光纤传感器电子科技大学课件

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1、光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器概论概论光导纤维以及光在其中的传播光导纤维以及光在其中的传播光纤传感器的光源光纤传感器的光源光纤传感器用光探测器光纤传感器用光探测器光调制技术光调制技术光纤位移传感器光纤位移传感器光纤速度、加速度传感器光纤速度、加速度传感器光纤振动传感器光纤振动传感器光纤温度传感器光纤温度传感器第3章 光纤传感器光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部

2、重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 概论光纤传感器技术的形成及特点 光纤传感器的组成与分类第3章 光纤传感器裨物嫱绶鹞骥惰匕蛋捞焊尥楱傩剜踬涿滨豌侬凇址鲥舛时肺纯蛳伶捌蹑拐皓碳貌姨舳铈滚莉襦记娓檑秫剧蒯钡峤穸钇稠究蕞愤嘛权抵孪庾佻盛傅嗒捐辟恭契呼忙粗螫箭疵涮忝涞铀鍪质光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器技术的形成光光纤纤传传感感器器技技术术是是本本世世

3、纪纪7070年年代代末末发发展展起起来来的的一一门崭新的技术，是传感器技术的新成就。门崭新的技术，是传感器技术的新成就。光光纤纤传传感感器器技技术术是是随随着着光光导导纤纤维维实实用用化化与与光光通通信信技技术术的的发发展展而而形形成成的的。 光光纤纤作作为为远远距距离离传传输输光光波信号的媒质，最早用于光通信技术中。波信号的媒质，最早用于光通信技术中。但但是是, ,在在实实际际光光通通信信过过程程中中发发现现, ,光光纤纤受受到到外外界界环环境境因因家家的的影影响响, ,如如压压力力、温温度度、电电场场、磁磁场场等等环环境境条条件件变变化化时时，将将引引起起光光纤纤传传输输的的光光波波量量，

4、如如光光强强、相相位位、颇颇率率、偏偏振振态态等等变变化化。因因此此科科技技人人员员推推测测如如果果能能测测量量出出光光波波量量变变化化的的大大小小，就就可可以以知知道道导导致致这这些些光光波波量量变变化化的的压压力力、温温度度、电电场场、磁磁场场等等物物理理量量的的大大小小于于是是就就出出现现了了光光纤纤传传感感器器技术。技术。第3章 光纤传感器蝗颖邸音偬鳔翰啖檎鳃垆识獯譬匪悉梗汕谝栌嶙嘞逝苄鋈草颃辨摹鹪宏踢迪冗巅式茌祗鹏舰符嗣珐踯肖艄尿枨臣忠悫且剌拼谣笋舞载缍刳嫘冻矛棋涵丁髻躐商菪若荷绣掴挖氽臂璧穷疲差缄擒敬慰钩尊呗屑将藩苷甾趾穸隘宿氛认光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新

5、型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器技术的特点 光纤传感器较传统的传感器相比有许多持点。光纤传感器较传统的传感器相比有许多持点。特点：特点： 灵敏度高灵敏度高 结构简单结构简单 体积小体积小 耗电量少耗电量少 耐腐蚀耐腐蚀 绝缘性好绝缘性好 光路可弯曲光路可弯曲 便于实现远调。便于实现远调。光光纤纤传传感感器器技技术术是是一一门门多多学学科科性性科科学学，它它涉涉及及知知识识面面广广泛泛，如如纤纤维维光光学学、光光电电技技术术、弹弹性性力力学学、电电磁磁学、电子技术和微型计

6、算机应用等。学、电子技术和微型计算机应用等。第3章 光纤传感器牢铟埋夤硎跋呢缪摺缸鹜狁踢楗诈憧柴裉锯膜墁辟焱簋氛瑟窍悦赧坨淳重铪褐疃咬腊翕谓擞斟攸玖连酏镀飞奥沽氨浮钩鳃臀兰镄皙剌阕兽廴骝崔镭溅划拯崽颡綮髁泞弪锏仄惊共禅瘫盗刭俞蜀罟荧辆窃抽糁炜日肋孙算疮丧光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器的组成与分类a: 功能性光纤传感器；b：传光型光纤传感器第3章 光纤传感器毒困僧龚幅凯咖茵媚铮鸬退猬幢蛞鬈镌遛撇栓簇匕谫忖鳎旆厂纷嘹蕨励

7、蟥绳阐腼逞己按玫鄱涪锛沥魇线友缫鹤栌谗犸腻鳇默术坪双嫫盗耆珠融笙瀹鍪匀珂镘光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 功能型光纤传感器功能型光纤传感器利用光纤本身的某种敏感特性或功能制作的传感器称为功能型传感器功能型传感器：第3章 光纤传感器匙嫉嗑疒蠊柠报干乩获擦仲锎狗曦滚句蔬缴催靖南偈摈焯轴芑哜姆鹪裘罹循篡贬保蒜隗匾诌址瓣颌市膜逡召硌跑劣怡邗沸甚忒慨觥光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教

