《奈米科学与奈米科技的发展仰赖於制造技术的提升与改进》由会员分享，可在线阅读，更多相关《奈米科学与奈米科技的发展仰赖於制造技术的提升与改进（2页珍藏版）》请在金锄头文库上搜索。
1、(台北班)奈米科學與奈米科技的發展仰賴於製造技術的提升與改進。近十年來，隨著半導體微影技術的進步。人們已經可以很順利地製造尺寸小於100nm的微型結構及元件。然而，當奈米結構的尺寸小於22nm時，製造過程會變的很複雜及困難。奈米壓印技術是一種次世代微影技術。此種技術利用轉印的方式可以將模板上的奈米圖形轉印至基板上。奈米壓印技術不僅可以製造奈米結構，也可以用來進行大範圍面積的轉印。因此，奈米壓印技術是下世代微影技術中最具潛力的一種微影技術。工研院特邀請擁有多年研究及相關經驗之專家講師授課。課程規劃之目的為培養電子束微影技術應用與奈米壓印系統的設計概念，為企業推動產業微影技術應用與大量及快速奈米結
2、構製造方法的訓練重要基礎技術人力。本課程是以傳統光學微影技術應用與製程相關課程為基礎，循序漸進介紹奈米壓印系統設計及應用、產業現況及未來趨勢，使學員了解奈米結構製作與壓印系統之觀念。課程內容包含：光蝕刻微影、電子束微影、奈米壓印技術種類及方法等關鍵技術內容，期望可使結訓學員能夠馬上進入企業貢獻其專才。課 程 大 綱101年07月26日（四） 9:3016:30101年07月27日（五） 9:3016:30一、 光蝕刻微影技術1. 光罩製作2. 光阻塗佈3. 曝光及圖案轉移4. 蝕刻製程5. 結構尺寸極限二、 電子束微影技術1. 何謂電子束2. 電子束聚焦及控制3. 電子束直寫及曝光4. 圖案轉
3、移一、奈米壓印技術簡介1. 壓印模板製作2. 光阻塗佈3. 脫模方法4. 奈米結構移轉二、奈米壓印方法及種類1. 熱壓式奈米壓印2. 紫外線固化奈米壓印3. 卷對卷印刷技術三、奈米壓印技術實際應用1. 綠能應用2. 生物科技應用3. 光電元件應用4. 半導體電子元件應用講 師 介 紹孫 教授現 職：國立交通大學應用化學系 教授學 歷：美國普林斯頓大學 電機博士經 歷: 加拿大滑鐵盧大學電機系訪問教授、國立東華大學物理系教授、副教授專 長：再生能源、奈米微影技術、半導體光電元件、生物感測 課程日期：101年07月26日07月27日(四、五)，上午09:3016:30，共12小時。 上課地點：台北
4、市中正區館前路71號(館前聯合大樓)實際地點依上課通知為準! 報名資格：相關行業之技術研發、品保人員或對相關技術有興趣之人士。 費用：每人6,500元整。 優惠方案：開課十日前報名且完成繳費或同公司二人(含)以上報名， 5,500/人。 報名方式：線上報名http:/college.itri.org.tw，或請將報名表傳真02-2381-1000 課程聯絡人：(02)2370-1111 分機316嚴小姐、分機309徐小姐-#- 報 名 表 FAX TO：02-2381-1000課程名稱：奈米壓印技術及應用研習班 (台北班)公司全銜統一編號發票地址傳真參加者姓名部 門電 話手機E-mail( )
5、( )( ) 信用卡（線上報名）：繳費方式選信用卡，直到顯示您已完成報名手續為止，才確實完成繳費。 ATM轉帳（線上報名）：繳費方式選擇ATM轉帳者，系統將給您一組轉帳帳號銀行代號、轉帳帳號，但此帳號只提供本課程轉帳使用！轉帳後，寫上您的公司全銜、課程名稱、姓名、聯絡電話與收據回傳。 郵政劃撥：帳號19614470，戶名財團法人工業技術研究院-院本部，請填具報名表與收據回傳。 銀行匯款：土地銀行工研院分行，帳號156-005-00002-5（土銀代碼：005）。戶名財團法人工業技術研究院，請填具報名表與收據回傳。 即期支票或郵政匯票：抬頭財團法人工業技術研究院，郵寄至：100台北市中正區館前路65號7樓704室，嚴小姐收。 計畫代號扣款：工研院員工報名請網路點選工研人報名填寫計畫代號後，經主管簽核同意即可。1、請註明服務機關之完整抬頭，以利開立收據；未註明者，一律開立個人抬頭，恕不接受更換發票之要求。2、若報名者不克參加者，可指派其他人參加，並於開課前一日通知。3、如需取消報名，請於開課前三日以書面傳真至主辦單位並電話確認申請退費事宜。逾期將郵寄講義，恕不退費。頁 2 / 2 課程聯絡人：(02)2370-1111 分機316嚴小姐
