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1、洁净室知识培训洁净室知识培训洁净间基础知识25洁净室及洁净区洁净度等级26洁净室管理四大原则29洁净室(Clean Room)内的注意事项54目录洁净室的用途12洁净室的用途洁净室的用途3洁净室洁净室CleanroomCleanroom: :空气悬浮粒子浓度空气悬浮粒子浓度受控的房间。它受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内的建造和使用应减少室内诱入、产生滞留粒子。室内其它有关参数如其它有关参数如温度温度、湿度湿度、压力压力等按要求进行控制。等按要求进行控制。摘自GB50073-2001洁净厂房设计规范由于半导体工业所制作的集成电路元件尺寸越来越小，在一块小小的芯片上，整
2、合了许许多多的元器件，因此在制造的过程中就必须防止外界杂质污染源(包括尘埃、金属离子、各类有机物等)，因为这些污染源可以造成元器件性能的劣化及产品成品率和可靠性的降低。所以制造集成电路必须在洁净的环境中进行，以尽量将污染源和硅片隔离。背景背景什么是洁净室？什么是洁净室？41,00010,000外大气层外大气层大气层大气层田园地带田园地带街市区街市区10,000,0001,000,000100,000工业地带工业地带微尘粒子数微尘粒子数(PC/ft3) 0.5(PC/ft3) 0.5m m各种条件下微尘状况各种条件下微尘状况5尘埃粒直径（单位：尘埃粒直径（单位：mm）0.00010.00010.
3、0010.0010.010.010.10.11.01.01010100100100010001000010000香烟的烟香烟的烟颜料颜料烟烟硅砂硅砂花粉花粉植物孢子植物孢子水泥水泥人的头发人的头发重工业发出的粒子重工业发出的粒子病毒病毒细菌细菌化学物质化学物质0.5 0.5 mm尘埃粒子直径的示意图尘埃粒子直径的示意图6252535357 78 82525空气中漏入空气中漏入原料中带入原料中带入设备运转产生设备运转产生生产过程产生生产过程产生人员因素造成人员因素造成摘自GB50073-2001洁净厂房设计规范灰尘又是如何产生的呢？灰尘又是如何产生的呢？7荧光灯全部消失的场合。一般事务室里拍摄的
4、例子一般事务室里拍摄的例子8左边是穿一般的工作服走路时候发尘的样子。右边是穿洁净服走路时候发尘的样子。走路时候发尘样子对比走路时候发尘样子对比9左边是拍击一般的工作服时发尘的样子。右边是拍击洁净服时发尘的样子。拍击工作服时产生的尘埃粒子对比拍击工作服时产生的尘埃粒子对比10作业人员通过后，尘埃附着在玻璃上的样子。洁净室内的事例洁净室内的事例11使用 ParticleEyeDCF 统计浮游粒子数量。浮游粒子浮游粒子12左边是普通纸，右边是无尘纸。纸张的发尘对比纸张的发尘对比13左边是纸芯胶带的发尘的样子，右边是PVC手套的发尘。胶带和手套的发尘例子胶带和手套的发尘例子14左边是电钻发尘的样子。右
5、边是真空泵发尘的样子。电动工具的发尘例子电动工具的发尘例子15吸尘器各地方排气泄漏的样子。吸尘器排气的例子吸尘器排气的例子16打喷嚏时瞬间发生的飞沫。打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子打喷嚏时从嘴里泄漏飞沫的样子17从胳膊发汗条件创造。发汗现象发汗现象18香烟烟雾的粒子。吸烟的例子吸烟的例子19 静坐时产生的尘粒数约静坐时产生的尘粒数约 10,000 10,000 轻微运动时产生的尘粒数约轻微运动时产生的尘粒数约 100,000100,000 剧烈运动时产生的尘粒数约剧烈运动时产生的尘粒数约 10,000,000 10,000,000 运动时产生的尘埃粒子数量运动时产生的尘埃粒子数量200.0.5