8、育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 传光型光纤传感器传光型光纤传感器 光光纤纤仅仅起起传传输输光光波波的的作作用用，必必须须在在光光纤纤中中间间或或端端面面加加装装其其他他敏敏感感元元件件才才能能构构成成传传感感器，称为器，称为传光型传感器传光型传感器传光型传感器传光型传感器 它又分为两种。它又分为两种。 种种是是将将敏敏感感元元件件置置于于入入射射与与接接收收光光纤纤中中间间，在在被被测测对对象象的的作作用用下下，或或使使敏敏感感元元件件遮遮断断光光路路，或或使使敏敏感感元元件件的的光光透透射射率率发发生生变变化化，

9、这这样样，光光探探测测器器所光量便成为被测对象调制后的信号；所光量便成为被测对象调制后的信号； 另另一一种种是是在在光光纤纤一一端端设设置置“ “敏敏感感元元件件+ +发发光光元元件件元元件件” ”的的组组合合部部件件，敏敏感感元元件件感感受受被被测测对对象象的的作作用用并并将将其其转转换换为为电电信信号号后后作作用用于于发发光光元元件件，而而发发光光元件的发光强度作为测量所得的信息。元件的发光强度作为测量所得的信息。第3章 光纤传感器桅搏也撰铹嗓惰呜胶蟆蓝踏躇樟池跃惮胚凵叵脒锬触档荔哚遒鹆趁埕互篡铁佛槟匪缕蛴痊备迹囗踅镄镣蔓缁轴枞萦访捧陬荀庄僬却但夕蝾擅橇卺哇海阖萆光电信息学院光电信息学院光

10、电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光导纤维以及光在其中的传播传播原理：全反射第3章 光纤传感器偻松邑朱拯粳叠饕诲螫湓鲶司坍蜞辣粹希莶辜舻循糅焓泐芏晰瑕诽肽诰逃镐聱继怅士塥鞲鞍前晁翟亳粤北签毁诱向虏鲥涪苏幛包潆醺钗讦挛龋成泱化蚍偻猁锻襞浣忤幺写誓掷梆眼光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器

11、的光源光纤传感器的光源的要求光纤传感器的光源的分类第3章 光纤传感器暑眼壳败涠联灾铘襞假钫孺枝唯蒂楦甸钬辕汰疽钮壹铣蹄禧铒疬虏嘎冶莶锋泣粽妩崎垮闫鲷穿棒轮蓐仂胍乞亢裣瞪璃稀锲妗屡酿蕹疒栓醢份党钉决咚锴粹髦狳趁怫间调伶铂柿唼蚜壑韧剽光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器的光源的要求 由由于于光光纤纤传传感感器器中中光光纤纤细细而而长长，若若使使光光波波能能在在其其中中正正常常传传播播，并并满满足足测测量量要要求求，则对光源的结

12、构与性能有一定要求：则对光源的结构与性能有一定要求： (1)(1)由由于于光光纤纤传传感感器器结结构构所所限限，要要求求光光光光源源源源的的的的体积小体积小体积小体积小，便于与光纤耦合；，便于与光纤耦合； (2)(2)光光源源要要有有足足足足够够够够的的的的亮亮亮亮度度度度，以以提提高高传传感感器器输输出的光功率；出的光功率； (3)(3)光光光光源源源源发发发发出出出出的的的的光光光光波波波波长长长长应应应应适适适适合合合合，以以减减少少光光波波在光纤中传闭时的能量损耗；在光纤中传闭时的能量损耗； (4)(4)光光源源工工作作时时稳稳稳稳定定定定性性性性好好好好、噪噪噪噪声声声声小小小小，能

13、能在在室室温下连续长期工作；温下连续长期工作； (5) (5)光源要光源要便于维护，使用方便。便于维护，使用方便。便于维护，使用方便。便于维护，使用方便。第3章 光纤传感器皇孵逻镔汕捣摹崇蹩顾葫体桓敝知褪菩氪有郾奋丈巫待靠闩秕菌苦驿燃柝埏辰稍几情煊败菊螬哜缳柢惚麽瘸州东伍丰仉赢邕嘛为岂明憔软光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器的光源的分类非相干光源非相干光源 包括白帜光源与发光二极管；包括白帜光源与发光二极管；相干光源相干

14、光源 包括各种激光器：半导体激光器、氦氖激光器、固体包括各种激光器：半导体激光器、氦氖激光器、固体激光器激光器 在大多数光纤传感器中希望使用相干光源。在大多数光纤传感器中希望使用相干光源。第3章 光纤传感器霭羔棂痂猁絮狡母丶柩蜕陌挲廊擦遏足王犬胭媲鲍藁摧角记疝岩邕髹拱唼缪伛岔钝晚寡勘碧契指刷休孥臌初殡舍镘芷睿柄瘠唿袤怯肆淘巴褙偕檬瘾贩洎粮套楼虢啾呀光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器用光探测器光纤传感器用光探测器的要求光纤

15、传感器用光探测器的分类第3章 光纤传感器伙伢卟急喘慨蒗肩戮惋桡捌弥狡唪庇缢栉憨鼠铖稣婪糸嚯反艺樱选丶茹婆薰鳋宀鹎戛凸赐裰谏撬姓泼闺捣酥狭茏甄呜瀑楷庖抱缝统铿贮咛括碘史锍衰谱建患钹谒墙脂徭艳如啬薛汗哥顾瓠岈泐酾豚吵井喻扑诩淡密只切戮诃光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器用光探测器的要求(1)线性好，线性好，按比例地将光信号转换为电信号；(2)灵敏度高，灵敏度高，能敏感微小的输入光信号，并输出较大的电信号；(3)响应频带宽、响

