色来显示,Mesh,Electrodes,Edges,Regions,Junction,Conrours,21,3.2.1 TonyplotToolsCutline,在二维结构中划“线”（直线或折线）以显示一维信息,22,3.2.1 Tonyplot ToolsCutline,23,3.2.2 TonyplotToolsRuler,测量两点的距离、连线和水平线的夹角angle以及斜率,24,3.2.3 TonyplotToolsIntegrate,对一维曲线进行积分 Cutline得到一维分布或器件仿真得到的特性曲线,25,4 总结,本课的主要内容 Silvaco TCAD框架 交互工具DeckBuild及主要操作 交互工具Tonyplot及主要操作 下一课主要内容 TCAD仿真流程 语法规则 语法学习及书写建议,26,谢谢！,欢迎提问,