6、5m m1 1m mPre-filterBag-filter95%9095%99.99%HEPA filterFANFilterHEPA/ULPACR99.99%0.30.3m m0.0.1 1m m工作区域密封条外框过滤器介质波浪型隔离体褶皱状滤纸外框热溶胶热溶胶（多处加工）外框滤纸HEPA HEPA FilterFilter高效过滤器高效过滤器H High igh E Efficiency fficiency P Particulate articulate A Air Filterir FilterULPA ULPA FilterFilter高效过滤器高效过滤器U Ultra ltra
7、L Low ow P Penetrationenetration A Air Filterir Filter灰尘是如何去除的呢？灰尘是如何去除的呢？21灰尘是如何去除的呢？灰尘是如何去除的呢？洁净室的空气净化新新风风正压正压Relief DamperRelief Damper22手持简易型激光粒子计数器手持简易型激光粒子计数器 测量空气中微粒的数量限于体量和重量，手持式激光粒子计数器采样流量一般为每分钟0.1立方英尺（0.1cfm），即每分钟2.83升（2.83L/m），其最小粒径通道一般为0.3m。通常均可采用电池或交流电工作。这类产品粒径通道又可分为双通道型，如美国Met One公司生产的
8、HHPC-2型，有0.3和0.5m及0.5和5m两种标准配置。由于这类产品采样空气量小，测量精度相对较低，但随检测人员移动灵便，适用于各种洁净室的监测，判定过滤设备的效率和密封性。这类产品可存储一定量的采样数据，备有下载软件，均不带打印装置。23高效过滤器高效过滤器高效过滤器捡漏卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检测过程中，若有报警声 （即%LEAKAGE（泄漏率）超过0.01%），表明有泄漏。泄漏处经用硅胶堵漏或
9、紧固以后再进行扫描巡检。检查一个过滤器约为5min 左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。24风量罩风量罩测量送风风速风量罩主要由三个部分构成:风量罩体、基座、PDA构成.风量罩体主要用于采集风量,将风汇集至基础上的风速均匀器上.在风速均匀器上装有热式传感器,热式传感器将风速的变化,再根据基底的尺寸将风量计算出来.风量罩的显示采用PDA,大屏幕液晶屏显示直观,直接可以得到风速和风量的数据.操作简单,可以设置记录时间间隔进行连续的参数记录,以便对数据进行分析.测量和记录的数据被记录在存储卡上,不会丢失,可以通过计算机的串口将数据传递到PC机上以
10、及做进一步的应用. 风罩的测量技术要求项目项目技术要求技术要求测量限值/范围流量50 3500 m3/hra误差读数的 5 %反应时间90 % 满标度时不到10 s校准间隔最多12个月注：a测量限值和分辩率取决于所用风罩的尺寸。25压差测定仪表压差测定仪表压差检测 普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为510Pa，某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散，其进入通路的各个房间之间的负压差需要维持-10-30Pa。根据国家标准GB19489-2004“实验室、生物安全通用要求”的规定：相对于大气压污染区为-40Pa，根据国家标准GB50346-2004“生物安全实验室建筑
11、技术规范”的规定：与室外方向上相邻相通房间的最小负压差为-10Pa。在各级空气过滤器处，应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连，以便随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的报警标定值，以便超过规定压差时输出报警信号。 26温湿度计温湿度计测量温湿度电子温湿度计因其方便、可靠、便于距离测量等优点，在洁净室检测、监测中广泛使用。常见的有电容式和电阻式传感器，辅以相应电学仪器，即可测定空气的相对湿度。电阻式湿度传感器常见的有氧化镍金属氧化物烧结而成的多孔状陶瓷体，或高氯酸锂聚氯乙烯等高分子材料制成。它们都是利用了在不同湿空气中，由于吸湿量变化而引起的电阻值变化原理