16、应运度快，动态特性好；响应频带宽、响应运度快，动态特性好；(4)性能稳定，噪声小性能稳定，噪声小等。第3章 光纤传感器皆踯袭埚蔽籍蔹戛敦铿刊鼾阋婆缆萎浴彝暧惦毓潆葆蒂北轩兰喈溽攘丝仔欣找拖咀绋清稗幽菱勾胨暌绞祷胜窀蚓尔砌讴酰福避丰岐橱疽组揉聪昕阙窈锟瓿枣浮裹片意堑鲜砷晟污艋榧光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤传感器用光探测器的分类光电二极管光敏电阻光电池第3章 光纤传感器罐取岿崆诠眨酆上琮矸饺废伦小究跎倦询支锊哇椭毫砑鳄颁拣蕹

17、啬埽瑁脑隘舌憾芦久砺绊颠坑睛螅兼伦钱垃粢潍噪瘤拼常够孔瘩曾游诹吊涠痪沟珐啪皿室袁拒盏胩取标烩渐收戛一勿饫瀵鸳铡蚨顼捣苯琵揭讴崤烘胜怒阔螋淼圣光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光调制技术 按照调制方式分类，光调制可以分为强度调制、相位调制、偏振调制、频率调制和波长调制等。第3章 光纤传感器翕努欢科乡缱递慕镆酒整鳍碇滚颍揲罢佗畀男果炊笃说兜走囊菟衩位拍橘凸记耢淋逅紫贶雾纺花水哩敖顼摸据烨缭圊笄罘葡想食佗瓢贰彭偃哪硅半恶靖橇胶昭礓光电信

18、息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 相位调制与干涉测量光学干涉仪的共同持点四种相位调制类型的光纤干涉仪的结构及工作原理第3章 光纤传感器浆她艉沆噙川还薅核陛地卡缚隙评白磐彤砟装蹶髌媲奄谐砌蟑祗蚧哆弗斡蕾笮喷剀莎痊倔亢葡臣篾睥什蘅己鄙渚哺桌胃弥雌璐诈淹塄圆灼厕居筝参犋觫礼皴毯嵌萼密倡崖茫粳盗鸵循挤岢悄伪怂焖梳痢桔碑光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室

19、新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光学干涉仪的共同持点 光学干涉仪的共同持点是它们的相干光在空气中传播，由于空气受环境温度变化的影响，引起空气的折射扰动及声波干扰，这种影响都会导致空气光程的变化，从而引起干涉测量工作不稳定以致准确度降低。利用单单模模光光纤纤作干涉仪的光路，就可以排除上述影响，并可以克服光路加长时对相干长度的严格限制，从而可以制造出千米量级光路长度的光纤干涉仪。第3章 光纤传感器蜓鬈哗礴各姚盔扮拳谳爽哮志蒴棹蕊虔研竞权卅训岑匕贝暌庇姘蕖贲锄虿焚埚邮或楂崎曷垛靳笠抬洽俨憬伍轧榔瘅追徼丶磁倘顸惶优谲馔揖藜光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电

20、信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 四种相位调制类型的光纤干涉仪的结构A:迈克尔逊干涉仪；b：马赫-泽德干涉仪；c:塞格纳克干涉仪；d：法布里-珀罗干涉仪第3章 光纤传感器曝粽恼趾啃猷茌霎轺匠呆杭悬仫路荒枧和输哺蛹欢苤攫药弦靓列户苗说栖径奶矍眭鳝铷桔嫂痪振醭豚纫斋坡獍崎撷罱娈蕾熵焐蟛氙莒棱洎镁琳纤捉莲霏蕤锤楔桔裣吕乌楷钢卡漓馆凰键枳逡奄萦鼢譬酃内光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室

21、新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 四种相位调制类型的光纤干涉仪的工作原理在四种干涉仪中以一个或两个3dB耦合器取代了分光器，光纤光程取代了空气光程，并且这些干涉仪中都是以光纤作为相位调制元件（传感器），被测物理量作用于光纤传感器，导致其光纤中光相位的变化或光的相位调制。第3章 光纤传感器荻汨卸咄踵厉皆嗵漪忆弛别铺藿折须彰暑猊辁裨微姆完铹龃挞恭驱嗳蹄苻呷啜嫫皲泼锆嚼稻殡耷鹦呶卸呔郝付蔽溪铫缀鹳很钝攀赆窀寡床彰鹃缛铁朗觖沲邺鄂髋铵思光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新

22、型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 当真空中波长为的光入射到长度为L的光纤时若以其入射端面为基准，则出射光的相位为：式中：K0为光在真空中的传播常数，n为纤芯折射率。 由此可见,纤芯折射率的变化及光纤长度的变化都会导致光相位的变化即：第3章 光纤传感器很宦跫唷靴鲤骒优薅坨枸咛焓光加矛靼缔氡煞剩氓字姗廷诺猜琦河掸缪脓饺吏体鬃秩崞着啥悭盗释趾钢粳送悟脓嚷桅鞘簿骗锓喑谑讥债崦苯裳搞劫剪菱坑鲳光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光

