《《ENDURA结构介绍》PPT课件.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《《ENDURA结构介绍》PPT课件.ppt(55页珍藏版)》请在金锄头文库上搜索。
1、ENDURA结构介绍结构介绍供电系统供电系统其它部件的作用PumpFrame提供反映所需的真空度Cryopumpcompressor提供HE给Cryopump,保证冷泵正常工作Heatexchange提供DIWATER ,冷却PVD腔体以及HeaterMAINFRAME上腔体构成上腔体构成传输过程传输过程真空系统真空系统RobotHPRobotHomingRoutineLoadlockDifferentialPumpingPortIndexerBrakePresentthecassettestagefromfallingincaseofpowerfailureORIENT/DEGASORIEN
2、T工作原理工作原理1.OrienterBoard发出信号通知系统开始找平边过程。2.SystemController将有关圆片的尺寸型号等信息传递给OrienterBoard。3.软件校准CCDBoard,使得由激光管发出的光信号转换为数字信号。4步进电机带动圆片旋转,达到正常的转速后,则CPU开始读取CCD中的信息(步进电机每转动四步读取一次)。5信息储存在RAM中,直到完成3600的旋转。6软件分析数据,确定圆片的中心。7校正圆片在chuck上的数据,最终确定原片的平边。8把圆片旋转到预定的角度上。9.系统控制器获得圆片的中心和WaferChuck的中心后,指导ROBOT取片。RF SYS
3、TEMPVD chamber工作原理工作原理在靶才上通负的直流电压,Shield充当接地,电位差使AR原子电离成AR离子,被接负电压的靶才吸引而撞击靶才,生成金属原子沉积在Wafer表面,从而达到Sputtering的目的。Gas LinesPneumaticOperation W/O InverterSlitvalvewill“open”butnot“close”Waferliftswillgoto“lift”butnotto“release”LLCdoorswill“open”butnot“close”Cassatteswillrotate“out”butnot“in”Shutterwillmoveto“storage”butnotrotate“in”ControlENDTHANKYOU!