12、制成的湿度传感器。氧化镍陶瓷湿度传感器因其使用寿命长，工作稳定性好，使用较普遍。电容式传感器电容式湿度传感器基本上是一个电容器，在高分子薄膜上的电极是很薄的金属微孔蒸发膜，水分子可以通过两端的电极被高分子薄膜吸附或释放，随着水分子的吸附与释放，高分子薄膜的介电系数将发生相应变化。因为介电系数随空气中的相对湿度变化而变化，因此，只要测定其电容值即可得到被测空气的相对湿度。27照明照明u泪滴型照明灯具u嵌入式照明灯具28照度计照度计照度测试照度测试宜采用便携式数字照度计。 洁净室（区）照度的检测应在室内温度稳定和光源光输出稳定的状态后进行；对新荧光灯区应使用100h以上，并在点燃15min后进行测
13、试。 照度测试点应选择在工作面高度进行，一般宜为0.85m，通道测试高度宜为0.2m；测试点数量可按每50洁净室（区）面积一个点计算，但每个房间不得少于1点。29静电检测仪静电检测仪测量静电该类测试仪表不直接与带电体接触，而是运用静电感应的原理，间接测试带电体的静电电位。由于这种测试不是直接同带电体相接触，因此也称非接触式测量。静电感应原理：是将测试探头靠近带电体，利用探头与被测带电体之间产生的畸变电场测试带电体的表面电位。人体静电检测仪静电检测仪静电检测仪30静电控制静电控制Man ( 人 )手腕带 ，ESD鞋，ESD椅子,衣服 Machine( 机 )接地，控制静电电流消除 / 屏蔽 电磁
14、干扰和交流电场Material ( 材料 )使用导体材料尽量使用静电消耗材料使用 ESD地板，ESD桌垫不用或尽量少用绝缘材料Method ( 方法 )预防（创建ESD安全的环境）保护（保护对ESD敏感的产品或零部件，避免金属小 电阻接触 ）屏蔽（对非ESD安全的物品进行法拉第或距离屏蔽 ）消除（通过接地，离子化消除产生的静电）Environment( 环境 )温度 / 湿度控制局部使用离子风机员工 ESD培训管理ESD 控制 = Man (人)+ Machine (机) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(环)31风淋室（风淋室（AirshowerA
15、irshower） 风淋室风淋室(Air Shower)(Air Shower)设于无尘室入口处，具有以下功能：设于无尘室入口处，具有以下功能：u人员管制uAIR LOCK 气锁功能，防止交叉污染u风速20-25m/s吹落尘埃带走功能，用以吹除人体衣服上及设备、物料、工具的尘埃。注：正确使用风淋室，能够减少带入室内的灰尘。正确听从风淋室播音员的指示进行操作，够去除95%的1以上的灰尘。32传递箱传递箱 (PASS BOX) (PASS BOX) 置于洁净室隔间墙上之装置功能：置于洁净室隔间墙上之装置功能：u做为洁净室内外物品传递之缓冲区，其可防止于传递物品时由于门的开启而破坏了洁净 室气流与室
16、压u可减少作业人员走动的时间而防止外区尘埃的进入u进出口具有不可同时开启的联锁控制，以达到防止交叉污染 33空空空空气气气气洁净洁净洁净洁净度等度等度等度等级级级级大于或等于表中粒大于或等于表中粒大于或等于表中粒大于或等于表中粒径径径径的最大的最大的最大的最大浓浓浓浓度限度限度限度限值值值值（pcs/m)pcs/m)pcs/m)pcs/m)0.1um0.1um0.1um0.1um0.2um0.2um0.2um0.2um0.3um0.3um0.3um0.3um0.5um0.5um0.5um0.5um1um1um1um1um5um5um5um5um1102210024104310002371023