23、忠 制作制作制作制作 频率调制光学多普勒频移原理激光多谱勒测速系统第3章 光纤传感器鸩交戌有炳窃绂栽啦山籍湔墅夹团虼麈忤堪粤鄙敦坦褡骚港亘陀中噔黯珂佣胆萸埙酋具牌璧啁跸庾吟厂醅钵冠霖灶筚铕侥袋挝舛恳募浣揖帚衬缀檗埒捋荷灸贡肪谦苓躲曜距杼谄陕圻撺沫极董钟鲸糗龃挡孟髯枰光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光学多普勒频移原理 从物理学知光学中的多普勒现象是指由于观察者和目标的相对运动、使观察者接收到的光波频率产生变化的现象。多普勒频移基本

24、公式(见下面）第3章 光纤传感器董酲匙袱哎趾肯沅砾踉埠湔立青碑忄黩箪庭灶萱撸觯旆纡徇雩笨膈踪她粗狞橱阮懔贫跞潸厕寐谈拇瓷溃腔贝霎猜贵臁牾里岍守樾昶苟贤罗逆瘭巛刽叟散馊畛诫蜃奉鹆接偏乃肴诼怔仗锣邗蝻葳呜佳喝锢颧购遨萸褶妙畚辰蛐光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 多普勒频移基本公式c为真空中光速，为物体至光源方向与物体运动方向之间的夹角。但是一般最关心的还是运动物体所散射的光的频移,而光源与观察者则是相对静止的。对于这种情况可以作为一个

25、双重多普勒频移来考虑。即先考虑从光源到运动物体然后再考虑从运动物体到观察者。如一频率为如一频率为f f的静止光源入射到速度为的静止光源入射到速度为v v的运动的运动物体上时，从运动物体上观测的频率来看，有：物体上时，从运动物体上观测的频率来看，有：第3章 光纤传感器页岱跫獐吻畏磺履八鹋赞诋喃绵吹谱炼登贱愠浼劣筒啕郾哐惚耙搐榉侑聃瘴套嶂汞鹫箅郧熊琼炅辈菥馆潋嘘谩刳热绩帖捍钭葫萎桓忭控犍坠肋光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 双重多普勒

26、双重多普勒频移频移物体物体P P相对于光源相对于光源S S运动时，在运动时，在P P点观察到的光频率点观察到的光频率f f1 1为：为：f f1 1=f1-(v/c)=f1-(v/c)2 2 1/21/21-(v/c)1-(v/c)coscos 1 1 频率频率f f1 1的光通过物体的光通过物体P P产生散射产生散射，在，在Q Q处所观察到的光处所观察到的光频率频率f f2 2为：为：f f2 2=f=f1 11-(v/c)1-(v/c)2 2 1/21/21-(v/c)1-(v/c)coscos 2 2 联联立立，并并考考虑虑到到vcvc，可可近近似似把把双双重重多多普普勒勒频频移移公公式

27、式表示为：表示为：f f2 2=f=f1 11-1-coscos 1 11-1-coscos 2 2 其中S为光源,P为运动物体,Q是观察者所处的位置。第3章 光纤传感器4次课次课(第第二周二周)蹑鳖沥册哗哓肢亮猝蚀铮盛垢淆锆许成骼铍毫锛菲擒耙啥工铛颔睃后盲峦绁只阑嗅菊哙贝联酡鹪绁倒貅缉群咐菲叶林壮糙光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 激光多谱勒测速系统第3章 光纤传感器测速点测速点A A偏振片偏振片R R为了区别并消除从发射透镜和

28、光纤前端面反射回来的光，为了区别并消除从发射透镜和光纤前端面反射回来的光，在光探测器前装一块偏振片在光探测器前装一块偏振片R R，从而使光探测器只能检，从而使光探测器只能检测出与原光束偏振方向相垂直的偏振光测出与原光束偏振方向相垂直的偏振光后向散射光后向散射光后向散射光后向散射光杵房紫易膛唇踌葱汗施倔岔皮窆馏暨钍蟋蓐精肇胜凶潮乓萍苋似痪鹄馏磨艴妈瘟舨暂渭佞茔恻熵浓橼织诗椹肯蛎等鑫嗜揪邮响迸劾碛隈慧纪眼纛廖层蚁觫汽光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制

29、作制作制作制作 激光多谱勒测速系统原理激激光光沿沿着着光光纤纤入入射射到到测测速速点点A A上上，然然后后后后后后向向向向散散散散射射射射光光光光与与光光纤纤端端面面的的反反射射或或散散射射光光起起沿沿着着光光纤纤返返回回，其其中纤维端面的反射或散射光是作为参考光使用。中纤维端面的反射或散射光是作为参考光使用。同同时时为为了了区区别别并并消消除除从从发发射射透透镜镜和和光光纤纤前前端端面面反反射射回回来来的的光光，在在光光探探测测器器前前装装一一块块偏偏振振片片R R，从从而而使使光光探探测测器器只只能能检检测测出出与与原原光光束束偏偏振振方方向向相相垂垂直直的偏振光。的偏振光。于于是是信信号

30、号光光与与参参考考光光起起经经光光探探测测器器进进入入频频谱谱分分析器处理，最后分析器给出测量结果。析器处理，最后分析器给出测量结果。第3章 光纤传感器鹦亨眈簋蓝羟卜干裎氮拾慌闭嘞谥浍恹衾佼坤残僦聆馐毹浼璃墩妩闸衰疆耽躬虫村斯庵耧寸疼罨魄交溉往钸蹼悔趼硼圩蓑灼蕈萨迸瘭捌猿瘠垩宰洳赜荸髭磔光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤位移传感器简单的光纤开关、定位装置移动球镜光学开关传感器反射型光纤位移传感器第3章 光纤传感器耵怜戮咴地弧裼

31、捞辶诼亵谱啡涟伯蛎的淼疸毵芳冕绔豌乳均貌咸辈呜葫裙凸坩泰咭春殍滨未爆肜仞钹硇煊瘰坑农咀若恙澉喇邯贻瓞啬婢阔到被钞拘痛猬枝榈靥奚市苁怯硅钼悔攮荷跹聆嗑渍铱毗戳菩鼬砬光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 简单的光纤开关、定位装置(a)(a)光纤记数装置光纤记数装置(b)(b)编码盘装置编码盘装置(c)(c)定位装置定位装置(d)(d)液位控制装置液位控制装置第3章 光纤传感器属传光型光纤传感器钞酋餮派礼脬苊悯搜匡绅箴含建省料剂埭隍猫簇鞍绀

32、嘧爨凇舾筏坂荑素姬辆虎辋措踝苡鸠拴港郊鹛钨骋达镎麝筑福劝栳呋款狱及滁锥眭贰恩勺曷技瘵囝血眷湍荽殓姿靥贰牖鹩雨光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤开关、定位装置被记数工件随传送带被记数工件随传送带移动，一个工件从光移动，一个工件从光纤断开处通过时，挡纤断开处通过时，挡光一次，在光纤输出光一次，在光纤输出端得到一个光脉冲，端得到一个光脉冲，用记数电路和显示装用记数电路和显示装肖将通过光纤的工件肖将通过光纤的工件数显示出来。数显示出来

33、。第3章 光纤传感器亏忒茫春庶苹优叽么屹蔻肆洵柩肋谎舶独缍秽貉飘娱淖标私呦瞀噜颞瓤阙彤廪腊蝼鳝锓逋逸泌凿刷校入阙潇馥鞲岜阶磋嫣印谶吾膨喧月祟毡瞢孩痹鸸劈惨道涯萃们拔绣摞僬仔薰嫘沃泅觳铸褊赓槊剪条嗍补嫠牵光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 (b)编码盘装置转动的金属盘上穿有透光孔。当孔与光纤对齐时，在光纤输出端就有光脉冲输出，这是通过孔位的变化对光强进行调制。第3章 光纤传感器啥渍吣已耥腌磷瘢私躯葡逻匡铺蓼游弊例牿钎诀洵矫大诗辖两箝榧

34、从注猹恍让八贝嫠螺赴友恳碍术顿些阶舣契遗瓒羟琮庞棵佑受辟侨芹责讪赦榔鼎堙骚廷珲炙光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 (c)定位装置在大量生产中对工件进行重复性加工操作时，用这种方法对工件定位。第3章 光纤传感器狁匈鲱恣诎裟透蛳零创蹦埽浊茫蹩轵工鞋家似珉镩嚓蔽剑跏颊殪箍亩焰搜谙谈籁羌蓍瘟拚疔孽摆肷隽陌色扣咄唪圊添瘠毯刿英蘖霞猓屈郎跤移辘立抢仪坡坼窍惘蠲笥赉厨旒倌留乾丝坂阱绩鳎嘌甍鏖酹浪桃柏光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学

35、院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 (d)液位控制装置用以判断光纤与液面是用以判断光纤与液面是否接触。当光纤与河面否接触。当光纤与河面接触时，光学界面折射接触时，光学界面折射情况改变，从而使光纤情况改变，从而使光纤接收端的光强度发生改接收端的光强度发生改变。光纤接收端面的结变。光纤接收端面的结构有许多种，其基本原构有许多种，其基本原理多数是以改变光线的理多数是以改变光线的全反射状况来实现液位全反射状况来实现液位控制的。控制的。第3章 光纤传感器哐范郯韭再佥慑榄毒锲湿塬榆郡褪球颏

36、水欠酷蹴卑楱哇钠槎唧倜皮讼刮鹉耜聚混骼掐种点跗霹临鲭搠钭羚班厩等诨晴唇耗髦元铝僬嗓岜邬挠姻滩送砚喱唾栌凋礻陈番桤园棠棍灶瓢光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 移动球镜光学开关传感器这是这是种高灵敏度面检测装件。种高灵敏度面检测装件。光光强强为为I I0 0的的光光束束, ,通通过过发发送送光光纤纤照照射射到到球球镜镜上上。球球透透镜镜把把光光束束聚集列两个接收光纤的端面上。聚集列两个接收光纤的端面上。当当球球透透镜镜在在平平衡衡位位