17、58410,0002,3701,020352835100,00023,70010,2003,5208322961000,000237,000102,00035,2008,3202937352,00083,2002,93083,520,000832,00029,300935,200,0008,320,000293,000国家标准 GB 50073-2001洁净室及洁净区洁净度等级洁净室及洁净区洁净度等级34洁净室的管理洁净室的管理4 4大原则大原则不让不让灰尘灰尘产生产生过滤器本身及外框无漏风过滤器本身及外框无漏风洁净室需保持一定的正压洁净室需保持一定的正压作业人员需穿洁净服并经风淋作业人员需穿
18、洁净服并经风淋带入的工具、材料等必须擦洗带入的工具、材料等必须擦洗干净干净不将不将灰尘灰尘带入带入迅速迅速排除排除灰尘灰尘不让不让灰尘灰尘堆积堆积清扫作业不留死角，特别是清扫作业不留死角，特别是不易清扫的角落和设备周围不易清扫的角落和设备周围尽量减少风管、配管暴露于尽量减少风管、配管暴露于洁净室内洁净室内实施标准化的清扫作业实施标准化的清扫作业正确穿着洁净服正确穿着洁净服不使用容易发尘的物品及材料不使用容易发尘的物品及材料减少不必要的人员走动减少不必要的人员走动不用的物品严禁带入不用的物品严禁带入增大换气次数增大换气次数设备发尘部位应有排气设备发尘部位应有排气室内的气流形式应使得灰尘室内的气流
19、形式应使得灰尘难以在产品上附着难以在产品上附着35不将灰尘带入不将灰尘带入过滤器本身及外框无漏风过滤器本身及外框无漏风过滤器本身及外框无漏风过滤器本身及外框无漏风穿洁净服经过风淋室穿洁净服经过风淋室带入的工具、材料等必须擦洗干净带入的工具、材料等必须擦洗干净36防止作业服和皮肤的发尘防止作业服和皮肤的发尘不让灰尘产生不让灰尘产生正确穿着洁净服打卡进洁净室打卡进洁净室脱鞋并存放柜子里脱鞋并存放柜子里从消毒鞋柜里取长筒靴从消毒鞋柜里取长筒靴穿连体洁净服穿连体洁净服戴无尘帽戴无尘帽戴口罩戴口罩穿长筒靴穿长筒靴戴手套戴手套确认着装状态确认着装状态取出洁净服、口罩取出洁净服、口罩防止头发和肤屑的掉落防止
20、头发和肤屑的掉落防止口中散发细菌防止口中散发细菌防止作业服的下摆发尘防止作业服的下摆发尘普通作业服放进更衣柜普通作业服放进更衣柜着装完毕着装完毕防止静电和肤屑产生防止静电和肤屑产生确认作业服是否整洁，有无确认作业服是否整洁，有无尘物，头发是否外漏，口罩尘物，头发是否外漏，口罩穿戴是否正确等穿戴是否正确等37不让灰尘产生不让灰尘产生uu正确使用风淋室之进入洁净室正确使用风淋室之进入洁净室去除鞋底灰尘和异物去除鞋底灰尘和异物风淋动作结束后走出风淋室风淋动作结束后走出风淋室消除胳膊异物，转一圈消除胳膊异物，转一圈( (风淋风淋1515秒秒/ /次次) )进入风淋室进入风淋室2 2名以上不能同时入风淋
21、室名以上不能同时入风淋室禁止触碰感应器，躲避风淋禁止触碰感应器，躲避风淋禁止掰动风淋口禁止掰动风淋口禁止推玻璃，开风淋室门禁止推玻璃，开风淋室门uu使用风淋室注意事项使用风淋室注意事项38不让灰尘产生不让灰尘产生uu正确使用风淋室之走出洁净室流程正确使用风淋室之走出洁净室流程等待风淋室门自动关闭等待风淋室门自动关闭走出风淋室走出风淋室进入风淋室进入风淋室39照相机照相机手机手机木木栈板板+纸箱箱食品食品个人物品个人物品香烟香烟+打火机打火机化化妆品品保保丽龙物品物品白板笔白板笔+白板擦白板擦未清未清洁物品及工具物品及工具洁净室禁止携带物品举例洁净室禁止携带物品举例*洁净室禁止带入易发尘物品、数