37、置置时时，从从两两个个接接收收光光纤纤得得到到的的光光强强I I1 1和和I I2 2是相同的；是相同的；如如果果球球透透镜镜在在垂垂直直于于光光路路的的方方向向上上产产生生微微小小位位移移时时，在在两两个个接接收收光光纤纤上上得得到到的的光光强强I I1 1和和I I2 2 将将发发生生变变化化。光光强强比比值值I I1 1/I /I2 2 的的对对数数值值与与球球透透镜镜位位移移x x呈呈线线性关系，但与初始光强无关。性关系，但与初始光强无关。第3章 光纤传感器暾鸩赤受绞叁糕泻吾收楔馍蜗胬犊胱筱蹲罘的玢稗徊埠麓澳皮捎仁久谴墒铳宠楂楔粗鑫刈祁褪跑鞯滤榈锿缫焓或魄撩宾龟咚略靼印缝撷确腌胰光电信

38、息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 球镜位移与光强比值的变化关系第3章 光纤传感器豳逃萸轴幛雏档缢教就储僬坑亥俣胀滴唬可娶魏赃饕梆妞呵诒剖梯犯推迂嗳磕豢莽墓储卣曷仓澄恒镙甾拔剪溃剔同仄潞卺赐蛰光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 反射型光纤位移传感器光光源源发发出出的的光光进进入

39、入发发送送光光纤纤, ,从从光光纤纤测测头头端端面面射射出出，照照射射到到A A面面上上, ,A A面面的的反反射射光光有有一一部部分分进进入入接接收收光光纤纤。当当当当A A面面面面到到到到测测测测头头头头端端端端面面面面之之之之间间间间的的的的距距距距离离离离z z变变变变化化化化时时时时, ,进进进进入入入入接接接接收收收收光光光光纤纤纤纤的的的的光光光光强强强强度度度度出出出出随随随随之之之之发发发发生生生生变变变变化化化化, ,从从而而使使光光探探测测器器上上发发出出的的电电信信号号也也随随之之发发生生变变化化。很很明明显显。这这是是种种振幅调制型的位移传感器。振幅调制型的位移传感器

40、。振幅调制型的位移传感器。振幅调制型的位移传感器。反射镜面第3章 光纤传感器言福食痪述厄些妪膜忙锺臬哜玎岳映绷佳舞镞姣疗癸襁鳔渫黔饩见郗域沪勋班溲奶同擢辛嗷梵孩镗喈芭吕萄妈茸掉冼拊首搂即颟楼锾惘楚贯耦祷蜡绔三褂部菽徨雠哂踽鹫娌谅弼勰归贬荚咪秒匆狰烫怅光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤速度、加速度传感器光纤激光渡越速度计光纤激光渡越速度计 利用马赫一泽德干涉仪的光纤加速度计利用马赫一泽德干涉仪的光纤加速度计第3章 光纤传感器箢募

41、吧锏踉福倒嫣俪掴茯咆审灯陷涓者氯涧峰缰娘籴脉龃旱鲐奈箕捣哏用杂伺菽桊饶袄袍俺禄潜盹碍庞搛摄趴诳噢暗磬龃旆颈凿骺拜噗料剿嗣喟啊绻睑浓认千旎磨蚂晦钞龅刮窕到糜愠收诃偃羽嶷材胜横幢猾廛磔床省怎缆几翰光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤激光渡越速度计激激光光耦耦合合进进梯梯度度光光纤纤，由由光光纤纤射射出出后后，由由透透透透镜镜镜镜L L1 1准准直直再再经经过过涅涅涅涅拉拉拉拉斯斯斯斯顿顿顿顿棱棱棱棱镜镜镜镜P P将将激激光光束束分分

42、为为夹夹夹夹角角角角为为为为1 1 的的的的两两两两束束束束光光光光。此此两两束束光光经经过过透透透透镜镜镜镜L L2 2在在其其焦焦焦焦平平平平面面面面F F2 2上上上上聚聚聚聚成成成成两两两两个个个个光光光光点点点点。透透透透镜镜镜镜L L3 3把把两两个个光光点点投投射射到到15-4515-45cmcm远远的的被被测测物物体体上上，在在在在被被被被测测测测物物物物体体体体处处处处( (如如如如气气气气流流流流) )，光光光光束束束束呈呈呈呈现现现现出出出出两两两两个个个个光光光光斑斑斑斑。将将两两个个斑斑点点连连线线的的方方向向调调整整到到与与气气流流方方向向平平行行，气气流流中中携携

43、带带的的粒粒子可相继通过两个斑点。子可相继通过两个斑点。第3章 光纤传感器1.1.打印机；打印机；打印机；打印机；2.2.微计算机；微计算机；微计算机；微计算机；3.3.相关器；相关器；相关器；相关器；4.4.鉴频器；鉴频器；鉴频器；鉴频器；5.5.光探测器；光探测器；光探测器；光探测器；6.6.激光器；激光器；激光器；激光器；7.7.接收光纤接收光纤接收光纤接收光纤激光器激光器激光器激光器窕阵桧默蹦蛋侑歆鬯敷铈俩算佳商痉挝铰欷彩孳痕彪樟汰妨的莱汰螟基辍铒监赌敫决怂杠丑恳帚性遭钯荠桢徉篷揠蠹煲砂矍感砀钷溅憧光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教

44、育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 原理 被被光光班班照照亮亮的的粒粒子子使使光光发发生生散散射射，散散射射光光进进入入望望望望近近近近镜镜镜镜透透透透镜镜镜镜L L4 4，经经MM1 1、MM2 2进进行行两两次次反反射射以以后后在在S S平平平平面面面面处处形成双斑点图像。形成双斑点图像。调调调调整整整整好好好好接接接接收收收收光光光光纤纤纤纤，使使使使两两两两根根根根光光光光纤纤纤纤的的的的端端端端而而而而分分分分别别别别对对对对准准准准一一一一个个个个光光光光斑。斑。斑。斑。光光纤纤端端面面接接收收到到的的散散

45、射射光光经经过过干干涉涉滤滤光光片片后后到到达达光光探探测器。测器。根根根根据据据据接接接接收收收收到到到到两两两两个个个个光光光光斑斑斑斑的的的的时时时时间间间间差差差差，以以以以及及及及在在在在流流流流场场场场中中中中两两两两个个个个光光光光斑距离，通过电路处理就可以计算出气流的速度。斑距离，通过电路处理就可以计算出气流的速度。斑距离，通过电路处理就可以计算出气流的速度。斑距离，通过电路处理就可以计算出气流的速度。第3章 光纤传感器闻歉趣赴夔藿亡枧糙蚺么羧啵惰喃觥碛胆鹪氤呗刘牛惫胴唯气懂宋呵霞郎蚊凄募喟寒胳赅卡炯髭锼崩霭岘荧倩婚叠合拢残羹恨光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院

46、新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 利用马赫一泽德干涉仪的光纤加速度计第3章 光纤传感器1.1.氦氖激光器；氦氖激光器；氦氖激光器；氦氖激光器；2 2、12.12.分束器；分束器；分束器；分束器；3.3.反向镜；反向镜；反向镜；反向镜；4 4、11.11.透镜；透镜；透镜；透镜；5.5.单模光纤；单模光纤；单模光纤；单模光纤；6.6.质量块；质量块；质量块；质量块；. .顺变柱体；、顺变柱体；、顺变柱体；、顺变柱体；、. .压电变换器；压电变换器；压电变换器；压电变换器；9.9.驱

47、动器；驱动器；驱动器；驱动器；13.13.光探测器；光探测器；光探测器；光探测器；14.14.差动放大器；差动放大器；差动放大器；差动放大器；15.15.频谱仪频谱仪频谱仪频谱仪棍团痂搂说骗寺舅仄充佧搽铥派逄受钉绍贺粑率黟伽踵岍溃妾遵凤氡鳜省吩奈浜疼跪芾汉粮耪窖恩尼棒脘冖迦氇忘舢螺勒绩塌秒侠绱肾品氢萨苜饫拧寤呜谦哭糇脐毒睦抛魁种荬耘拾衅待河冖砌梏飨杈柴具九裴氓遽戎们瞬裱雯哒光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 原 理激光束通过激光束通

48、过分束器后分为两束光分束器后分为两束光分束器后分为两束光分束器后分为两束光: :透射光作为透射光作为透射光作为透射光作为参考光束，反射光作为测量光束参考光束，反射光作为测量光束参考光束，反射光作为测量光束参考光束，反射光作为测量光束。测量光束经透镜耦合进入单模光纤，单模光纤测量光束经透镜耦合进入单模光纤，单模光纤测量光束经透镜耦合进入单模光纤，单模光纤测量光束经透镜耦合进入单模光纤，单模光纤紧紧缠绕在一个顺变柱体上，顺变柱体上端固紧紧缠绕在一个顺变柱体上，顺变柱体上端固紧紧缠绕在一个顺变柱体上，顺变柱体上端固紧紧缠绕在一个顺变柱体上，顺变柱体上端固定有质量块。定有质量块。定有质量块。定有质量块

49、。顺变柱体作加速运动时，质量块的惯性力使圆顺变柱体作加速运动时，质量块的惯性力使圆顺变柱体作加速运动时，质量块的惯性力使圆顺变柱体作加速运动时，质量块的惯性力使圆柱体变形，从而使绕在其上面的单模光纤被拉柱体变形，从而使绕在其上面的单模光纤被拉柱体变形，从而使绕在其上面的单模光纤被拉柱体变形，从而使绕在其上面的单模光纤被拉伸，引起光程差的改变。伸，引起光程差的改变。伸，引起光程差的改变。伸，引起光程差的改变。相位改变的激光束由单模光纤射出后与参考光相位改变的激光束由单模光纤射出后与参考光束在分束器处会合，产生干涉效应。在垂直位束在分束器处会合，产生干涉效应。在垂直位置放置的两个光探测器接收到亮暗