22、码产品、食品、个人物品、不使用物品、未清洁物品及工具等40无无尘打印打印纸防静防静电圆珠笔珠笔美工刀美工刀防静防静电椅椅温湿度温湿度计手持式粉手持式粉尘检测仪防静防静电手套手套静静电防防尘口罩口罩耐高温胶耐高温胶带除静除静电绳洁净室专用物品举例洁净室专用物品举例*洁净室必须使用专用物品41以以的顺序的顺序、从上往下进行清扫从上往下进行清扫。清扫区域要点图不让灰尘堆积不让灰尘堆积- -洁净室洁净室 (Clean Room)(Clean Room)的清扫的清扫A A ：楼承板及天花板上梁清扫：楼承板及天花板上梁清扫：1.用无尘布清理灰尘2.用纯水无尘布清扫房梁、吊顶螺栓 手够不到的地方用拖把用纯水
23、擦拭一次以上。 要点将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗，在梁上不要残留下痕迹 B B：楼承板及天花板上设备机器清扫：楼承板及天花板上设备机器清扫1. 保护膜全部撕掉、用无尘布清理掉积尘2.用纯水无尘布清扫配管、管路、线缆桥架等手够不到的地方用拖把用纯水至少擦拭一次以上。要点将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗 在配管等上面不要残留下痕迹C C：楼承板及天花板清扫：楼承板及天花板清扫1.收拾垃圾、用拖把拖楼承板及天花板上用纯水擦拭将装有纯水的水桶带到天花板内、用无尘布沾湿后绞干擦洗 在天花板上面不要残留下痕迹D D：楼承板及天花板下设备机器清扫：楼承板及天花板下
24、设备机器清扫1.保护膜全部去除、有电气机器接触的部分用干无尘布擦拭其他配管、管路、桥架等用纯水擦拭清扫E E：地板清扫：地板清扫1.操作顺序是先撕掉保护膜收拾垃圾用清扫机收拾垃圾、用无尘拖把清洁用纯水擦拭来进行地板清扫(强力的污渍用喷雾剂对应)干燥2.柱子阀门用水擦拭、墙壁的铝蜂巢板用擦拭的方法进行清洁。生产盘由设置的业者负责任的进行干擦拭清扫(柱子的话事前能够清扫的地方进行清扫注意务必将作业区域跟清扫区域区分开来42清洁设备清洁设备清洁棚顶设施清洁棚顶设施清洁墙壁清洁墙壁清洁地面清洁地面不让灰尘堆积不让灰尘堆积- -洁净室洁净室 (Clean Room)(Clean Room)清扫事例清扫事
25、例从上往下清洁 从里往外清洁 朝一个方向清洁43粘粘尘地地垫伸伸缩杆除杆除尘滚除除尘滚轮无无尘室室专用吸用吸尘器器防静防静电无无尘拖把拖把工工业酒精酒精防静防静电无无尘抹布抹布橡胶手套橡胶手套耐高温手套耐高温手套工工业冷冷风机机洁净室清洁工具及清洁产品洁净室清洁工具及清洁产品*洁净室必须使用专用清洁工具及清洁产品44迅速排出灰尘迅速排出灰尘Relief DamperRelief Damper正压测试正压测试正压测试正压测试供风测试供风测试供风测试供风测试HEPA filterHEPA filter回风测试回风测试回风测试回风测试return airreturn air45洁净室洁净室(Clea
26、n Room)(Clean Room)内的注意事项内的注意事项 1. 洁净室内禁止跑动，走路时禁止拖防静电鞋. 2. 禁止闲聊、吵闹，大声叫人. 3. 个人用品(手机,手表等) 及食物禁止搬入洁净室内. 4. 搬入资材及易耗品等生产物品时必须通过风淋合格箱进行洗洁作业后再搬 入. 5. 化妆或涂指甲油的人禁止出入. 6. 防静电帽, 防静电服外露出头发，眼眉，一般服装不正确时立即到更衣室 (Smock Room)点检着装之后再次通过风淋室(Air Shower)后入室. 7. 防静电手套及手指套被破损或受污染时立即更换新的使用. 8. 作业时Clean Room帽(防静电帽), 防静电服及防静电鞋破损或受污染时 通知组长交换新的使用. 9. 开始作业时、终了时，休息时间过后要用滚筒架清扫作业台及周边. 10. 作业台上禁止放置不必要的什器. 11. 禁止坐着转动椅子或向后摆动. 12. 禁止靠在装备、墙，作业台等 13. 禁止坐在地板上. 14. 禁止用手套触摸皮肤. 15. 交换器及电源等电装置要注意触电 . 16. 完成作业之后整理，整顿作业台、尺工具及周围后退室.4647 结结束束语语若有不当之处，请指正，谢谢！若有不当之处，请指正，谢谢！