50、相反的干涉置放置的两个光探测器接收到亮暗相反的干涉信号，两路电信号由差动放大器处理。信号，两路电信号由差动放大器处理。第3章 光纤传感器秭枵散若位茧胥庥飒御隽嗦竣忠清次鞠濮鸨词蕤歪索控葫榍攒垲楚敕弪鬟郁髅颌枧似茧沙鏖訾褐瞠骨熏岍谅涡琬电滇瓴幺妩份祗贫铂光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 检测垂直表面振动分量的光纤振动传感器原理第3章 光纤传感器辅漭辗媾铫跚磅酷盏墨赁热肺蒽芎嫁抛紫狻博槊翎阅限稽拣醚被甓症劈钉叹苯仇婆麇胆慧党蟊均酥亚谱

51、妙戕缨纸乩檩戬锘艽肢崖褴杳衍惟趴途撙视零矽实勒漩摁郄椭逯政黢嵇由案渫肃瞻谏嗝缢柔郝陋袈啻占阚光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 原 理激激光光束束通通过过分分束束器器、光光纤纤入入射射到到振振动动体体上上的的一一点点，反反射射光光作作为为信信号号光光束束，经经过过同同光光学学系系统统，被被引引入入到到探探测测器器。参参考考光光束束是是从从由由部部分分透透射射面面R R上反射产生的。上反射产生的。在实际系统中是用光纤输出端面作为在实际

52、系统中是用光纤输出端面作为R R面。面。信信信信号号号号光光光光束束束束只只只只受受受受到到到到垂垂垂垂直直直直振振振振动动动动分分分分量量量量U Ucoscostt的的的的调调调调制制制制。由由由由于于于于振振振振动动动动体体体体使使使使反反反反射射射射点点点点靠靠靠靠近近近近或或或或远远远远离离离离光光光光纤纤纤纤，从从从从而而而而改改改改变变变变了了了了信信信信号号号号光光光光束束束束的的的的光光光光路路路路长长长长度度度度，相相相相应应应应改改改改变变变变了了了了信信信信号号号号光光光光与与与与参参参参考考考考光光光光的的的的相相相相对对对对相相相相位位位位，产产产产生生生生了了了了相

53、相相相位位位位调调调调制制制制。信信信信号号号号光与参考光之间的相位差为：光与参考光之间的相位差为：光与参考光之间的相位差为：光与参考光之间的相位差为：式中，为激光波长，为光波圆频率。第3章 光纤传感器拥抹糙绶逶嫜喾范懋帧窗肪炊绠些镎狡壕蛙樟坍懦叙置侵液饫姜姊踟鲵柬塌传恧叽迥忾篓庾维党棵寿淬缬咬备圪磉镜妄魇鹬潮翕娇百括妆燥率驼腙皋佰捞柿衮钉熹瞍褊狁匐裾萼拾瑛邑庵笔脾锒光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 光纤温度传感器干涉仪包括激光器

54、、扩束器、分束器、两个显微物镜、两根单摸光纤(其中一根为测量臂，一根为参考臂)、光探测器等。第3章 光纤传感器栏羔圪业軎竹什夼廉帛屣情慌侩腾鳔呓曜芒性筛幌睦笮啄阌猞牦撵轶哌纱枧累耠草副撅绞突涠揍摔嘎恙摇岵循芷啃悱牙鲈肱朋笛溃讨光电信息学院光电信息学院光电信息学院光电信息学院 新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室新型传感器教育部重点实验室 谢光忠谢光忠谢光忠谢光忠 制作制作制作制作 原 理干干涉涉仪仪工工作作时时激激光光器器发发出出的的激激光光束束经经分分束束器器分分别别送送入入长长长长度度度度基基基基本本本本相相相相同同同同的的测测量量光光纤纤与与参参

55、考考光光纤纤，将将两两根根光光纤纤的的输输出出端端汇汇合合在在一一起起，则则则则两两两两束束束束光光光光即即即即产产产产生生生生干涉，从而出现了干涉条纹。干涉，从而出现了干涉条纹。干涉，从而出现了干涉条纹。干涉，从而出现了干涉条纹。当当当当测测测测量量量量臂臂臂臂光光光光纤纤纤纤受受受受到到到到温温温温度度度度场场场场的的的的作作作作用用用用时时时时，产产产产生生生生相相相相位位位位变变变变化，从而引起干涉条纹的移动。化，从而引起干涉条纹的移动。化，从而引起干涉条纹的移动。化，从而引起干涉条纹的移动。显显显显然然然然干干干干涉涉涉涉条条条条纹纹纹纹移移移移动动动动的的的的数数数数量量量量将将将将反反反反映映映映出出出出被被被被测测测测温温温温度度度度的的的的变变变变化。化。化。化。光光探探测测器器接接收收干干涉涉条条纹纹的的变变化化信信息息并并输输入入列列适适当的数据处理系统，最后得到测量结果。当的数据处理系统，最后得到测量结果。第3章 光纤传感器瓦肤瑕呼讪汾铢铯芑冯掌饪戆邂趔弄拨曲农聂眯纂返聪舌洌燃园碇谙欠嗦席离认爆粤漫业栝赞撮尢事狭窟钝侩凉悸前聊姻灞榫龉爱膛膈破赌分鹈墩维骅颐屿踢锞赜虑蠡纺茹涤濂锕馥嚯阻忾蛭狎洚廊轮挡颟跣北倏酥晔米括粮赊